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    • 22. 发明专利
    • 位置検出装置およびこれを用いた装置
    • 位置检测器和包括其的设备
    • JP2016161433A
    • 2016-09-05
    • JP2015041111
    • 2015-03-03
    • キヤノン株式会社
    • 石川 大介
    • G01D5/244
    • 【課題】光学スケールに汚れや塵埃が付いた場合の位置の誤検出を回避する。 【解決手段】位置検出装置は、可動部材102の移動に伴って光学スケール101と相対移動する際に光学スケール上の複数の周期パターンからの光を受光して複数の第1の検出信号を生成する光学式の第1の位置検出手段103と、可動部材の移動に伴って変化する第2の検出信号を生成する非光学式の第2の位置検出手段108と、複数の第1の検出信号から第1の位置信号を生成し、第2の検出信号を用いて第1の位置信号とは分解能が異なる第2の位置信号を生成し、第1および第2の位置信号を結合する演算を行って可動部材の絶対位置を示す絶対位置信号を生成する演算手段106とを有する。選択手段120は、絶対位置信号と第2の位置信号との差が所定値より小さい場合は絶対位置信号を選択し、該差が所定値より大きい場合は第2の位置信号を選択する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:避免当光学秤弄脏或弄脏时引起的位置的错误检测。解决方案:一种位置检测器,包括:第一光学位置检测装置103,用于在从多个接收到光标时产生多个第一检测信号 随着可移动部件102的运动而相对于光学秤移动时,光刻标尺101上的周期性图案; 第二非光学位置检测装置108,用于产生随着可移动部件的移动而变化的第二检测信号; 以及计算装置106,用于通过使用第一检测信号产生第一位置信号来产生表示可移动构件的绝对位置的绝对位置信号,产生具有与第一位置信号的分辨率不同的分辨率的第二位置信号, 第二检测信号,并且计算以组合第一位置信号和第二位置信号。 当绝对位置信号和第二位置信号之间的差小于预定值时,选择装置120选择绝对位置信号,并且当差值大于预定值时选择第二位置信号。选择图示:图1
    • 23. 发明专利
    • 位置検出装置およびこれを用いた装置
    • 位置检测器和包括其的设备
    • JP2016161431A
    • 2016-09-05
    • JP2015041075
    • 2015-03-03
    • キヤノン株式会社
    • 石川 大介
    • G01D5/244
    • 【課題】光学スケールが温度の変化によって伸縮した場合でも、正確な位置検出を行う。 【解決手段】位置検出装置は、可動部材102の移動に伴って光学スケール101と相対移動する際に複数の周期パターンからの光を受光して複数の第1の検出信号を生成する光学式の第1の位置検出手段103と、可動部材の移動に伴って変化する第2の検出信号を生成する非光学式の第2の位置検出手段108と、複数の第1の検出信号を用いて第1の位置信号を生成するとともに、第2の検出信号を用いて第1の位置信号とは分解能が異なる第2の位置信号を生成し、第1の位置信号と第2の位置信号とを結合する演算を行って可動部材の絶対位置を示す絶対位置信号を生成する演算手段106とを有する。補正手段150は、第1の位置信号と第2の位置信号との比率に応じた補正利得を演算し、絶対位置信号を補正利得を用いて補正した補正絶対位置信号を生成する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:即使由于温度变化而导致光学尺度膨胀或收缩,即使精确地检测位置。解决方案:位置检测器包括:第一光学位置检测装置103,用于在接收来自 随着可动构件102的移动,相对于光刻尺101移动时的多个周期性图案; 第二非光学位置检测装置108,用于产生随着可移动部件的移动而变化的第二检测信号; 以及计算装置106,用于通过使用第一检测信号产生第一位置信号来产生表示可移动构件的绝对位置的绝对位置信号,产生具有与第一位置信号的分辨率不同的分辨率的第二位置信号, 第二检测信号,并且计算以组合第一位置信号和第二位置信号。 校正装置150根据第一位置信号和第二位置信号之间的比率来计算校正增益,以产生通过校正增益校正绝对位置信号而获得的校正绝对位置信号。图1