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    • 34. 发明专利
    • インライン内部欠陥検査方法およびシステム
    • JP2019219267A
    • 2019-12-26
    • JP2018116599
    • 2018-06-20
    • 株式会社日立製作所
    • 定岡 紀行
    • G01N23/18G01N23/044
    • 【課題】製造タクトタイム内に対象被検体の内部欠陥の有無および内部欠陥が存在する場合に、その3次元形状、体積、位置等の詳細情報の計測評価を実現させるインライン内部欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】対象被検体の部分領域を計測するステージとX線源と放射線出器を用いて対象被検体の全体領域を計測するステージおよび対象検体の搬送機構からなるインライン検査システムにおいて、前段に超音波検出器またはレーザ距離計等の光学計測機器を使用して部分領域を計測するステージを設け、その後段にX線源と放射線出器とからなる撮像ユニットを連続的に配置し、前段の計測ステージにおける超音波検出器またはレーザ距離計等の光学計測機器での計測データと後段で得られるX線投影像の両者を用いて対象被検体の3次元画像再構成を実施する事により、インラインの製造宅とタイム内で内部欠陥の有無の判定および欠陥サイズ、位置を特定する。 【選択図】 図1
    • 39. 发明专利
    • 検査装置
    • JP2021032816A
    • 2021-03-01
    • JP2019155888
    • 2019-08-28
    • ヤマハ発動機株式会社
    • 青山 英樹
    • G01N23/044G01N23/18G01N23/046
    • 【課題】検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能な検査装置を提供する。 【解決手段】X線検査部3の再構成部395は、X線の透過方向毎の投影データ及び透過距離に基づいて画像の再構成を行って検査画像を生成する際に、周辺形状データを参照する。具体的に、再構成部395は、検査対象物の全体が収まる範囲を示す再構成対象領域を構成するセル毎のX線の減衰率を、逐次近似アルゴリズムに従い演算することにより、画像の再構成を行って検査画像を生成する。この画像の再構成を行う際に、再構成部395は、再構成対象領域を構成する複数のセルのうち、周辺形状データで示される周辺部に属する周辺セルのX線の減衰率については、事前情報として固定値に設定する。 【選択図】図2