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41. 发明专利

JP4065078B2 Disk mirror chamfering device 有权
公开(公告)号：JP4065078B2
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：JP13271199
申请日：1999-05-13
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：由夫中村 , 康秀傳田 , 美雄大塚 , 拓也掛川 , 清和権田 , 知橘田 , 惇鍛治倉 , 敏明関
IPC分类号： B24B9/00 , B24B9/06 , B24B37/02
CPC分类号： B24B37/02 , B24B9/065

42. 发明专利

JP4054119B2 Wafer sticking apparatus 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4054119B2
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：JP25861298
申请日：1998-09-11
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：俊久柳沢
IPC分类号： B24B37/04 , B24B37/30 , H01L21/304

43. 发明专利

JP4051116B2 Wafer polishing apparatus 失效
公开(公告)号：JP4051116B2
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：JP35731797
申请日：1997-12-25
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：三喜男中村 , 由夫中村 , 光夫倉田 , みつ江小川 , 真夫小平 , 知橘田 , 真一野本 , 毅長谷川 , 敏明関 , 秀樹高野
IPC分类号： B24B37/015 , B24B49/14 , H01L21/304
CPC分类号： B24B49/14

44. 发明专利

JP3981291B2 Double-side polishing apparatus for carriers and double-sided polishing apparatus 有权
公开(公告)号：JP3981291B2
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：JP2002101071
申请日：2002-04-03
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：紀彦守屋 , 智樹神田 , 倉惇鍛治
IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/27 , B24B37/28 , H01L21/304

45. 发明专利

JP3955125B2 Heat exchanger dual-purpose pump device 失效
公开(公告)号：JP3955125B2
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：JP11770197
申请日：1997-05-08
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：由夫中村 , みつ江小川
IPC分类号： F04B43/06

46. 发明专利

JP2007157169A Flow control system of cooling water supply device in semiconductor manufacturing device 审中-公开
标题翻译：半导体制造装置中冷却水供应装置的流量控制系统
公开(公告)号：JP2007157169A
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：JP2007004811
申请日：2007-01-12
申请人： Fujikoshi Mach Corp , 不二越機械工業株式会社
发明人： NAKAMURA YOSHIO , HASEGAWA TAKESHI , SEKI TOSHIAKI , OGAWA MITSUE
IPC分类号： G05D7/06 , H01L21/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow control system capable of automatically adjusting flow rate.
SOLUTION: This system comprises a branch conduit for supplying cooling water to each semiconductor manufacturing device 51-53; a branch pipe flow control valve; a semiconductor manufacturing device operation part for inputting a setting condition of flow rate of cooling water; a branch pipe flow sensor; a semiconductor manufacturing device instruction processing part including a flow control comparator outputting a signal related to control of the branch pipe flow control valve; an automatic input means 50 automatically inputting a setting condition that is the total sum of supply quantity of cooling water to each semiconductor device; an operation part 32 receiving the setting condition input by the automatic input means 50; a flow control valve 34 provided in a common conduit 16; a flow sensor 26 for detecting the flow rate of cooling water within the common conduit 16; and an instruction processing part 40 including a flow control comparator 36 for comparing a set signal inputted from the operation part 32 with a detection signal by the flow sensor 26 and outputting a signal related to control of the flow control valve 34.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供能够自动调节流量的流量控制系统。解决方案：该系统包括用于向每个半导体制造装置51-53供应冷却水的分支导管; 分支管流量控制阀; 半导体制造装置操作部，其输入冷却水的流量的设定条件; 支管流量传感器; 半导体制造装置指令处理部，其包括：流量控制比较器，输出与分支管流量控制阀的控制有关的信号; 自动输入装置50自动输入作为每个半导体装置的冷却水供给量的总和的设定条件; 接收由自动输入装置50输入的设定条件的操作部32; 设置在公共管道16中的流量控制阀34; 用于检测公共管道16内的冷却水的流量的流量传感器26; 以及指令处理部40，其包括用于将从操作部32输入的设定信号与流量传感器26的检测信号进行比较的流量控制比较器36，并输出与流量控制阀34的控制有关的信号。（C）2007，JPO＆INPIT

47. 发明专利

JP2007105854A Method for adhering grinding pad, and fixture for adhering grinding pad 有权
标题翻译：用于加工研磨垫的方法和用于加工研磨垫的装置
公开(公告)号：JP2007105854A
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：JP2005301330
申请日：2005-10-17
申请人： Fujikoshi Mach Corp , 不二越機械工業株式会社
发明人： NAKAMURA YOSHIO , KOYAMA HARUMICHI
IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/12 , B24B37/20 , H01L21/304
CPC分类号： B24B7/17 , B24B37/08 , B24D9/085
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate an operation for adhering a grinding pad to upper and lower surface plates. SOLUTION: This method for adhering a grinding pad in a double-sided grinding device comprises a step for setting a carrier dedicated for adhering a pad fixed while a roller device 48 for pressurizing the grinding pad is positioned in a through hole in a manner that the roller device 48 is directed to a radial direction of upper and lower surface plates 14, 16, a step for making the upper and lower surface plates 14 and 16 relatively approach to each other and nipping the roller device 48 by the upper and lower surface plates 14, 16 with a predetermined pressuring force, and a step for rotating the upper and lower surface plates 14, 16 in opposite directions at identical speed, and pressing and adhering the grinding pad to grinding faces of the upper and lower surface plates 14, 16 by the roller device 48. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了便于将研磨垫粘附到上表面板和下表面板上的操作。解决方案：用于将研磨垫粘合在双面研磨装置中的方法包括：将用于加压研磨垫的辊装置48定位在通孔中的专用于固定的垫的固定用托架的步骤辊装置48指向上表面板14和下表面板16的径向的方式，使上表面板14和下表面板16相互靠近并将辊装置48夹在上面和下表面板14和16的步骤下表面板14,16具有预定的加压力，以及用于以相同的速度沿相反方向旋转上表面板14和下表面板16的步骤，并将研磨垫按压并粘附到上表面板和下表面板的研磨面 14，16由辊装置48.版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

48. 发明专利

JP3880362B2 Cleaning method and the cleaning apparatus of the polishing platen 有权
公开(公告)号：JP3880362B2
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：JP2001319352
申请日：2001-10-17
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：紀彦守屋
IPC分类号： B08B3/02 , B24B53/007 , B24B53/017 , H01L21/304

49. 发明专利

JP3838734B2 Pressurization control mechanism in the double-sided polishing apparatus 失效
公开(公告)号：JP3838734B2
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：JP6984597
申请日：1997-03-24
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：由夫中村 , 惇鍛治倉
IPC分类号： B24B37/005

50. 发明专利

JP2006212739A Polishing device 有权
标题翻译：抛光装置
公开(公告)号：JP2006212739A
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：JP2005028504
申请日：2005-02-04
申请人： Fujikoshi Mach Corp , 不二越機械工業株式会社
发明人： NAKAMURA YOSHIO , NAKAMURA MITSUHIRO
IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/27 , B24B37/28 , H01L21/304
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polishing device capable of preventing a workpiece from being flawed by abrasive powder while preventing the wear of a tooth part of a gear to attain a long service life. SOLUTION: The polishing device polishes the workpiece by an upper surface plate and a lower surface plate by engaging external teeth 13a of a carrier 13 for holding the workpiece, with internal teeth of an outer pin gear 11 and external teeth of an inner pin gear 12 respectively to rotate and revolve the carrier 13. At least one of the internal teeth of the outer pin gear 11 and the external teeth of the inner pin gear 12 is formed of a plurality of tooth parts 20, 30 provided at circumferentially constant spaces at the pin rings 11b, 12b, and having pin bodies 22 projected upward and supported to the pin rings 11b, 12b rotatably around axes, and cylindrical collars 24 rotatably fitted to the outer peripheries of the pin bodies 22. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够防止工件由磨料粉碎而发生磨损的抛光装置，同时防止齿轮的齿部磨损达到较长的使用寿命。解决方案：抛光装置通过接合用于保持工件的载体13的外齿13a与外销齿轮11的内齿和内部齿的外齿啮合，通过上表面板和下表面板抛光工件销齿轮12分别旋转和旋转载体13.外销齿轮11的内齿和内销齿轮12的外齿中的至少一个由多个设置在周向上恒定的齿部20,30形成销环11b，12b处的空间，并且具有向上突出并且可绕轴线可旋转地支撑到销环11b，12b的销体22以及可旋转地装配到销主体22的外周的圆柱形套环24。（C）2006，JPO＆NCIPI

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