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1. 发明专利

JP2017162827A サーマルアレイシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2017162827A
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：JP2017083515
申请日：2017-04-20
申请人：ワトロウエレクトリックマニュファクチュアリングカンパニー
发明人：スワンソン、カル、ティー. , シュミッド、フィリップ、エス. , レムケ、ジョン、エフ.
IPC分类号： H01L21/02 , H05B3/00
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67098 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6833 , H05B1/00 , H05B1/02 , H05B1/0202 , H05B1/0227 , H05B1/0233 , H05B3/02 , H05B3/06 , H05B3/20 , H05B2203/005 , H05B2203/013 , H05B2213/03 , Y10T156/10
摘要：【課題】半導体処理における使用、および、場合により静電チャックに用いることが可能なサーマルアレイシステムを提供する。【解決手段】サーマルアレイシステム300が提供される。このシステムは、第1のノードと第2のノードとの間に接続された第1の熱素子332と第2の熱素子334とを含む。第2のノードに関連する第1のノードの第1の極性により第1の熱素子を起動し第2の熱素子の動作を停止させる。更に、第2のノードに関連する第1のノードの第2の極性により第1の熱素子の動作を停止させ第2の熱素子を起動する。【選択図】図3b

3. 发明专利

JP2016535982A エアロゾル生成装置のエアロゾル搬送アダプタ及びエアロゾル生成装置内でエアロゾルを搬送する方法审中-公开
标题翻译：如何传达在烟雾生成装置的气雾剂输送适配器和气溶胶生成装置气溶胶
公开(公告)号：JP2016535982A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2016520131
申请日：2014-10-07
申请人：ジェイティーインターナショナルエス.エイ.JT International S.A. , ジェイティーインターナショナルエス.エイ.JT International S.A.
发明人：アンドリューロバートジョンローガン , アンドリューロバートジョンローガン , アーレンデボラスミス , アーレンデボラスミス
IPC分类号： A24F47/00
CPC分类号： A24F47/008 , A24D3/041 , A24F7/00 , H05B1/0227 , H05B3/0014
摘要：本発明は、貯液コンポーネントとマウスピースを備えた、エアロゾル生成装置のエアロゾル搬送アダプタに関する。貯液コンポーネントは、エアロゾルの生成に使用される液体を保持する貯液槽と、貯液槽内を通じる空気流路と、空気流路の周囲に配置されたコネクタ継手とを備える。マウスピースは、流体分離され、それぞれが少なくとも1つのマウスピース入口から少なくとも1つのマウスピース出口まで通じる少なくとも2つのマウスピース区画と、マウスピース入口の周囲に配置され、貯液コンポーネントのコネクタ継手にアライメント可能に接続されるように構成されたマウスピース継手とを備える。【選択図】図3
摘要翻译：本发明设置有储液部件和吹口，关于气溶胶发生器的气雾剂递送适配器。储器部件包括用于容纳液体的贮存器，以产生气溶胶，和空气流路连通的液体储存箱，并设置连接器耦合到周围的空气流路。吹嘴流体地分开，每个与至少两个烟嘴部分通向至少一个吹口出口从布置围绕入口嘴件的至少一个接口管入口，取向向储液部件的连接器嵌合能和吹嘴装配件配置成连接。点域

4. 发明专利

JP5945327B2 サーマルアレイ制御システムおよび方法有权
标题翻译：热阵控制系统和方法
公开(公告)号：JP5945327B2
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：JP2014528579
申请日：2012-08-30
申请人：ワトロウエレクトリックマニュファクチュアリングカンパニー
发明人：スワンソン、カル、ティー. , シュミッド、フィリップ、エス. , レムケ、ジョン、エフ.
IPC分类号： H05B3/00 , G05D23/24
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67098 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6833 , H05B1/00 , H05B1/02 , H05B1/0202 , H05B1/0227 , H05B1/0233 , H05B3/02 , H05B3/20 , H05B2213/03 , Y10T156/10

5. 发明专利

JP2016519208A ＥＰＩプロセスのための均一性調整レンズを有するサセプタ支持シャフト有权
标题翻译：具有用于外延工艺均匀性的调整透镜基座支承轴
公开(公告)号：JP2016519208A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：JP2016500273
申请日：2014-02-14
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：チョーポンツォン， , チョーポンツォン， , バラスブラマニアンラマチャンドラン， , バラスブラマニアンラマチャンドラン， , 才人石井 , 才人石井 , シュエピンリー， , シュエピンリー， , メフメトトゥールルサミール， , メフメトトゥールルサミール， , シュー−クワンラウ， , シュー−クワンラウ， , ポールブリルハート， , ポールブリルハート，
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52 , H01L21/205 , H01L21/683
CPC分类号： H05B1/0227 , H05B2203/032
摘要：本発明の実施形態は、一般的に、サセプタ支持シャフトおよびサセプタ支持シャフトを含む処理チャンバに関する。サセプタ支持シャフトは、その上にサセプタを支持し、今度はサセプタが処理期間中に基板を支持する。サセプタ支持シャフトは、サセプタ支持シャフトが回転するときでさえ、サセプタおよび/または基板へと向けられるパイロメータ焦点ビームのための一貫性のある経路を設けることにより、サセプタおよび/または基板の温度測定の変化を減少させる。サセプタ支持シャフトは、比較的少ない熱質量も有し、このことが、プロセスチャンバのランプアップ速度およびランプダウン速度を増加させる。いくつかの実施形態では、特別製の屈折要素が、中実のディスクの頂部上に取り外し可能に配置され、エピタキシプロセスの最適な厚さ均一性のために、サセプタおよび/または基板にわたって、2次的な熱分配を再分配することができる。【選択図】図5B
摘要翻译：本发明的实施例一般地涉及处理室，包括一个基座支撑轴和基座支承轴。基座支承轴支承在其上的基座，又支撑在基座处理周期中的衬底。基座支承轴，即使当轴旋转时，通过对定向到衬底的基座和/或温度测量的基座和/或基板，变异高温计焦光束提供一致的路径基座支撑下降。基座支承轴具有相对小的热质量，这是，为了提高升温速度和处理室的斜坡下降速率。在一些实施方案中，特殊钢的折射元件可移除地设置在固盘的顶部，对于外延工艺的最佳厚度的均匀性，在所述基座和/或底物，辅有可能重新分配的热分布。点域5B

6. 发明专利

JP2016109482A 負荷駆動装置有权
标题翻译：负载驱动装置
公开(公告)号：JP2016109482A
公开(公告)日：2016-06-20
申请号：JP2014244986
申请日：2014-12-03
申请人：日本特殊陶業株式会社
发明人：樋口雄三 , 上村朋典
IPC分类号： H03K17/00 , G01R31/02
CPC分类号： G01R31/025 , H05B1/0227 , H05B3/02
摘要：【課題】製造コストの増大を抑制でき、かつ、無駄な電力消費を抑制できる構成を採りつつ、電気負荷の劣化を判定できる負荷駆動装置を提供する。【解決手段】負荷駆動装置1の制御部21は、ヒータ11への印加電圧Vpwmがローレベル電位である時に、ヒータ11に対して異常判定用電流Ihを一時的に通電し、異常判定用電流Ihに基づいて、ヒータ11の電気抵抗値RHを演算する(S120)。制御部21は、ヒータ11の電気抵抗値RHに基づいて、ヒータ11の劣化状態およびヒータ11の配線異常状態を少なくとも含むヒータ11の異常状態の有無を判定する。負荷駆動装置1は、ヒータ11に対して直列接続するとともにスイッチング部23に対して並列接続する電流検出用抵抗が不要であるため、製造コストの増大を抑制できるとともに、ヒータ11の劣化状態および配線異常状態を検出するためにヒータ11へ常時電流を流すことが不要な構成を実現できる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够基本上抑制制造成本的增加并且确定电负载的劣化的负载驱动装置，同时适应能够抑制浪费的功率消耗的配置。解决方案：负载驱动的控制部分21 当加热器11的施加电压Vpwm为低电位电位时，装置1暂时携带用于异常判定的电流Ih，并且根据用于异常判定的电流Ih计算加热器11的电阻值RH（S120）。控制部21基于加热器11的电阻值RH，判定加热器11的至少具有劣化状态和加热器11的布线异常状态的异常状态的存在与否。由于负载驱动装置1不需要与加热器11串联连接并与切换部23并联连接的电流检测用电阻器，可以抑制制造成本的增加，从而实现不需要的结构以将电流携带到加热器11，以便检测加热器11的劣化状态和布线异常状态。图2：图2

7. 发明专利

JPWO2014007044A1 波長制御ヒーター有权
标题翻译：波长控制加热器
公开(公告)号：JPWO2014007044A1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2013547431
申请日：2013-06-13
申请人：日本碍子株式会社
发明人：良夫近藤 , 良夫近藤
IPC分类号： H05B3/00 , H05B3/10 , H05B3/44
CPC分类号： H05B1/0227
摘要：波長制御ヒーター10は、フィラメント12を有するヒーター本体16と、フィルタ管18と、第1外管22と、第2外管24とを備えている。フィルタ管18は、温度が所定の閾値より低いと赤外線透過率が高くなり、温度が閾値より高いと赤外線透過率が低くなる性質を有する。コントローラー60は、赤外線の種類として近赤外線が設定されている場合には、フィルタ管18の温度が閾値より低くなるように第1〜第3流路31〜33に供給する冷媒の流量を調節し、赤外線の種類として遠赤外線が設定されている場合には、フィルタ管18の温度が閾値より高く且つフィルタ管18が遠赤外線の放射源となるように第1〜第3流路31〜33に供給する冷媒の流量を調節する。
摘要翻译：波长控制加热器10包括具有灯丝12的加热器本体16和过滤器管18，第一外管22，和一个第二外管24。过滤管18具有温度低于预定阈值的红外线透射率的增加，温度比阈值特性的红外线透射率降低更高。控制器60中，当近红外线被设定为红外类型，调节提供给所述第一至第三流路31〜33的制冷剂的流量，以使过滤器管18的温度低于阈值的情况下，如果它被设置远红外线为红外类型中，第一至第三流路31〜33为高和过滤器管18的温度高于所述过滤管18的阈值是远红外辐射源调整供给的制冷剂的流量。

8. 发明专利

JP2014533431A サーマルアレイシステム有权
标题翻译：热阵系统
公开(公告)号：JP2014533431A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：JP2014528582
申请日：2012-08-30
申请人：ワトロウエレクトリックマニュファクチュアリングカンパニー , ワトロウエレクトリックマニュファクチュアリングカンパニー
发明人：シュミッド、フィリップ、エス． , スワンソン、カル、ティー． , レムケ、ジョン、エフ．
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67098 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6833 , H05B1/00 , H05B1/02 , H05B1/0202 , H05B1/0227 , H05B1/0233 , H05B3/02 , H05B3/06 , H05B3/20 , H05B2203/005 , H05B2203/013 , H05B2213/03 , Y10T156/10
摘要：システムおよび方法が提供される。前記システムおよび方法は少なくとも三個の電力ノードを備えており、前記電力ノードの各対の間に熱素子が接続されている。【選択図】図3a
摘要翻译：提供的系统和方法。所述电力节点的系统和方法被提供有至少三个功率节点，热元件连接各对之间。点域3A

9. 发明专利

JP5488159B2 Constant power control circuit 有权
公开(公告)号：JP5488159B2
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：JP2010097094
申请日：2010-04-20
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：知子五十川
IPC分类号： G05F1/66 , G05F3/30 , H05B3/00
CPC分类号： H05B1/0227

10. 发明专利

JP5234180B2 Chocolate heating transport device 有权
公开(公告)号：JP5234180B2
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：JP2011518368
申请日：2010-05-12
申请人：富士電機株式会社
发明人：正美橋本
IPC分类号： B65D88/12
CPC分类号： A23G1/18 , B65D19/38 , B65D77/061 , B65D81/18 , B65D2519/00502 , B65D2519/00587 , B65D2519/00711 , B65D2519/00805 , B65D2519/00875 , H05B1/0227 , H05B3/34 , H05B2203/014
摘要： To provide a lightweight and easily attachable/detachable heater jacket improving heating efficiency and saving energy and a container device including the same. Provided is a heater jacket (10) that is attachable to and detachable from an inner surface of a container (12) and has a heating and warming function for heating and keeping a conveying subject inside the container (12) warm, the heater jacket including: a lightweight and flexible heat insulating mat (18a) that includes at least one planar portion (16) with a heater (14) of which a temperature is controlled and which is embedded therein and formed by connecting the respective planar portions (16) in a bendable manner.

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