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1. 发明专利

KR102227596B1 KR102227596B1 - Apparatus for heat treatment to glass 有权
公开(公告)号：KR102227596B1
公开(公告)日：2021-03-15
申请号：KR1020190117497A
申请日：2019-09-24
申请人： (주) 예스티
发明人： 오석찬 , 김정의 , 이진석
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67098 , H01L21/67017
摘要： 기판 처리 장치가 개시된다. 기판 처리 장치는 기판이 출입하는 출입구가 형성된 제1측벽, 상기 제1측벽과 마주하는 제2측벽, 상기 제1 및 제2측벽과 수직하게 배치되며 제1개구가 형성된 제3측벽, 상기 제3측벽과 마주하며 제2개구가 형성된 제4측벽을 갖는 바디와, 상기 바디의 개방된 상면을 개폐하는 커버를 갖는 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 내부를 감압하는 감압 부재; 상기 진공 챔버 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 기판 지지 부재; 상기 기판 지지 부재의 상부에 위치하며, 기판을 가열하는 히터; 및 상기 기판 지지 부재의 하부에 위치하며, 광을 조사하는 광 조사 부재를 포함하되, 상기 광 조사 부재는 상기 제3측벽과 결합하여 상기 제1개구를 밀폐하며, 제1램프 장착 홀들이 형성된 제1램프 장착 플레이트; 상기 제4측벽과 결합하여 상기 제2개구를 밀폐하며, 제2램프 장착 홀들이 형성된 제2램프 장착 플레이트; 일단이 상기 제1램프 장착 홀들에 삽입되고, 타단이 상기 제2램프 장착 홀들에 삽입되며, 상기 광을 조사하는 복수 개의 램프 모듈을 포함한다.

2. 发明专利

KR102236594B1 KR102236594B1 - Glass treating apparatus including lamp modules 有权
公开(公告)号：KR102236594B1
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：KR1020190117498A
申请日：2019-09-24
申请人： (주) 예스티
发明人： 오석찬 , 김정의 , 이진석
IPC分类号： C03B27/012 , H05B1/02 , H05B3/00 , H05B3/06
CPC分类号： C03B27/012 , H05B1/023 , H05B3/0038 , H05B3/06
摘要： 기판 처리 장치가 개시된다. 기판 처리 장치는 내부에 공간이 형성된 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부를 감압하는 감압 부재; 상기 진공 챔버의 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 기판 지지 부재; 상기 기판 지지 부재의 상부에 위치하는 히터; 상기 기판 지지 부재의 하부에서 복수 개가 서로 나란하게 배치되며, 제1파장의 광을 조사하는 복수 개의 제1램프 모듈; 상기 제1램프 모듈들 사이에 각각 위치하고, 상기 제1램프 모듈과 나란하게 배치되며, 상기 제1파장과 상이한 제2파장의 광을 조사하는 제2램프 모듈; 상기 제1 램프 모듈과 상기 제2램프 모듈의 하부에 위치하며, 내부에 확산 공간이 형성되고, 상면에 복수 개의 홀들이 형성된 배플; 상기 확산 공간으로 산소 가스를 공급하는 산소 가스 공급부; 및 상기 제1램프 모듈과 상기 제2램프 모듈의 사이 폭 방향으로 상기 기판 지지 부재를 왕복 직선 운동시키는 구동부를 포함한다.

3. 发明专利

KR20210035560A KR20210035560A - Glass treating apparatus including lamp modules 审中-公开
公开(公告)号：KR20210035560A
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：KR1020190117498A
申请日：2019-09-24
申请人： (주) 예스티
发明人： 오석찬 , 김정의 , 이진석
IPC分类号： C03B27/012 , H05B1/02 , H05B3/00 , H05B3/06
CPC分类号： C03B27/012 , H05B1/023 , H05B3/0038 , H05B3/06
摘要： 기판 처리 장치가 개시된다. 기판 처리 장치는 내부에 공간이 형성된 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부를 감압하는 감압 부재; 상기 진공 챔버의 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 기판 지지 부재; 상기 기판 지지 부재의 상부에 위치하는 히터; 상기 기판 지지 부재의 하부에서 복수 개가 서로 나란하게 배치되며, 제1파장의 광을 조사하는 복수 개의 제1램프 모듈; 상기 제1램프 모듈들 사이에 각각 위치하고, 상기 제1램프 모듈과 나란하게 배치되며, 상기 제1파장과 상이한 제2파장의 광을 조사하는 제2램프 모듈; 상기 제1 램프 모듈과 상기 제2램프 모듈의 하부에 위치하며, 내부에 확산 공간이 형성되고, 상면에 복수 개의 홀들이 형성된 배플; 상기 확산 공간으로 산소 가스를 공급하는 산소 가스 공급부; 및 상기 제1램프 모듈과 상기 제2램프 모듈의 사이 폭 방향으로 상기 기판 지지 부재를 왕복 직선 운동시키는 구동부를 포함한다.

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