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    • 60. 发明专利
    • 光走査装置
    • JPWO2008044470A1
    • 2010-02-04
    • JP2008538626
    • 2007-09-26
    • 独立行政法人産業技術総合研究所
    • 明渡 純純 明渡治道 佐藤治道 佐藤載赫 朴載赫 朴
    • G02B26/10H04N1/036
    • G02B26/105G02B26/0833
    • 【課題】本発明は、ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板にエアロゾルデポジション法(以下、「AD法」と略す場合がある。)、スパッタリング法あるいはゾル−ゲル法等の薄膜形成技術を用いて圧電膜アクチュエータを形成し、基板の振動を利用してミラー部に捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラー部に捻れ振動を発生することができる光走査装置を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の光走査装置は、基板本体と、基板本体の一側の両側部から突出した2つの片持ち梁部と、これら片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定するとともに、基板本体の一部に駆動源を設けることを特徴としている。