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1. 发明专利

JP2015150683A 高性能化学機械研磨調整器有权
标题翻译：具有高性能的化学机械抛光调节器
公开(公告)号：JP2015150683A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：JP2015020827
申请日：2015-02-05
申请人：中国砂輪企業股▲ふん▼有限公司
发明人：周瑞麟 , 王嘉群 , 廖懿造 , 邱家豐 , 廖文仁
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/00 , B24D3/00 , B24D7/06 , B24D3/06 , B24B53/12
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/12 , B24D18/0072 , B24D3/06
摘要：【課題】高性能の化学機械研磨調整器を提供する。【解決手段】基板、前記基板に設置される結合層、及び結合層により前記基板に直接固定され、或いは各々が金属固定座に設置され、且つ前記基板は複数の凹部或いは複数の貫通孔を有し、前記金属固定座はこれら前記凹部或いはこれら前記貫通孔中に納置されると共に前記結合層により前記基板に固定される複数の研磨砥粒を備える。また、前記研磨砥粒は表面加工処理が施されることにより特定の切削刃角、結晶形構造、先端部高さ、或いは先端部方向性を有する。これにより、本発明は各研磨砥粒の外形を制御でき、最も好ましい研磨性能を達成させる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高性能的化学机械抛光调节器。解决方案：一种化学机械抛光调节器，包括：具有多个凹部或开孔的基板; 粘合层，其设置在所述基板上并且被容纳在所述凹部或所述开放孔中并且通过所述粘合层固定到所述基板; 以及多个抛光磨粒，其通过粘合层直接固定到基板上，或者每个抛光磨粒设置在金属文具座上。此外，通过进行表面处理，抛光磨粒具有规定的切削刃角度，晶体形状结构，尖端高度或尖端部方向性。因此，根据本发明的调节器可以控制每个抛光磨粒的外形，并且可以实现最优选的抛光性能。

2. 发明专利

JP5914712B2 高性能化学機械研磨調整器有权
标题翻译：高性能化学机械抛光稳压器
公开(公告)号：JP5914712B2
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：JP2015020827
申请日：2015-02-05
申请人：中国砂輪企業股▲ふん▼有限公司
发明人：周瑞麟 , 王嘉群 , 廖懿造 , 邱家豐 , 廖文仁
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/00 , B24D3/00 , B24D7/06 , B24D3/06 , B24B53/12
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/12 , B24D18/0072 , B24D3/06

3. 发明专利

JP2009188019A Manufacturing method of semiconductor device 审中-公开
标题翻译：半导体器件的制造方法
公开(公告)号：JP2009188019A
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：JP2008023787
申请日：2008-02-04
申请人： Kinik Co Ltd , Shinei Sangyo Kk , 中国砂輪企業股▲ふん▼有限公司 , 親栄産業株式会社
发明人： KATAOKA NOBUHIDE
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： Y02E10/546
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the performance of a semiconductor device by forming a polycrystal semiconductor film with favorable crystalline quality. SOLUTION: Nano particles NP such as silicon are mixed with a carrier gas supplied from a cylinder 19 in an aerosol chamber 15 and are brought into a collision with a workpiece W (substrate) at high speed from a nozzle 14 by the carrier gas. Thus, the polycrystal semiconductor film having crystal grains with favorable crystalline quality is formed. The nano particles NP of silicon are used as the nano particles NP, a p-type polysilicon film and an n-type polysilicon film are deposited to form a solar battery having a polysilicon pn-junction serving as a photoelectric conversion part, whereby not only quality can be improved but also a manufacturing cost can be reduced. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：通过形成具有良好结晶质量的多晶半导体膜来提高半导体器件的性能。解决方案：将诸如硅的纳米颗粒NP与在气溶胶室15中的气缸19供应的载气混合，并通过载体与喷嘴14高速地与工件W（基板）发生碰撞加油站。因此，形成具有良好结晶品质的晶粒的多晶半导体膜。使用硅的纳米颗粒NP作为纳米颗粒NP，沉积p型多晶硅膜和n型多晶硅膜以形成具有用作光电转换部分的多晶硅pn结的太阳能电池，由此不仅可以提高质量，但也可以降低制造成本。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

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