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51. 发明专利

JP4623960B2 Slicing method and apparatus 有权
公开(公告)号：JP4623960B2
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：JP2003510224
申请日：2002-04-11
申请人：ヴェーバーマシーネンバオゲーエムベーハーブレイデンバッハ
发明人：ギュンターヴェーバー
IPC分类号： B26D3/28 , B26D5/32 , B26D5/00 , B26D5/36 , B26D7/30 , G01B11/24 , G01N21/95
CPC分类号： B26D5/007 , B26D5/34 , B26D7/30 , B26D2210/02 , G01B11/24 , G01N21/95 , Y10T83/0505 , Y10T83/178 , Y10T83/525 , Y10T83/693

52. 发明专利

JP2009231760A Device for detecting breakage/abrasion of blade 审中-公开
标题翻译：用于检测刀片破损/磨损的装置
公开(公告)号：JP2009231760A
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：JP2008078484
申请日：2008-03-25
申请人： Tokyo Seimitsu Co Ltd , 株式会社東京精密
发明人： SUZUKI TOMOHIRO
IPC分类号： H01L21/301 , B24B49/12 , B24B55/00
CPC分类号： B23D59/001 , G01N3/56 , G01N3/58 , G01N21/95 , G01N2203/0641
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for detecting breakage/abrasion of a blade which keeps the detection sensitivity, eliminates an adjustment of position of a detecting unit made by a hand operation previously, and can perform a breakage detection and detection of an amount of abratson of the blade at the same time.
SOLUTION: When an electric signal from an amplifier suddenly changes, a controller 10 determines that a blade 21 is damaged. The controller 10 stores a first amount of received light and a second amount of received light more than the first amount of received light as a threshold of an amount of received light of a light receiving portion 25. When the blade 21 reduces in its external diameter by abrasion due to machining and an amount of received light of a light receiving area 29 drops to its 60%, the controller 10 controls a feeding mechanism 4 automatically to move a detection unit 3 toward the rotation center of the blade 21. Then, when the amount of received light comes to 10%, the controller 10 controls the feeding mechanism 4 to stop the movement of the detection unit 3. The controller 10 counts the amount of movement repeated by the detection unit 3 to calculate the amount of abrasion of the blade 21.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检测保持检测灵敏度的叶片的断裂/磨损的装置，消除了以前由手动操作产生的检测单元的位置的调整，并且可以执行断裂检测和检测的刀片数量同时。解决方案：当来自放大器的电信号突然变化时，控制器10确定刀片21损坏。控制器10将接收光的第一数量和比第一接收光量的第二数量的接收光作为受光部分25的接收光量的阈值进行存储。当刀片21的外径减小时通过加工磨损，受光面积29的接收光量下降到60％，控制器10自动地控制进给机构4，使检测单元3朝向叶片21的旋转中心移动。然后，当接收到的光量达到10％，控制器10控制馈送机构4以停止检测单元3的移动。控制器10对检测单元3重复的运动量进行计数，以计算出刀片21.版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

53. 发明专利

JP2008145328A Method and apparatus for inspecting slider 审中-公开
标题翻译：检查滑块的方法和装置
公开(公告)号：JP2008145328A
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：JP2006334355
申请日：2006-12-12
申请人： Sae Technologies (Hk) Ltd , Shinka Jitsugyo Kk , 新科實業有限公司SAE Magnetics(H.K.)Ltd. , 新科技研有限公司SAE Technologies(H.K.)Limited
发明人： FUJII TAKASHI , SATO KEIICHI
IPC分类号： G01N21/88 , G11B5/31 , G11B5/455
CPC分类号： G11B5/102 , G01N21/95 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3189
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently carry out an appearance inspection of a slider while suppressing influences on the slider.
SOLUTION: A method for inspecting the slider in such a rover state that two or more rectangular sliders are arranged on a line in the longitudinal direction comprises: a supporting step of supporting a rover B such that a first normal vector V1 extending from a first plane M1 and a second normal vector V2 extending from a second plane M2 adjacent to the first plane M1 which are selected from four normal vectors extending to the outside of the slider from four planes of the slider being set as respective start points and excepting both side planes along the longitudinal direction of the rover B, have upward components respectively in the vertical direction; and an inspecting step of optically inspecting the first plane M1 of the slider in the supported rover by using a first inspection means 11 and optically inspecting the second plane M2 by using a second inspection means 12.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了在抑制对滑块的影响的同时有效地进行滑块的外观检查。解决方案：一种用于在这样的流动站状态下检查滑块的方法，即在纵向方向上的一条直线上布置两个或更多个矩形滑动件包括：支撑步骤，支撑流动站B，使得从第一法线向量V1延伸从与从第一平面M1相邻的第二平面M2延伸的第一平面M1和第二法线向量V2从从滑块的四个平面延伸到滑块的外部的四个法向矢量中选择，其被设置为相应的起始点，并且除了沿着流动站B的长度方向的两侧平面分别在垂直方向上具有向上的分量; 以及检查步骤，通过使用第一检查装置11光学地检查支撑的流动站中的滑块的第一平面M1，并且通过使用第二检查装置12光学地检查第二平面M2。（C）2008年， JPO＆INPIT

54. 发明专利

JP2008039462A Display panel inspection device and method 审中-公开
标题翻译：显示面板检查装置和方法
公开(公告)号：JP2008039462A
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：JP2006210847
申请日：2006-08-02
申请人： Fujitsu Ltd , 富士通株式会社
发明人： HACHISUGA SHOJI
IPC分类号： G01M11/00 , G02F1/13 , G09F9/00
CPC分类号： G01N21/95 , G01N2021/9513
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To securely and easily detect a defective pixel temporally generated by a variation of an operation environment such as semi-contact failure or semi-disconnection failure.
SOLUTION: The display panel inspection device 10 inspecting a display panel 12 comprising a plurality of pixels 11 includes detection parts 13, 14 detecting that the pixel 11 is the defective pixel and a storage part 15 storing a result detected by the detection parts 13, 14.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了安全且容易地检测由诸如半接触故障或半断开故障的操作环境的变化而暂时产生的缺陷像素。
解决方案：显示面板检查装置10检查包括多个像素11的显示面板12包括检测部分13,14检测像素11是缺陷像素，存储部分15存储检测部分检测到的结果 13，14.版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

55. 发明专利

JP2007334296A Inspecting system for board subjected to inspection and inspecting method for board subjected to inspection 有权
标题翻译：受检查检查和检查方法的董事会检查制度
公开(公告)号：JP2007334296A
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：JP2007054669
申请日：2007-03-05
申请人： Dainippon Printing Co Ltd , 大日本印刷株式会社
发明人： MORIYA NORIHISA
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02F1/133514 , G01N21/21 , G01N21/95 , G02F2203/69
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspecting system for a board subjected to inspection and an inspecting method for the board subjected to inspection with which difference unevenness occurring at a phase difference layer can be effectively detected. SOLUTION: The inspecting system is used for inspecting the board subjected to inspection with the phase difference layer 3. The inspecting system is provided with a polarized light source 50 for emitting polarized light and an observation side polarizing plate 20 arranged at an observation side. In the inspecting system, the board subjected to inspection is set between the polarized light source 50 and the observation side polarizing plate 20 so that the polarized light is emitted from the polarized light source 50 to the board subjected to inspection. Set position of at least one among the observation side polarizing plate 20 and the board subjected to inspection is made to be variable to the polarized light source 50. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检查的板的检查系统和用于检查的板的检查方法，可以有效地检测出在相位差层出现的差异不均匀。
解决方案：检查系统用于通过相位差层3检查被检查的板。检查系统设置有用于发射偏振光的偏振光源50和布置在观察时的观察侧偏振板20 侧。在检查系统中，将经过检查的板设置在偏振光源50和观察侧偏振板20之间，使得偏振光从偏振光源50发射到被检查的基板。观察侧偏光板20和经过检查的板之间的至少一个的设置位置对偏振光源50是可变的。（C）2008，JPO＆INPIT

56. 发明专利

JP2007537445A Improved tests tftlcd panel using the on-demand automatic optical inspection subsystem 审中-公开
公开(公告)号：JP2007537445A
公开(公告)日：2007-12-20
申请号：JP2007513200
申请日：2005-05-02
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：ウェイス、アダム , サランリ、アフサー
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88 , G01N21/95 , G02F1/13 , G02F1/133
CPC分类号： G01N21/95 , G01N2021/9513
摘要：本発明によると、ＴＦＴＬＣＤパネルの電気的および電気光学的検査を行う検査システムにおいて、自動検査は、通常の再検査チャネルの一部として、スキャン処理中に、電気的または電気光学的検査システムの不良場所の特定および分類を支援するために空間撮像装置によってキャプチャされる一連の短パルスの照射を用いて、指定された領域における正確な高解像度の２次元画像をキャプチャすることにより、検査される対象物の限定された領域に対するオンデマンドの高解像度画像ＡＯＩスキャンを提供することによって、エンハンスされる。複数の画像をキャプチャする処理によって、１より多い不良箇所が特定されることができる。本発明による装置は、一定のタイプの不良の場所を正確に確定するために、不良がユーザまたは自動分類器によって再検査される前に、独立した装置として、または、検査ステーションまたは修理ステーションに組み込まれて使用されることができる。細かい画像解像度のため、サブピクセル補間の必要はない。特定の実施例では、毎秒６０フレーム以上をキャプチャできる高速エリアスキャンカメラは、約２０マイクロ秒以下、好ましくは８マイクロ秒以下の露光期間を有するフラッシュランプ画像をキャプチャする間に、毎秒３０ミリメートル以上の速度でスキャンすることができる。トライアンギュレーションを使用し、画像スキャンカメラと同一の光学パスを共有するハードウェアオートフォーカスセンサは、画像撮像機能のために、高速で継続的な焦点トラッキングを提供する。オンデマンド機能は、非ＡＯＩ検出機能および／または修復機能と順に動作し、不良の場所を確定し、不良を撮像するために、予め定められた限定された領域に対して実行される。本発明の特定の実施例は、非ＡＯＩ検査装置の機能的追加、および、非ＡＯＩ検査装置に関連して動作する修復装置の機能的追加の形式であってもよい。

57. 发明专利

JP2007132661A Method and apparatus for measuring air bubbles in cured concrete 有权
标题翻译：用于测量固化混凝土中的空气泡沫的方法和装置
公开(公告)号：JP2007132661A
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：JP2004186768
申请日：2004-06-24
申请人： Fast:Kk , Hachiyo Consultant Co Ltd , 株式会社八洋コンサルタント , 株式会社ファースト
发明人： NAKANO TAKASHI , TAKAHASHI KOICHI
IPC分类号： G01B11/24 , G01N21/88 , G01B11/00 , G01N21/17 , G01N21/84 , G01N21/95 , G06T7/00
CPC分类号： G06T7/0004 , G01N21/88 , G01N21/95
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To solve all of the points at issue such as the length of an extraction time for extracting air bubble parts, the troublesomeness of extraction work, the complicatedness of an extraction device or equipment of necessary tools, the reliability deficiency of an extraction result, etc.
SOLUTION: The density difference image of the first image, which is photographed by a digital camera using the illumination of a first illumination means of which the angle of illumination light formed with respect to the measuring region of the measuring target surface of a test piece of hardened concrete is large, and the second image, which is photographed by the illumination of a second illumination means of which the angle of illumination light formed with respect to the measuring region, is subjected to the characteristic quantity extraction processing of the image of opening parts of the holes including air bubbles appearing in the measuring region using the first air bubble image subjected to image processing and the second air bubble image subjected to image processing with respect to the third photographed image of the measuring region photographed by the illumination from the illumination means for illuminating the measuring region with luminous intensity exceeding a predetermined level to measure the air bubbles contained in the hardened concrete.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了解决所提出的所有问题，例如提取气泡部件的提取时间长度，提取工作的麻烦，提取装置或必要工具的设备的复杂性，可靠性提取结果不足等。解决方案：使用照射第一照明装置的数字照相机拍摄的第一图像的浓度差异图像，其中相对于测量形成的照明光的角度硬化混凝土试件的测量对象面的区域大，通过照射相对于测量区域形成的照明光的角度的第二照明装置照射的第二图像经受使用第一气泡将出现在测量区域中的气泡的孔的开口部分的图像的特征量提取处理进行图像处理的第二气泡图像和对来自照明装置的照明拍摄的测量区域的第三拍摄图像进行图像处理的第二气泡图像，用于以超过预定水平的光强度照射测量区域，以测量包含在硬化混凝土中的气泡。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

58. 发明专利

JP3904933B2 Inspection method and apparatus for detecting defects 有权
公开(公告)号：JP3904933B2
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：JP2002018474
申请日：2002-01-28
申请人：日本碍子株式会社
发明人：晃一宮下 , 明夫榎本
IPC分类号： G01N15/08 , G01N21/95 , B01D46/00 , B01D46/44 , B01D65/10 , F01N3/00 , F01N3/02 , G01M3/20 , G01M3/38 , G01N21/88
CPC分类号： B01D46/442 , B01D46/0086 , B01D65/102 , B01D65/104 , B01D2273/18 , G01M3/20 , G01M3/38 , G01N15/0826 , G01N21/88 , G01N21/95 , G01N21/95692

59. 发明专利

JP2007507707A Systems and methods reflect the characteristics of the object 有权
公开(公告)号：JP2007507707A
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：JP2006532225
申请日：2004-09-24
申请人：シックアイヴィピーエービー
发明人：マッツイェークストープ , マティアスヨハネソン
IPC分类号： G01N21/892 , G01B11/25 , G01B11/30 , G01N21/21 , G01N21/89 , G01N21/896 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/896 , G01B11/25 , G01B11/303 , G01N21/21 , G01N21/95 , G01N21/958
摘要：対象物（２）の特徴を映す測定システム（１）が少なくとも第１層（２ａ）及び第２層（２ｂ）を有する。対象物（２）は入射光（４）で照射され、対象物（２）からの反射光（５ｂ）が検出光を電荷に変換する画像センサー（６）で検出され、それにより対象物（２）の映像が作られる。対象物（２）の第１層（２ａ）及び第２層（２ｂ）で散乱した光（５ａ）に関する情報が映像から得られ、情報は対象物（２）上の欠陥を検出するために記憶された情報と比較される。

60. 发明专利

JP2006029881A Inspection method of pattern defect and inspection device thereof 审中-公开
标题翻译：图案缺陷检查方法及其检测装置
公开(公告)号：JP2006029881A
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：JP2004206688
申请日：2004-07-14
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： NISHIYAMA HIDETOSHI , SHIBATA YUKIHIRO , MAEDA SHUNJI , YOSHIDA MINORU
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/95 , G01N2021/9513
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection method of a pattern defect capable of stably detecting a target defect in various processes by reducing the misdetection of grain or morphology or the effect of interference light intensity irregularity, and an inspection device of the pattern defect.
SOLUTION: The lights emitted from illumination means 3 and 4 for outputting a plurality of wavelengths are reflected by a beam splitter 6 to irradiate a wafer 1. The diffracted light from the water 1 is condensed by an object lens 8 and formed into an image on an image sensor in a light detecting part 17 through optical modulation units 7, 11 and 13 to detect a defect in a signal processing part 18. The optical modulation units are optimized with respect to the target defect using a plurality of optical parts.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够通过减少谷物或形态的误检或干涉光强度不均匀的影响来稳定地检测各种处理中的目标缺陷的图案缺陷的检查方法，以及检查装置图案缺陷解决方案：从照明装置3和4发出的用于输出多个波长的光由分束器6反射以照射晶片1.来自水1的衍射光被物镜8会聚并形成为通过光调制单元7,11和13在光检测部分17中的图像传感器上的图像，以检测信号处理部分18中的缺陷。光调制单元使用多个光学部件来优化目标缺陷。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

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