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    • 50. 发明专利
    • 積層体に内在する異物の分析方法
    • JP2021128160A
    • 2021-09-02
    • JP2021019492
    • 2021-02-10
    • 住友金属鉱山株式会社
    • 二宮 秀治冨士田 公彦
    • G01N21/65G01N23/2252
    • 【課題】複数の樹脂層からなる積層体について内在する異物の存在位置を把握し、その異物を精度よく分析する。 【解決手段】積層体の表面を観察し、異物の介在に起因して表面に生じる異物領域の位置を特定する異物領域特定工程と、異物領域を分断するように積層体を切断し、その切断面に異物を露出させる切断工程と、切断面に露出する異物を分析する分析工程と、を有し、分析工程は、異物に対してX線を照射してEDXスペクトルを取得する第1取得工程と、異物の周囲にある樹脂層に対して所定のレーザ光強度でレーザ光を照射し、樹脂層の炭化の有無を確認する確認工程と、異物に対して、確認工程で炭化が確認されなかったレーザ光強度でレーザ光を照射して、ラマンスペクトルを取得する第2取得工程と、を有し、EDXスペクトルおよびラマンスペクトルに基づいて異物を分析する、積層体に内在する異物の分析方法である。 【選択図】図2