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2. 发明公开

EP3026291A1 ACTIVE COMPENSATION MODULE HAVING INTEGRATED THERMAL DEFORMATION AND CHATTER COMPENSATION ACTUATOR 有权
标题翻译：具有集成KOMPENSATIONSAKTUATOR热成型和颤振主动补偿模块
公开(公告)号：EP3026291A1
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：EP15189649.5
申请日：2015-10-13
申请人： Korea Institute Of Machinery & Materials
发明人： KIM, Dong-Hoon , SONG, JOONYUB
IPC分类号： F16F9/53 , F16F15/00 , F16F15/027
CPC分类号： F16F15/0275 , F16F9/535 , F16F15/005 , F16F2224/0283
摘要： The active compensation device (1000) is disclosed. An active compensation device (1000) according to an exemplary embodiment of the present invention is provided between a processing product mounting portion (3000) and a stage (4000), and includes: a body (100) in which a receiving space is formed; an MR actuator (200) provided in an inner side of the receiving space and of which a damping force is changed according to change in viscosity of an MR fluid; and a magnetostrictive actuator (300) provided in an outer side of the receiving space and including a magnetostrictive element (310) of which length displacement occurs due to a magnetic force.
摘要翻译：有源补偿装置（1000）是游离缺失盘。有源补偿装置（1000），以雅鼎在本发明的示例性实施例是一种处理产品安装部分（3000）和级（4000）之间提供，并包括：一个主体（100），其中一个接收空间中形成; 在容纳空间的，并且其内侧设置在致动器MR（200）的阻尼力改变gemäß在MR流体的粘度变化; 和磁致伸缩致动器（300）在所述容纳空间的外侧设置在与包括其中发生位移长度的磁致伸缩元件（310）由于磁力。

3. 发明公开

EP2908024A1 Apparatus for the controlled pressurization of gas cylinder actuators 有权
标题翻译： Vorrichtung zur kontrollierten Druckbeaufschlagung von Gaszylinderaktuatoren
公开(公告)号：EP2908024A1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：EP15153678.6
申请日：2015-02-03
申请人： Special Springs S.r.l.
发明人： Cappeller, Augusto , Cappeller, Alessandro , Cappeller, Dante
IPC分类号： F16F15/027
CPC分类号： F17C5/007 , F16F9/43 , F16F15/027 , F16F15/0275 , F16F2230/18 , F17C5/06 , F17C13/025 , F17C13/026 , F17C2250/03 , F17C2250/043 , Y10T137/7761
摘要： An apparatus (10) for the controlled pressurization of gas cylinder actuators connected to a single gas filling line, comprising
- means (11) for controlling and recovering a pressurized gas flow originating from pressurized gas supply means and directed to a gas filling line (13),
- at least one sensor (14) for detecting the pressure of the gas that is present in the gas filling line (13) which is adapted to carry pressurized gas to at least one gas cylinder actuator connected thereto,
- electrically controlled valve means (16) adapted to allow/interrupt the flow of pressurized gas in the gas filling line (13),
- an electronic control and management unit (17) connected to the at least one pressure sensor (14) and to the electrically controlled valve means (16) to automate the opening/closing of the valve means (16) in dependence on the signals that arrive from the at least one pressure sensor (14).
摘要翻译：一种用于连接到单个气体填充管线的气瓶致动器受控加压的装置（10），包括：用于控制和回收源自加压气体供应装置并被引导到气体填充管线（13）的加压气体流的装置（11））， - 用于检测气体填充管线（13）中存在的气体的压力的至少一个传感器（14），其适于将加压气体运送到至少一个连接到其上的气缸致动器; - 电控阀装置（16），适于允许/中断气体填充管线（13）中的加压气体的流动; - 电子控制和管理单元（17），其连接到所述至少一个压力传感器（14）和电控阀装置（16），以根据从所述至少一个压力传感器（14）到达的信号来自动化所述阀装置（16）的打开/关闭。

4. 发明公开

EP2778050A1 Active vibration isolation system 有权
标题翻译： Aktives Schwingungsisolationssystem
公开(公告)号：EP2778050A1
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：EP14153504.7
申请日：2014-01-31
申请人： Bell Helicopter Textron Inc.
发明人： Heverly, II, David E. , Lee, Taeoh
IPC分类号： B64C27/00
CPC分类号： F16F15/0275 , B64C27/001 , B64C2027/002 , B64C2027/004 , F16F9/5126 , F16F15/027
摘要： An apparatus is disclosed which includes an active vibration isolation system (110; 300) that includes a vibration isolator (350), a dual fluid pump (140; 400) in fluid communication with the vibration isolator (350) and a hydraulic system (40; 314), wherein the dual fluid pump (140; 400) is configured to segregate a tuning fluid (357) from a hydraulic fluid (387) and an electric-hydraulic servo valve (134; 370) in fluid communication with the dual fluid pump (140; 400).
摘要翻译：公开了一种装置，其包括主动隔振系统（110; 300），其包括隔振器（350），与隔振器（350）流体连通的双流体泵（140,400）和液压系统（40） ; 314），其中所述双流体泵（140; 400）构造成将调节流体（357）与液压流体（387）和电液伺服阀（134; 370）分离，所述液压流体与所述双流体泵（140; 400）。

5. 发明授权

EP1857878B1 Aktives Schwingungsisolationssystem mit einem kombinierten Positionsaktor 有权转让
标题翻译：一种有源隔振系统具有组合Positionsaktor
公开(公告)号：EP1857878B1
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：EP06010461.9
申请日：2006-05-20
申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH
发明人： Heiland, Peter
IPC分类号： G03F7/20 , F16F15/023 , F16F15/027
CPC分类号： F16F15/002 , F16F15/0275 , G03F7/709

6. 发明公开

EP2098750A2 Vibration suppression apparatus, exposure apparatus, and method of manufacturing device 有权
标题翻译：振动抑制装置，曝光装置和方法，用于制造该装置
公开(公告)号：EP2098750A2
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：EP09003049.5
申请日：2009-03-03
申请人： Canon Kabushiki Kaisha
发明人： Mayama, Takehiko , Takabayashi, Yukio
IPC分类号： F16F15/027
CPC分类号： F16F15/0275
摘要： A vibration suppression apparatus includes three first actuators (20), at least one second actuator (20), detectors (3a-3c, 4a-4c), and a controller (40). The first actuators (20) and second actuator (20) support a structure (1) by applying forces to the structure (1) in the vertical direction or horizontal direction, and do not align themselves on the identical straight line. The detectors (3a-3c, 4a-4c) detect at least one of vibration and a position of the structure (1) with respect to a reference position. The controller (40) controls the forces, applied to the structure (1) by the first actuators (20), based on the outputs from the detectors (3a-3c, 4a-4c). The second actuator (20) is controlled so that a force applied to the structure (1) in the vertical direction or horizontal direction is maintained constant.
摘要翻译：一种振动抑制装置包括三个第一促动器（20），至少一个第二致动器（20），检测器（3A-3C，4A-4C），以及控制器（40）。第一致动器（20）和第二致动器（20）支撑结构（1）通过施加力以在垂直方向或水平方向上的结构（1），和不赞同在同一直线上。检测器（3A-3C，4A-4C）检测振动中的至少一个和所述结构（1）相对于一参考位置的位置。所述控制器（40）控制的力，通过第一促动器（20）的基础上从所述检测器（3a-3c中，图4a-4c）的输出施加到所述结构（1）。第二致动器（20）被控制，以便确实施加到垂直方向或水平方向上的结构（1）上的力保持恒定。

7. 发明公开

EP1803964A3 Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit 有权转让
标题翻译：轴承隔振具有减少的侧向刚度
公开(公告)号：EP1803964A3
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：EP06009025.5
申请日：2006-05-02
申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH
发明人： Heiland, Peter
IPC分类号： F16F15/023 , G03F7/20 , F16C32/06
CPC分类号： G03F7/709 , F16F15/0275 , F16F2230/34
摘要： Es wird ein Lager zur Schwingungsisolation vorgeschlagen, bei welchem zusätzlich zu einem Fluidlager, insbesondere einem Luftlager zwei vertikal voneinander beabstandete Drehgelenke vorgesehen sind, um die Steifigkeit in horizontaler Richtung zu verringern.

8. 发明公开

EP1803966A3 Luftlager mit reduziertem Rauschen 有权
标题翻译：空气轴承具有降低的噪音
公开(公告)号：EP1803966A3
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：EP06026980.0
申请日：2006-12-28
申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH
发明人： Heiland, Peter
IPC分类号： F16F15/023 , F16C29/02 , B23Q1/38
CPC分类号： F16F15/0232 , F16C29/025 , F16C32/0662 , F16F15/0275 , F16F2222/06 , F16F2230/0052
摘要： Die Erfindung betrifft ein Federsystem zur Schwingungsisolation, insbesondere ein vertikal und horizontal wirksames Luftlager mit reduziertem Rauschen, welches ein Basisteil, ein Zwischenteil und einen Kolben umfasst und bei welchem das Zwischenteil durch magnetische Mittel gegen Drehbewegung gesichert ist.

9. 发明公开

EP1803964A2 Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit 有权转让
标题翻译： Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit
公开(公告)号：EP1803964A2
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：EP06009025.5
申请日：2006-05-02
申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH
发明人： Heiland, Peter
IPC分类号： F16F15/023 , F16F15/03 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , F16F15/0275 , F16F2230/34
摘要： Es wird ein Lager zur Schwingungsisolation vorgeschlagen, bei welchem zusätzlich zu einem Fluidlager, insbesondere einem Luftlager zwei vertikal voneinander beabstandete Drehgelenke vorgesehen sind, um die Steifigkeit in horizontaler Richtung zu verringern.
摘要翻译：用于隔离振动的轴承具有至少一个流体轴承，特别是用于水平和/或垂直安装负载以与振动隔离的空气轴承。轴承具有至少两个垂直相互间隔的铰接接头/枢轴接头。独立索赔包括他追随。（1）（A）振动隔离系统（2）（B）振动隔离的方法。

10. 发明授权

EP0946900B1 LITHOGRAPHIC PNEUMATIC SUPPORT DEVICE WITH CONTROLLED GAS SUPPLY 有权
标题翻译：与供气系统平版气体辅助装置
公开(公告)号：EP0946900B1
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：EP98942956.8
申请日：1998-09-24
申请人： Koninklijke Philips Electronics N.V. , ASML Netherlands B.V.
发明人： 'T MANNETJE, Jacob, Johan , AUER, Frank
IPC分类号： G03F7/20 , F16F9/43
CPC分类号： F16C32/06 , F16F15/0232 , F16F15/0275 , G03F7/70691 , G03F7/70833
摘要： Support device (53) provided with a first part (69) and a second part (71) which is supported parallel to a support direction relative to the first part by means of a gas spring (73). The support device comprises a gas supply (117) for compensating a gas leakage which occurs from a pressure chamber (75) of the gas spring during operation. According to the invention, the gas supply is connected to an intermediate space (119) which is in communication with the pressure chamber via a pneumatic restriction (121), a gas pressure present in the intermediate space being held substantially constant during operation by means of a control loop (123) for controlling said gas pressure. A transmission of pressure fluctuations which are present in the gas supply to the pressure chamber is thereby substantially prevented. Such pressure fluctuations are undesirable in the pressure chamber because they cause mechanical vibrations in the second part of the support device and the device to be supported. The support device is used in a lithographic device for the support of a frame (39) with respect to a base (37), the frame (39) supporting a focusing unit (5).

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