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1. 发明专利

JP2017532941A スティックスリップドライブ、特に圧電作動慣性ドライブ审中-公开
公开(公告)号：JP2017532941A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：JP2017518322
申请日：2015-10-08
申请人：アットキューブシステムズアーゲー , アットキューブシステムズアーゲー
发明人：ヤンショーベル , ヤンショーベル , トーマスピカート , トーマスピカート , マーティンツェッヒ , マーティンツェッヒ
IPC分类号： H02N2/04 , H01L41/09
CPC分类号： H02N2/007 , H02N2/02 , H02N2/025
摘要：基部とロータとを備え、基部とロータとは、摩擦面を介して互いに接触し、ロータが基部に対して慣性の運動を行うことができるように互いに結合し、2つの材料、貴金属およびセラミックス材料は、基部とロータとの間の摩擦面において組になることを特徴とする、スティックスリップドライブが開示されている。

2. 发明专利

JP2014228545A 絶対距離レーザ干渉計有权
标题翻译：绝对距离测量激光干涉仪
公开(公告)号：JP2014228545A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：JP2014103601
申请日：2014-05-19
申请人：アットキューブシステムズアーゲー , Attocube Systems Ag , アットキューブシステムズアーゲー
发明人： KLAUS THURNER , PIERRE-FRANCOIS BRAUN , KARRAI KHALED
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02002 , G01B9/02003 , G01B9/02004 , G01B9/02007 , G01B11/00 , G01B2290/25
摘要：【課題】干渉法による絶対距離測定の技術を提供する。【解決手段】絶対距離測定用デバイス100は、第1の変調周波数によって変調された第1の可変周波数の第1の波長光を放出するための第1の波長可変光源110と、第2の変調周波数によって変調された第2の周波数の第2の波長光を放出するための第2の光源120と、を含む。光結合器130は、第1の波長光および第2の波長光を干渉計キャビティ140へ結合する。干渉計型検出器は、検出された干渉パターンに基づいて、干渉測定信号を提供する。復調ユニットは、第1の変調周波数での復調による干渉測定信号に基づいた第1の復調信号と、第2の変調周波数での復調による干渉測定信号に基づく第2の復調信号とを生成する。計算ユニットは、第1の可変周波数の掃引中に取得された第1の復調信号、および第2の復調信号を評価することによって、絶対距離を計算する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种基于干涉测量的绝对距离测量技术。解决方案：用于绝对距离测量的设备100包括第一波长可变光源110，其以第一调制频率调制的第一可变频率发射第一波长光以及第二光源120，其以由第二调制频率调制的第二频率发射第二波长光。光耦合器130将第一波长光和第二波长光耦合到干涉仪腔140.干涉仪型检测器基于检测到的干涉图案来提供干涉测量信号。解调部基于由于第一调制频率的解调而产生的干扰测量信号和基于由于第二调制频率的解调而产生的干扰测量信号的第二解调信号而生成第一解调信号。计算单元通过评估在第一可变频率的扫描期间获得的第一解调信号和第二解调信号来计算绝对距离。

3. 发明专利

JP5306386B2 To get the position by using a Fabry-Perot interferometer apparatus 有权
公开(公告)号：JP5306386B2
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：JP2011026084
申请日：2011-02-09
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：カレッドカライ , ピエール−フランソワブラウン
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00
CPC分类号： G01B9/02042 , G01B9/02061 , G01B9/02081 , G01B11/002 , G01B2290/25 , G01B2290/45
摘要： Position acquisition device has position acquisition unit with a confocal Fabry-Perot interferometer (10). The confocal Fabry-Perot interferometer has first and second resonator reflective surfaces; and folding reflective surface arranged in a beam path between first and second resonator reflective surfaces. Folding reflective surface is coupled to an object. Collimator is arranged in the beam path between first and second resonator reflective surfaces. An independent claim is included for a method for acquiring position.

4. 发明专利

JP2018503044A 光学テーブル审中-公开
公开(公告)号：JP2018503044A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：JP2017521555
申请日：2015-10-22
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：ハフトディルク , オットーフローリアン , ダルザヴィオクラウディオ , カライカレッド
IPC分类号： F25D3/10 , G01M11/04
CPC分类号： G01M11/04 , F25B9/14 , F25B19/005 , F25B21/00 , F25B2500/13 , F25D3/10 , F25D19/00 , G01M11/005 , G01M11/0214
摘要：本発明は、テーブルトップおよび少なくとも1つのテーブル脚を備える冷却可能な光学テーブルに関する。光学素子のような対象物を固定する固定手段は、テーブルトップのテーブル表面に設けられる。テーブル脚は、振動を減衰する減衰装置を備え付けられる。

5. 发明专利

JP2010540943A Apparatus for position detection 审中-公开
公开(公告)号：JP2010540943A
公开(公告)日：2010-12-24
申请号：JP2010527341
申请日：2008-09-04
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：カレッドカライ
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02081 , G01B9/02004 , G01B11/002 , G01B11/02 , G01B2290/25 , G01B2290/45
摘要：本発明は、測定区域に適用された測長手段（１０２）と測長手段の時間的変動を与えるための測長変動ユニット（Ｂ）を具備する、位置検出のための装置に関係する。検出器（１０８）は、測定された区域の長さと変動の関数として上記測長手段（１０２）を観測し、測定信号を生成する。前記測定信号は、測長手段の時間的変動の関数として評価される。
【選択図】図３

6. 发明专利

JP6649381B2 テーブル有权
公开(公告)号：JP6649381B2
公开(公告)日：2020-02-19
申请号：JP2017527734
申请日：2015-11-23
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：ダルザヴィオクラウディオ , カライカレッド
IPC分类号： H01L21/683

7. 发明专利

JP6199801B2 絶対距離レーザ干渉計有权
公开(公告)号：JP6199801B2
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：JP2014103601
申请日：2014-05-19
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：トゥルナークラウス , ブラウンピエール−フランソワ , カライカレッド
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00 , G01B9/02002 , G01B9/02003 , G01B9/02004 , G01B9/02007 , G01B2290/25

8. 发明专利

JP2011174922A Device for acquiring position with confocal fabry-perot interferometer 有权
标题翻译：用于通过共焦工艺制作的干涉仪获取位置的装置
公开(公告)号：JP2011174922A
公开(公告)日：2011-09-08
申请号：JP2011026084
申请日：2011-02-09
申请人： Attocube Systems Ag , アットキューブシステムズアーゲー
发明人： KARRAI KHALED , BRAUN PIERRE-FRANCOIS
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00
CPC分类号： G01B9/02042 , G01B9/02061 , G01B9/02081 , G01B11/002 , G01B2290/25 , G01B2290/45
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and method for acquiring a position with a confocal Fabry-Perot interferometer. SOLUTION: The device for acquiring the position includes the confocal Fabry-Perot interferometer 200. The confocal Fabry-Perot interferometer includes the first resonator mirror (1), the second resonator mirror (2), and a folding mirror (7) arranged on an optical path between the first resonator mirror (1) and the second resonator mirror (2). COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供用共聚焦法布里 - 珀罗干涉仪获取位置的装置和方法。共焦法布里 - 珀罗干涉仪包括第一谐振镜（1），第二谐振镜（2）和折叠镜（7），其中，布置在第一谐振镜（1）和第二谐振镜（2）之间的光路上。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2021131387A 試料に磁場を供給するためのシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2021131387A
公开(公告)日：2021-09-09
申请号：JP2021023933
申请日：2021-02-18
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：クリストファードヴィナージ , アルミンシェニング , ルカグラニャニエロ
IPC分类号： G01N27/72
摘要：【課題】様々に設計された磁気光学実験が最高分解能で柔軟で容易に行われ得るシステムを提供する。【解決手段】試料8に磁場を供給するためのシステムは、試料8と熱的に接触するための第1接触面1と、少なくとも1つの磁気要素4と熱的に接触する第2接触面2と、を備える。光学実験のための上述のアクセス可能性があり得るように、300Kステージ13の光学的アクセス12a、12b、12cと共に光軸に沿って配置される。【選択図】図2

10. 发明专利

JP2018507531A テーブル审中-公开
公开(公告)号：JP2018507531A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2017527734
申请日：2015-11-23
申请人：アットキューブシステムズアーゲー
发明人：ダルザヴィオクラウディオ , カライカレッド
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： F25D19/006 , A47B13/08 , F25D2201/14 , F25D2400/08
摘要：本発明は、冷却可能なテーブルトップ(9)と、熱接触部(22)を介してテーブルトップ(9)の少なくとも1つのセクション(10)を冷却できる冷凍機(20)と、テーブル(1)の環境(100)から熱接触部(22)を断熱し、テーブルトップ(9)に向かい合う冷凍機(20)の上面(26)と冷却されるセクション(10)とを接続し、少なくとも1つのフレキシブル上部チャンバセクション(51)を有する排気可能な上部真空チャンバ(50)と、テーブルトップ(9)側とは反対側を向く冷凍機(20)の下面(27)に接続され、少なくとも1つのフレキシブル下部チャンバセクション(61)を有する排気可能な下部真空チャンバ(60)と、フレキシブル上部チャンバセクション(51)およびフレキシブル下部チャンバセクション(61)それぞれを介して冷凍機(20)に接続される剛性を有する補強構造(30)とを備えるテーブル(1)に関する。

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