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    • 6. 发明专利
    • 不等リンク長を有するアームを有するロボット
    • JP2018505065A
    • 2018-02-22
    • JP2017541311
    • 2016-02-08
    • パーシモン テクノロジーズ コーポレイションPERSIMMON TECHNOLOGIES, CORP.
    • ホシェク マルチン
    • B25J9/06H01L21/677
    • B25J9/042B25J9/043
    • 搬送装置は、少なくとも1つの駆動装置と、第1の上腕、第1の前腕および第1のエンドエフェクタを備えた第1のロボットアームと、第2の上腕、第2の前腕および第2のエンドエフェクタを備えた第2のロボットアームとを備える。前記第1の上腕は、第1の回転軸において前記少なくとも1つの駆動装置に接続される。前記第2の上腕は、前記第1の回転軸から離間された第2の回転軸において前記少なくとも1つの駆動装置に接続される。前記第1および第2のロボットアームは、前記第1および第2のエンドエフェクタを、これらのエンドエフェクタ上に配置された複数の基板を少なくとも部分的に上下に積み重ねるために第1の収縮位置にセットするように構成される。前記第1および第2のロボットアームは、前記第1の収縮位置から、少なくとも部分的に直接上下に位置する平行な第1の経路に沿う第1の方向に前記第1および第2のエンドエフェクタを伸長させるように構成される。前記第1および第2のロボットアームは、上下に位置していない、互いから離間された第2の経路に沿う少なくとも1つの第2の方向に前記第1および第2のエンドエフェクタを伸長させるように構成される。前記第1の上腕および前記第1の前腕は異なる有効長を有する。前記第2の上腕および前記第2の前腕は異なる有効長を有する。【選択図】図67A−B