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    • 36. 发明专利
    • 測定装置、および測定方法
    • JP2020051870A
    • 2020-04-02
    • JP2018180874
    • 2018-09-26
    • 横河電機株式会社学校法人法政大学
    • 勝山 純松本 憲典品川 満
    • G01R29/12G01R27/26
    • 【課題】シート状もしくはフィルム状の誘電体の比誘電率を高空間分解能かつ非接触で測定することができる測定装置、および測定方法を提供することを目的とする。 【解決手段】測定装置は、交流電界を発生する電界発生手段と、電界発生手段からの交流電界を検出できる電界検出手段と、測定対象物の厚さを測定する厚さ計と、比誘電率と交流電界の強度の関係を示す検量線の導出を行う処理部と、を備え、電界発生手段と電界検出手段は互いに対向して配置され、測定対象物は電界発生手段と電界検出手段の間に挿入され、電界発生手段と電界検出手段は測定対象物と接触しないように距離を隔てて配置され、厚さ計は測定対象物と接触しないように配置され、電界検出手段は測定対象物によって減衰した交流電界の強度を検出し、厚さ計は測定対象物の厚さを測定し、処理部は、測定された交流電界の強度と厚さと検量線とに基づいて測定対象物の比誘電率を算出する。 【選択図】図1