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热词
    • 3. 发明公开
    • Piezoaktor mit passiven Bereichen am Kopf und/oder am Fuss
    • Piezoaktor mit passiven Bereichen am Kopf und / oder am Fuss
    • EP2149921A2
    • 2010-02-03
    • EP09100302.0
    • 2009-05-28
    • Robert Bosch GmbH
    • Cromme, PeterBenes, Jan
    • H01L41/083
    • H01L41/0471H01L41/083
    • Es wird ein Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezoelementen (2), die jeweils aus zwischen Innenelektroden (3,4) eingefassten Piezolagen bestehen vorgeschlagen, an die in einem aktiven Bereich über eine wechselseitige seitliche Kontaktierung der Innenelektroden (3,4) mittels Außenelektroden (6,7) eine elektrische Spannung anlegbar ist. Es ist mindestens ein Bereich an den kopf- und/oder fußseitigen Enden des Mehrschichtaufbaus der Piezoelemente (2) vorhanden mit einer stufenartigen Erhöhung der Schichtdicken der Piezolagen der Piezoelemente (2) von dem aktiven Bereich jeweils zum Kopf (8) und/oder zum Fuß (9) des Piezoaktors (1), wobei in die Piezolagen von der Schichtdicke abhängige zusätzliche nichtkontaktierte Metallisierungselemente eingebracht sind. Die Metallisierungselemente sind aus in vorgegebenen Abständen in Längs- oder Wirkungsrichtung des Piezoaktors (1) eingebrachten Metallfolien oder Dotierschichten (20,21) mit einem vorgegebenen Muster, vorzugsweise einem Streifenmuster, gebildet. Das Streifenmuster ist vorzugsweise derart gestaltet, dass eine Lücke im Streifenmuster jeweils eines Streifens in der darauf folgenden Dotierschicht gegenüberliegt.
    • 压电致动器具有压电元件的多层结构,其具有封闭在内部电极之间的压电层(23),在内部电极之间在内部电极的相互横向接触处在有源区域中施加电压 通过外部电极。 相关的非接触金属化元件插入压电层。 金属化元件或金属箔或掺杂层由银钯合金制成。
    • 4. 发明公开
    • Piezoaktor mit übereinandergestapelten Piezoelementen
    • Piezoaktor mitübereinandergestapeltenPiezoelementen
    • EP1926156A2
    • 2008-05-28
    • EP07116906.4
    • 2007-09-21
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • Benes, Jan
    • H01L41/083
    • H01L41/0471F02M51/0603H01L41/083
    • Es wird ein Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezoelementen (2) vorgeschlagen, die jeweils aus zwischen Innenelektroden (3,4) eingefassten Piezolagen bestehen, an die in einem aktiven Bereich über eine wechselseitige seitliche Kontaktierung der Innenelektroden (3,4) mittels Außenelektroden (6,7) eine elektrische Spannung anlegbar ist. Es ist mindestens ein passiver Bereich an den kopf- und/oder fußseitigen Enden des Mehrschichtaufbaus der Piezoelemente (2) ohne eine wechselseitige Kontaktierung angeordnet, wobei eine erhöhte Schichtdicke der Piezolagen (13') im aktiven Bereich zu den kopf- und/oder fußseitigen Enden des Mehrschichtaufbaus vorhanden ist. Um Rissbildungen zu vermeiden, setzt sich eine Erhöhung mindestens der Schichtdicke der letzten Piezolage (13') im aktiven Bereich in Form einer mindestens gleichen Schichtdicke der mindestens ersten angrenzenden Piezolage (13') im jeweiligen passiven Bereich zu den kopf- und/oder fußseitigen Enden des Mehrschichtaufbaus hin fort.
    • 压电致动器具有由压电层组成的压电元件,压电层被结合在内部电极(3,4)之间,其中压电层的增加的层厚度在有源区域中提供到多层组件的顶端和底端 。 活性区域中的压电层的层厚度的增加以多层组件的顶端和底端的无源区域中的压电层的相同层厚度的形式继续。