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    • 1. 发明公开
    • Appareil de contrôle d'un dessin inscrit sur un support plan
    • Kontrollvorrichtungfürein auf einemTrägereingeschriebenes Muster。
    • EP0004505A2
    • 1979-10-03
    • EP79400173.5
    • 1979-03-16
    • THOMSON-CSF
    • Lacombat, MichelDesperques-Volmier, Serge
    • G01B9/08G01N21/31G01B11/02H05K13/08G01J1/12
    • G01N21/956G01B11/024
    • L'invention se rapporte au contrôle d'images inscrites sur un support plan avec une forte densité par rapport à un motif de référence.
      Le système selon l'invention comprend un dispositif d'analyse du dessin à partir d'un détecteur en ligne et une logique de traitement des données fournies par le détecteur et de données se rapportant au motif de référence, le dessin et le motif étant décrits ligne par ligne. La logique est prévue de façon à détecter les erreurs en admettant pour chaque ligne un décalage entre le dessin et le motif d'une unité dans une direction X ou une direction Y perpendiculaire à X, le décalage maximum autorisé pour tout le dessin étant par exemple de 3 unités dans le même sens.
      L'invention s'applique notamment au contrôle de masques et de réticules pour la fabrication des circuits intégrés.
    • 一种用于测试记录在相对于参考图案的高密度的板上的图案的系统,包括用于使用线检测器和用于处理由检测器提供的数据的逻辑电路和与参考图案相关的数据来分析图案的装置 ,这两种模式是逐行描述的。 逻辑电路旨在检测错误,同时允许每条线在X方向上的一个单元的两个图案之间或垂直于X的方向Y上的移位,允许整个图案的最大偏移量,例如 在每个方向三个单位。