会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明公开
    • Holding cassette for precision substrates and method for the preparation thereof
    • AufnahmekassettefürPräzisionssubstrateund Verfahren zu ihrer Herstellung
    • EP0775566A1
    • 1997-05-28
    • EP96402476.4
    • 1996-11-18
    • SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
    • Kogure, Keiji, c/o Niigata Polymer Co., Ltd.
    • B29C45/17H01L21/00
    • B29C45/1704B29C45/17H01L21/6735
    • An improvement is proposed in the injection molding method for the preparation of a wafer cassette for holding single crystal silicon wafers in alignment. While such a wafer cassette has several thick-walled portions such as reinforcement ribs, each of which is provided with a positioning groove for accurate positioning of an automatic machine for loading and unloading of wafers, such thick-walled portions in the prior art cassettes are subject to thermal shrinkage or molding sink in molding so as to cause deformation of the positioning grooves disturbing reliable positioning of the automatic machine. The improvement of the invention can be accomplished by undertaking the gas-assist method in which a gas is introduced into the cavity of the metal mold so as to form hollow cavities behind the positioning grooves thus to avoid the thermal shrinkage or molding sink due to the large wall thickness.
    • 在用于制备用于保持对准的单晶硅晶片的晶片盒的注塑方法中提出了一种改进。 虽然这样的晶片盒具有几个厚壁部分,例如加强肋,每个厚壁部分设置有用于精确定位用于装载和卸载晶片的自动机器的定位槽,但是现有技术的盒中的这种厚壁部分是 受热收缩或模制成型凹槽造成定位槽变形,妨碍自动机器的可靠定位。 本发明的改进可以通过进行气体辅助方法来实现,其中将气体引入到金属模具的空腔中,以在定位槽后面形成中空腔,从而避免热收缩或成型槽由于 大壁厚。
    • 4. 发明公开
    • Vorrichtung zum Lagern und Kommissionieren von Gegenständen, insbesondere von scheibenartigen Gegenständen wie Wafern oder dergleichen
    • 设备,用于存储和拾取物品,特别是圆盘状物体,如晶片或类似物
    • EP0994501A2
    • 2000-04-19
    • EP99119558.7
    • 1999-10-01
    • Infineon Technologies AG
    • Roithner, KlausMissale, Reiner
    • H01L21/00
    • H01L21/67769H01L21/6735
    • Es wird eine Vorrichtung zum Lagern und Kommissionieren von Gegenständen, insbesondere von scheibenartigen Gegenständen wie Wafern oder dergleichen, beschrieben. Um zu erreichen, daß einzelne der gelagerten Gegenstände auf einfache und kostengünstige Weise zu logischen Einheiten zusammengestellt werden können, die dann entsprechend weiter bearbeitet oder weiter transportiert werden, weist die Vorrichtung (10) erfindungsgemäß ein Lagersystem (11) zur Aufnahme einer Anzahl von Gegenständen (20) auf, wobei das Lagersystem (11) vorzugsweise als geschlossenes System ausgebildet ist. Weiterhin ist eine Vorrichtung (14) zum Beladen und/oder Entladen des Lagersystems (11) mit den Gegenständen (20) vorgesehen, die beispielsweise als Roboter ausgebildet ist. Schließlich ist eine Einrichtung (18) zur Aufnahme von aus dem Lagersystem (11) ausgewählten Gegenständen (20) vorgesehen. Die Vorrichtung (14) zum Beladen und/oder Entladen sowie die Einrichtung (18) zur Aufnahme der ausgewählten Gegenstände (20) sind vorzugsweise innerhalb des als geschlossenes System ausgebildeten Lagersystems (11) angeordnet. Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung (10) werden einzelne Gegenstände im Lagersystem (11) gelagert und im freien Zugriff gehalten. Dadurch können einzelne dieser Gegenstände (20) zu neuen logischen Einheiten zusammengestellt werden.
    • 存储和调试装置(10)具有与隔室用于接收晶片存储多个半导体晶片(20),晶片装卸机器人臂装置(14)和容器(18)封闭的存储系统(11) 从存储系统中,机器人臂装置和所述容器各自含有封闭存储系统内的提取。因此,对于一个存储的应用程序和调试设备用于存储和半导体晶片的调试独立权利要求中被包含。
    • 6. 发明公开
    • Reticle-carrying container
    • 带标线的容器
    • EP1672428A2
    • 2006-06-21
    • EP05026629.5
    • 2005-12-06
    • Miraial Co., Ltd.
    • Matsutori, Chiaki, Miraial Co., LtdYanagihara, Koichi, Miraial Co., Ltd
    • G03F7/20
    • G03F7/70741G03F1/66H01L21/67005H01L21/6735
    • The present invention allows a reticle-carrying container (11) to be fastened in a reticle stocker (2) even if the reticle-carrying container (11) is wrongly oriented. The reticle-carrying container (11) includes an interior with an opening at one end for storing a reticle (12), a door (14) for covering and blocking the opening, and a seal material (15) for sealing the interior hermetically when the door (14) blocks the pod (13). The reticle-carrying container (11) is provided with two pairs of kinematic pin grooves (61) for positioning and fastening the reticle-carrying container (11), which are formed with a 180-degree turn from each other on the outer surface of the door (14). Receiving parts (22) for receiving and holding the kinematic pin grooves (61) are arranged in the positions corresponding to the kinematic pin grooves (61) on the outer surface of the pod (13) so that the two pairs of kinematic pin grooves (61) can be engaged with the pins in the both orientations.
    • 即使标线片携带容器(11)被错误地定向,本发明也允许标线片携带容器(11)被紧固在光罩储存器(2)中。 带标线片的容器(11)包括:一端具有用于存放标线片(12)的开口的内部;用于覆盖和阻挡开口的门(14);以及密封材料(15) 门(14)阻挡吊舱(13)。 分划板承载容器(11)设置有两对用于定位和固定分划板承载容器(11)的运动销槽(61),它们在外表面上彼此成180度转弯 门(14)。 用于容纳和保持运动销凹槽(61)的接收部件(22)被布置在与容器(13)的外表面上的运动销凹槽(61)相对应的位置处,使得两对运动销凹槽 61)可以在两个方向上与销接合。
    • 8. 发明公开
    • WAFER CONTAINER WITH LATCHING MECHANISM FOR LARGE DIAMETER WAFERS
    • 具有大直径晶片锁定机构的集装箱
    • EP2989657A4
    • 2016-11-30
    • EP14787423
    • 2014-04-25
    • ENTEGRIS INC
    • GREGERSON BARRYFULLER MATTHEW A
    • H01L21/673B65D85/38H01L21/677
    • B65D45/16H01L21/6732H01L21/6735H01L21/67373H01L21/67376H01L21/67386H01L21/67769
    • A wafer container with a latch mechanism that provides sealing for large wafer containers, such as for 450 mm wafers, accomplishes secure door closing and latching with reduced torque requirements for rotating the central rotatable cam plate. In various embodiments, a camming slot formed in the rotatable cammed plate is arcuate and defined by opposing cam surfaces which are selectively engaged by a cam follower, such as a roller, attached to a proximal end of a latch arm. The roller can include unitary axle portions that snap into the proximal end of the latch arm and is supported at both axial ends of the roller. The proximal end of the latch arm can include parallel extensions separated by a gap, and have guide in surfaces to deflect the extensions as the axle portions of the roller are forced into position thereby seating the roller at both axial ends.
    • 具有提供用于大晶片容器(例如450mm晶片)的密封的闩锁机构的晶片容器通过减小用于旋转中心可旋转凸轮板的扭矩要求来实现安全的门关闭和闭锁。 在各种实施例中,形成在可旋转凸轮板中的凸轮槽是弧形的并且由相对的凸轮表面限定,凸轮表面被凸轮从动件选择性地接合,所述凸轮从动件例如是连接到锁臂的近端的滚子。 滚子可以包括一体的轴部分,其卡入锁定臂的近端并且被支撑在辊的两个轴向端部处。 闩锁臂的近端可以包括由间隙分开的平行延伸部分,并且当辊的轴部分被推入位置时,具有引导表面以使延伸部偏转,从而将辊子固定在两个轴向端部。
    • 10. 发明公开
    • Dispositif de purge et procédé
    • Entlüftungsvorrichtungund Verfahren
    • EP2144276A2
    • 2010-01-13
    • EP09164433.6
    • 2009-07-02
    • Alcatel Lucent
    • Favre, ArnaudRude, CindyBellet, Bertrand
    • H01L21/00H01L21/673
    • H01L21/6735H01L21/67017Y10T137/0318
    • La présente invention a pour objet un dispositif de purge une boîte de transport ayant une ouverture d'entrée/sortie obturable par une porte de boîte et contenant des plaquettes de substrat superposées selon des plans parallèles. Le dispositif de purge comprend un volume limité par une paroi étanche divisé en au moins une partie supérieure munie d'un orifice d'entrée de gaz de purge et en une partie inférieure munie d'un de sortie de gaz de purge, les deux parties étant séparées par une cloison étanche, et une pluralité de guides définissant des ouvertures disposées dans des plans parallèles à ceux des plaquettes et communiquant avec le volume du dispositif de purge pour diriger le gaz de purge vers le boîte de transport.
    • 装置(30)具有由密封壁限制的体积,该密封壁通过密封隔板(33)分成上部和下部(31,32),并且主壁包括一组开口(37),例如, 矩形槽。 上部和下部分别设有吹扫气体入口和出口孔(34,35)。 主壁与输送箱的输入/输出开口配合,并垂直于箱体中基板晶圆的平面。 开口(37)的中间平面平行于晶片的平面。 开口(37)将装置的容积连接到盒子上。 还包括以下独立权利要求:(1)用于输送箱的排水系统,包括具有连接孔(2)的室,用于输送箱的排水方法。