会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 5. 发明专利
    • Manufacture of semiconductor device
    • 空值
    • JPS5754360A
    • 1982-03-31
    • JP12950480
    • 1980-09-18
    • Nec Corp
    • BETSUPU MAKIOWATANABE TOKUJIRO
    • H01L27/04H01L21/822H01L27/07H01L29/94
    • H01L27/0733
    • PURPOSE:To reduce the dependency for applied voltage as well as to obtain the accurate capacity value for the subject semiconductor device by a method wherein, after an SiO2 film having an accurate thickness has been formed on a low density P type Si substrate, a boron-doped polycrystalline Si is coated and the impurity concentration on the substrate surface is increased through the intermediary of the SiO2 film. CONSTITUTION:A field oxide film 2 of 8,000Angstrom thickness, an N-channel MOSFET section oxide film 3 of 800Angstrom thicness and an MOS structure capacity section oxide film 4 are formed on the P type Si substrate 1 having the impurity density of 10 cm .Then, source and drain regions 7 and 7' of an FET section are formed by coating and patterning a polycrystalline Si layer 5 and a nitriding Si film 6. Subsequently, the surfaces of the regions 7 and 7' is covered by an oxide film 8 and after the nitriding film 6 has been removed, boron is doped on the polycrystalline Si layer 5. Then, a heat treatment is performed and the concentration of the Si surface is increased to 10 cm by doping boron on the Si surfaces 12 and 13 on the gate section of the MOS structure capacity section FET through the intermediary of the oxide films 3 and 4. Through these procedures, an MOS type element, having least applied voltage dependency and accurate capacity value, can be obtained.
    • 目的:为了减少施加电压的依赖性,以及通过以下方法获得目标半导体器件的精确电容值,其中在低密度P型Si衬底上形成具有精确厚度的SiO 2膜之后, 涂覆多晶Si,并且通过SiO 2膜的介质增加衬底表面上的杂质浓度。 构成:在杂质密度为10 <15的P型Si衬底1上形成8,000埃厚的场氧化物膜2,800安培的N沟道MOSFET部氧化膜3和MOS结构电容部氧化膜4 > cm -3。然后,通过涂覆并图案化多晶Si层5和氮化Si膜6来形成FET部分的源极和漏极区7和7'。随后,区域7和7' 被氧化膜8覆盖,并且在除去氮化膜6之后,在多晶硅层5上掺杂硼。然后进行热处理,并且将Si表面的浓度增加到10 18 cm 3, 通过在氧化物膜3和4的中间在MOS结构电容部分FET的栅极部分上的Si表面12和13上掺杂硼。通过这些方法,具有最小施加电压依赖性的MOS型元件和 准确的容量值,可以得到。
    • 10. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2016186788A
    • 2016-10-27
    • JP2016092288
    • 2016-05-02
    • 株式会社半導体エネルギー研究所
    • 米田 誠一
    • H01L29/786H01L21/822H01L27/04G06K19/07
    • H01L27/0733H01L21/8252H01L23/5222H01L23/528H01L23/535H01L23/66H01L27/0605H01L27/0629H01L27/1225H01L29/41758H01L29/7869H01L27/1255H01L2924/0002
    • 【課題】容易に共振周波数の設定を行う。 【解決手段】コイルとしての機能を有するアンテナと、アンテナと並列接続で電気的に接 続される容量素子と、アンテナ及び容量素子と並列接続で電気的に接続されることにより 、アンテナ及び容量素子と共振回路を構成する受動素子と、受動素子とアンテナ及び容量 素子を並列接続で電気的に接続するか否かを制御する第1の電界効果トランジスタと、記 憶回路と、を備え、記憶回路は、チャネルが形成される酸化物半導体層を含み、ソース及 びドレインの一方にデータ信号が入力され、ソース及びドレインの他方の電圧に応じて第 1の電界効果トランジスタのゲートの電圧が設定される第2の電界効果トランジスタを備 える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了便于设定共振频率。解决方案:半导体器件包括用作线圈的天线,与天线并联电连接的电容器,无源元件通过天线和电容器形成谐振电路 与天线和电容器并联电连接的第一场效应晶体管,用于控制无源元件是否并联电连接到天线和电容器,以及存储器电路。 存储电路包括第二场效应晶体管,其包括形成沟道的氧化物半导体层。 在半导体器件中,将数据信号输入到源极和漏极之一,并且第一场效应晶体管的栅极电压根据源极和漏极中的另一个的电压来设置。图1