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    • 18. 发明专利
    • 検査方法、検査装置、及び検査システム
    • JP2021096318A
    • 2021-06-24
    • JP2019226316
    • 2019-12-16
    • 住友化学株式会社
    • 小林 信次
    • G01N21/892G01N21/89G02B5/30
    • 【課題】基材フィルムが有する面内位相差の影響を抑制しながら、重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜の欠陥の有無の検査をすることができる検査方法を提供する。 【解決手段】波長550nmにおける面内位相差値が50nm以上である基材フィルム8Aと、その片面に形成された重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜7Aとを備える被検査物10に光を入射して位相差膜の欠陥の有無を判断する検査方法である。第1の直線偏光板3と、被検査物10と、位相差フィルタ4と、第2の直線偏光板5とを配置する。基材フィルムの遅相軸と、第1の直線偏光板又は第2の直線偏光板の透過軸とを互いに略直交させ又は略平行とし、位相差膜の遅相軸と、位相差フィルタの遅相軸とは互いに略平行とし、光の光軸方向から見た場合に、位相差膜の遅相軸を対称軸として第1の直線偏光板の透過軸と第2の直線偏光板の吸収軸が略線対称となるように配置する。 【選択図】図1