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    • 68. 发明专利
    • 形状測定装置の制御方法
    • JP2018124256A
    • 2018-08-09
    • JP2017131254
    • 2017-07-04
    • 株式会社ミツトヨ
    • 野田 孝
    • G01B21/20G01B5/20
    • 【課題】5軸制御可能な形状測定装置の制御方法を提供する。 【解決手段】形状測定装置は、第1および第2駆動軸の回転で姿勢が変化するプローブヘッドと、3つの並進軸(第3から第5駆動軸)でプローブヘッドの位置を変位させる三次元測定機と、を備える。測定チップの位置は、第3から第5駆動軸の座標値で与えられ、プローブヘッドの姿勢は第1回転角αおよび第2回転角βで与えられる。第1回転軸と第2回転軸との交点を回転中心Qとする。制御周期ごとの補間点を第1から第5駆動軸ごとに求め、第1および第2駆動軸の補間点(αi、βi)の値を加味した所定の変換式によって測定チップの補間点の座標値を回転中心Qの座標値に変換して制御用補間点Qiとする。第3から第5駆動軸は制御用補間点Qiに位置決め制御するとともに、第1および第2駆動軸は補間点(αi、βi)に位置決めを行う。 【選択図】図22