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    • 2. 发明公开
    • DISPOSITIF HYBRIDE DE DETECTION MULTISPECTRALE A BASE D ELEMENTS MONOLITHIQUES
    • 基于单片元件的混合多光谱检测装置
    • EP3190621A1
    • 2017-07-12
    • EP17150548.0
    • 2017-01-06
    • ThalesCOMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
    • DARTOIS, ThierryRENARD, ChristopheREVERCHON, Jean-Luc
    • H01L27/146H01L21/762
    • H01L27/14634H01L21/76251H01L27/14621H01L27/14636H01L27/1464H01L27/1465H04N5/3692
    • La présente invention concerne un dispositif hybride de détection (10) multispectrale comprenant un premier détecteur (21) implanté dans un substrat silicium (31), comprenant une pluralité de premiers capteurs (101) juxtaposés, et sensible au rayonnement visible et proche infrarouge, un deuxième détecteur (22) implanté dans un matériau absorbant (32) composé d'un matériau III-V comprenant une pluralité de deuxièmes capteurs juxtaposés et sensible au rayonnement infrarouge, un premier et un deuxième filtre interférentiel (25) recouvrant respectivement le premier et le deuxième détecteur, chaque filtre ayant une fenêtre de transmission spectrale différente et un gabarit contraint, un circuit de lecture (310) commun aux deux détecteurs, implanté dans le substrat silicium, et configuré pour intégrer simultanément et de façon synchrone les signaux issus des différents capteurs. Le deuxième détecteur est collé sur le substrat silicium, chaque capteur du deuxième détecteur comprenant au moins une connexion configurée pour faire transiter les signaux du capteur au circuit de lecture.
    • 本发明涉及一种包括多个(101)并列的第一传感器的检测混合装置(10)的多光谱,其包括第一检测器(21),在硅衬底中注入(31),以及响应于可见光和近红外辐射, 位于在包括多个并置的第二传感器,并且响应于红外辐射,一个第一和一个第二干涉滤光器覆盖第一和分别III-V材料(25)构成的吸收材料(32)第二检测器(22) 第二检测器,每个滤波器具有不同的光谱透射窗和约束模板,一读出电路(310)通用于所述硅衬底中注入的两个传感器,并且被配置为同时同步的信号从各种传感器集成 。 第二检测器被结合到硅衬底,第二检测器的每个传感器包括被配置为将信号从传感器传递到读取电路的至少一个连接。