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    • 6. 发明公开
    • Positionierhilfe für einen Garprozeßfühler
    • PositionierhilfefüreinenGarprozeßfühler
    • EP1744134A1
    • 2007-01-17
    • EP06008242.7
    • 2006-04-21
    • Rational AG
    • Podestat, HelenEgetenmeyer, Karin
    • G01K1/14
    • G01K1/146G01K2207/06
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionierhilfe für einen Garprozeßfühler mit einem zumindest eine Meßstelle darbietenden Schaft und einem Griff, wobei der Querschnitt der Positionierhilfe über die gesamte Länge der Positionierhilfe die Form eines regelmäßigen Vielecks aufweist und der Schaft des Garprozeßfühlers zumindest teilweise derart in die Positionierhilfe einführbar ist, daß die Längsachse des Schafts mit der Längsachse der Positionierhilfe zusammenfällt und der Schaft in der Positionierhilfe über eine erste Fixiereinrichtung fixierbar ist; eine Halteeinrichtung für solche eine Positionierhilfe und einen Tiegel mit solch einer Halteeinrichtung.
    • 定位辅助件(10)具有形成为正多边形形状的刚性齿条(11),并且具有适合于保持温度传感器(1)的轴(2)的总长度。 轴被压配合到形成在齿条中的固定部分(12),使得轴的纵向轴线与定位辅助件的纵向轴线(A)重合。 沿着温度传感器的轴提供了几个测量点(3a,3b,3c)。 手柄(4)设置在轴的一端。 刚性机架由重型导热或磁性材料制成。 包括以下独立权利要求:(A)持有人的定位辅助; 和(B)使用定位助剂的烹饪容器。
    • 9. 发明公开
    • Dispositif de mesure de la température d'un échantillon
    • Vorrichtung zum Messen der Temperatur einer Probe。
    • EP0541438A1
    • 1993-05-12
    • EP92402981.2
    • 1992-11-04
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Daviet, Jean-FrançoisLassagne, PierreMontmayeul, PhilippePeccoud, Louise
    • G01K13/00G01K1/14G01K11/20
    • G01K11/3213G01K1/146G01K13/00
    • L'invention concerne un dispositif pour mesurer la température notamment d'un substrat. Ce dispositif comprend deux fibres optiques, une fibre supérieure (5) apte à se déplacer et une fibre inférieure (6), disposées dans le prolongement l'une de l'autre et écartées l'une de l'autre par un gap (7). Ces fibres optiques sont aptes à transmettre un premier signal lumineux, envoyé par une source lumineuse à un élément excitable (8) disposé à l'extrémité (5a) de la fibre supérieure et un second signal lumineux renvoyé par l'élément excitable (8) à un dispositif d'analyse. En outre, l'invention comprend des moyens élastiques (9, 10) montés sur la fibre supérieure pour assurer un contact à pression constante entre le substrat et l'élément excitable. Il comprend de plus des moyens (11) pour régler la pression dudit contact et des moyens (15) pour ajuster le gap entre les deux fibres.
      L'invention s'applique à la microélectronique, pour des dépôts, des gravures ou tout autre traitement de surface.
    • 本发明涉及一种用于测量温度,特别是基底的装置。 该装置包括两个光纤:可移动的上纤维(5)和下纤维(6),它们彼此延伸并且彼此间隔开(7)。 这些光纤适合于将由光源发送的第一光信号传送到位于上光纤的端部(5a)的可激发元件(8)和由可激励元件(8)返回的第二光信号到 分析装置。 此外,本发明包括安装在上纤维上的弹性装置(9,10),用于确保基片和可激发元件之间的恒压接触。 它还包括用于调节所述接触件的压力的装置(11)和用于改变两个纤维之间的间隙的装置(15)。 本发明适用于微电子学,用于沉积,蚀刻或任何其它表面处理。