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71. 发明专利

JP2021002638A 半導体装置およびその試験方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021002638A
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：JP2019216746
申请日：2019-11-29
申请人：富士電機株式会社
发明人：川島鉄也
IPC分类号： H01L27/04 , G01R31/28 , G01R31/3185 , H01L21/822
摘要：【課題】試験用の端子を減らしてより多くの半導体装置の試験を可能にする半導体装置を提供する。【解決手段】外部電源の電圧VCCから内部電源の電圧VDDを生成する内部電源生成回路12と不揮発性メモリ回路15とを備え、内部電源生成回路12が生成する内部電源の電圧を不揮発性メモリ回路15に格納されたデータに基づいて設定する。さらに、内部電源の電圧を切り換えることができるモード信号modeを不揮発性メモリ回路15に設定できるようにする。モード信号modeは、バーンイン試験前にバーンインモードに設定され、バーンイン試験後には通常モードに設定される。バーンイン試験では、VCC端子にVCCバーンイン電圧を受けて半導体装置10が起動するときに、バーンインモードに設定されたモード信号modeを受けて内部電源生成回路12がVDDバーンイン電圧を生成する。【選択図】図1

72. 发明专利

JP2020204529A 検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020204529A
公开(公告)日：2020-12-24
申请号：JP2019112294
申请日：2019-06-17
申请人：日本電産リード株式会社
发明人：山本和哉 , 生野裕仁
IPC分类号： G01R31/28 , G02F1/13 , G01R31/00
摘要：【課題】検査対象物の上面に接触する上治具及び検査対象物の下面に接触する下治具の両方を搬送することが容易な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置1は、上治具6Uと下治具6Dとを収容可能な治具棚3と、上治具6U及び下治具6Dを選択的に載置可能なアーム部材41と、アーム部材41を駆動するアーム駆動部42と、アーム部材41から上治具6Uを受け取って上側取付部2Uに取りつける上側脱着機構8Uと、アーム部材41から下治具6Dを受け取って下側取付部2Dに取りつける下側脱着機構8Dとを備え、アーム駆動部42は、上治具6Uを治具棚3から取り出して上側脱着機構8Uに搬送し、下治具6Dを治具棚3から取り出して下側脱着機構8Dに搬送する。【選択図】図1

73. 发明专利

JP6804353B2 ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法有权
公开(公告)号：JP6804353B2
公开(公告)日：2020-12-23
申请号：JP2017056523
申请日：2017-03-22
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：榑林信弥
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/28

74. 发明专利

JP2020201283A 基板検査装置、検査治具、及びその基板検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020201283A
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2020149552
申请日：2020-09-07
申请人：西川秀雄
发明人：西川秀雄
IPC分类号： G01R31/54 , G01R31/28 , H05K3/00 , G01R31/52
摘要：【課題】新基板の登録設定、及び基板の機種変更のセットアップ時間を経時的に短縮する基板検査装置【解決手段】複数の検査端子と基板位置マークのある基板を検査する基板検査装置に搭載される検査治具は、複数のプローブと、その先端を検査端子に案内する案内孔と、複数の治具位置マークがある案内板があって、検査治具移動部に依って移動される。基板を保持して搬送する搬送テーブルは、複数のテーブル位置マークと、複数の治具位置マークを認識する補助カメラがある。主カメラは搬送テーブルと相対的に移動して搬送テーブル上の複数の位置マークを認識する。制御装置は主カメラが認識する複数のテーブル位置マークを基に直交座標の制御座標の原点の位置と座標軸の方向を定めて、主カメラと補助カメラが認識した各々の位置マークの制御座標上の位置から基板と検査治具を位置認識し、整合させる基板検査装置。【選択図】図2

75. 发明专利

JP6801166B2 プローバ及びプローブ検査方法有权
公开(公告)号：JP6801166B2
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：JP2016204493
申请日：2016-10-18
申请人：株式会社東京精密
发明人：内田悟史
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66

76. 发明专利

JP6800072B2 劣化診断方法有权
公开(公告)号：JP6800072B2
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：JP2017070252
申请日：2017-03-31
申请人：アズビル株式会社
发明人：平山博文 , 本橋勇人
IPC分类号： G01R31/28 , G05B23/02 , H05B3/00

77. 发明专利

JP2020536242A 被試験デバイスを試験するためのプローブシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2020536242A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2020518767
申请日：2018-09-28
申请人：フォームファクタービーバートンインコーポレイテッド
发明人：クリストファーストーム , マイケルイーシモンズ , ブライアンコンラッドボルト , ギャビンネイルフィッシャー , アンソニーロード , 根岸一樹
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66 , G01R31/26
摘要：被試験デバイスを試験するためのプローブシステムが、本明細書に開示されている。プローブシステムは、上面、反対側の下面、およびプラテン開口部を画定する、プラテンを含む。プローブシステムはまた、被試験デバイスを支持するように構成された支持面を画定する、チャックを含む。プローブシステムはさらに、プラテンの下面から延びる下部エンクロージャと、プラテンの上面から延びる上部エンクロージャと、を含む。上部エンクロージャは、側壁開口部を画定する側壁を含み、側壁およびプラテンは、少なくとも30度および最大60度の交角を画定する。プローブシステムはまた、マニピュレータ、プローブシャフトアーム、プローブアセンブリ、テストヘッド、および導電体を含む。【選択図】図1

78. 发明专利

JP2020194856A 中間接続部材及び検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020194856A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019098861
申请日：2019-05-27
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：望月純
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66
摘要：【課題】インタフェースを簡略化できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による中間接続部材は、複数の第1端子を有する第1部材と複数の第2端子を有する第2部材との間に設けられ、前記第1端子と前記第2端子とを電気的に接続する中間接続部材であって、前記第1端子と前記第2端子とを電気的に接続する複数の接続部と、前記複数の接続部を保持する保持部と、を有し、前記接続部は、少なくとも表面に導電性が付与された弾性体により形成されている。【選択図】図1

79. 发明专利

JP2020193899A 試験装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020193899A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019100390
申请日：2019-05-29
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：豊田直哉 , 秋田康樹
IPC分类号： G01R31/319 , G01R31/26 , G01R31/28
摘要：【課題】パターンプログラムの進行と対応付けて、アナログ信号の波形データを取得する。【解決手段】波形データ取得モジュール140は、DUT2に関連する電気信号をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ152と、デジタル信号の列である波形データを格納する第1メモリユニット155と、を含む。ファンクション試験モジュール130は、試験ユニット132と第2メモリユニット134とを含む。上位コントローラ110は、波形データ取得モジュール140にサンプリング開始を指示し、その時刻t 1 を保持し、ファンクション試験モジュール130にパターンプログラムの実行開始を指示し、その時刻t 2 を保持する。第1メモリユニット155は、サンプリングの開始の時刻t 1 ’を記録する。上位コントローラ110は、第2メモリユニット134は、パターンプログラムの実行開始の時刻t 2 ’を記録する。【選択図】図11

80. 发明专利

JP6794215B2 基板検査装置有权
公开(公告)号：JP6794215B2
公开(公告)日：2020-12-02
申请号：JP2016209355
申请日：2016-10-26
申请人：日置電機株式会社
发明人：山浦純一
IPC分类号： G01R31/28

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