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    • 42. 发明专利
    • Liquid chemical discharge valve and liquid chemical supply system
    • 液体化学排放阀和液体化学品供应系统
    • JP2012145164A
    • 2012-08-02
    • JP2011003828
    • 2011-01-12
    • Ckd Corpシーケーディ株式会社
    • NISHIO YOSHIFUMIAZUMA YOSHITSUGUMARUTA TOSHIKISUZUKI NOBUYA
    • F16K31/128F16K7/00F16K23/00
    • F16K31/1268F16K31/1262Y10T137/5762Y10T137/86759
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology that reduces a flow rate of liquid chemical droplets while suppressing the liquid chemical from becoming droplets.SOLUTION: A liquid chemical discharge valve is provided for supplying the liquid chemical on a rotating wafer. The liquid chemical discharge valve comprises: a working gas supply part which has a diaphragm valve having an abutting part which changes a passage state between a liquid chemical supply port and a liquid chemical discharge port by operating a lift amount between a valve-closed state and a maximum lift amount, a first proportional control valve 51 which can continuously adjust a first opening for operating a supply amount of working gas, a second proportional control valve 52 which can continuously adjust a second opening for operating a discharge amount of the working gas, and a working gas supply port which is formed in an intermediate passage for connecting the first proportional control valve 51 and the second proportional control valve 52; and an actuator which operates the lift amount according to the supply pressure of the working gas supplied from the working gas supply port. The actuator has a lift amount limit part which limits the maximum lift amount so as to be adjustable.
    • 要解决的问题:提供一种降低液体化学液滴的流速同时抑制液体化学物质变成液滴的技术。 解决方案:提供液体化学品排放阀,用于将液体化学品供应到旋转晶片上。 液体化学品排放阀包括:工作气体供应部分,其具有隔膜阀,该隔膜阀具有抵接部分,该邻接部分通过操作阀关闭状态和阀关闭状态之间的提升量来改变液体化学物质供给口和液体化学物质排出口之间的通过状态 最大提升量,可以连续地调节用于操作工作气体供给量的第一开口的第一比例控制阀51,能够连续地调节用于操作工作气体的排出量的第二开口的第二比例控制阀52, 以及工作气体供给口,其形成在用于连接第一比例控制阀51和第二比例控制阀52的中间通路中; 以及致动器,其根据从工作气体供给口供给的工作气体的供给压力来操作提升量。 执行器具有升程量限制部分,其限制最大提升量以便可调节。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT
    • 50. 发明专利
    • 呼吸気により起動され得るバルブを備えた鼻洗浄器
    • 配备有阀洗鼻可以由呼吸激活
    • JP2016538976A
    • 2016-12-15
    • JP2016550947
    • 2014-09-06
    • ゲルバー ベネディクトゲルバー ベネディクト
    • ゲルバー ベネディクトゲルバー ベネディクト
    • A61M3/02A61H35/04
    • A61M3/0279A61H35/04A61H2201/0153A61H2201/0192A61H2201/5025A61M3/0241A61M2205/076A61M2210/0618B05B1/3026B05B9/0811B05B11/0094F16K3/265F16K31/1262
    • 本発明に係る鼻洗浄器(10)は、バルブ(32)、容器部材(12)、及び、キャップ部材(24)を有し、上記容器部材(12)は、灌注用液体(14)を受容する役割を果たすと共に上記キャップ部材(24)を担持する。上記キャップ部材(24)は、上記容器部材(12)の内部(11)に対して放出チャネル(60)を介して流体接続された灌注用液体(14)用の吐出開口(64)を備えた鼻用取付具(62)を有し、該鼻用取付具(62)は、ユーザの外鼻孔(70、92)に対して取付けられることが意図される。本発明に依れば、上記容器部材(12)または上記キャップ部材(24)には、上記バルブ(32)を制御するマウスピース(44)が割当てられ、上記バルブ(32)は非作動位置において閉じられることから、上記鼻用取付具(62)を通る灌注用液体(14)の流出は阻止され、且つ、ユーザが上記マウスピース(44)内へと吹き込んだときに呼吸気の作用下で上記バルブ(32)は開き位置へともたらされ得ることから、灌注用液体(14)は上記鼻用取付具(62)を通り流出し、呼吸気または周囲空気は上記容器部材(12)内へと流入することで上記流出を許容する。【選択図】図2
    • 根据本发明(10),所述阀(32),所述容器部件(12)的鼻清洁器,且具有盖部件(24),所述容器部件(12),接收所述冲洗液体(14) 承载盖部件(24)一起用于。 流体地连接到所述冲洗液体(14)中排出通过排出通道(60)相对于开口(64)的盖构件(24),具有内部(11),所述容器部件(12) 具有(62)的鼻件,该鼻固定装置(62)用于附接到用户(70,92)的鼻孔。 根据本发明,在所述容器部件(12)或所述帽盖件(24),嘴件用于控制所述阀(32)(44)被分配,在所述非操作位置中的阀(32) 由于封闭的,通过鼻管接头(62)(14)被阻止,并且所述呼吸气体的作用下,用户泄漏冲洗液体的时吹入吹口(44) 因为其可被带入打开位置的阀(32),所述冲洗液体(14)是经鼻接头(62)和作为出口,呼吸或环境空气进入所述容器部件(12) 允许由流动的流出。 .The