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1. 发明授权

EP1172676B1 Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten 失效
标题翻译：用于相互位置定义的光学元件的温度补偿，多维微定位的装置
公开(公告)号：EP1172676B1
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：EP01114470.6
申请日：2001-06-15
申请人： Physik-Instrumente (PI) GmbH & Co.KG
发明人： Müller, Klaus-Dieter, Dr. , Marth, Harry, Dr.
IPC分类号： G02B7/00 , B23Q1/34
CPC分类号： F16F1/027 , F16F2230/34 , G02B7/008 , G02B7/023 , G02B7/028

2. 发明公开

EP1172676A3 Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten 失效
标题翻译：用于相互位置定义的光学元件的温度补偿，多维微定位的装置
公开(公告)号：EP1172676A3
公开(公告)日：2002-03-27
申请号：EP01114470.6
申请日：2001-06-15
申请人： Physik-Instrumente (PI) GmbH & Co.KG
发明人： Müller, Klaus-Dieter, Dr. , Marth, Harry, Dr.
IPC分类号： G02B7/00 , B23Q1/34
CPC分类号： F16F1/027 , F16F2230/34 , G02B7/008 , G02B7/023 , G02B7/028
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten, umfassend eine Führungseinheit zur Aufnahme der optischen Komponenten sowie mehrere Piezoaktoren. Erfindungsgemäß besteht die Führungseinheit aus zwei beabstandeten Platten oder Ringen, wobei zwischen den Ringen oder Platten mehrere beabstandete Festkörpergelenke angeordnet oder integriert sind. Den Festkörpergelenken benachbart sind Piezoaktoren derart fixiert, dass auf die Ringe oder Platten Verstellkräfte zur Einwirkung gelangen. Mindestens die die optischen Komponenten aufnehmenden Flächen der Ringe oder Platten sind mit einem Material entsprechend demjenigen der optischen Komponenten beschichtet, wobei die Beschichtung vor dem Befestigen, insbesondere Aufsprengen der optischen Komponenten zur Lagedefinition bearbeitbar ist. Die Führungseinheit sowie die optischen Komponenten selbst bestehen aus einem Material von im wesentlichen gleichen Temperaturkoeffizienten.

3. 发明公开

EP1172676A2 Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten 失效
标题翻译：用于相互位置定义的光学元件的温度补偿，多维微定位的装置
公开(公告)号：EP1172676A2
公开(公告)日：2002-01-16
申请号：EP01114470.6
申请日：2001-06-15
申请人： Physik-Instrumente (PI) GmbH & Co.KG
发明人： Müller, Klaus-Dieter, Dr. , Marth, Harry, Dr.
IPC分类号： G02B7/00 , B23Q1/34
CPC分类号： F16F1/027 , F16F2230/34 , G02B7/008 , G02B7/023 , G02B7/028
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten, umfassend eine Führungseinheit zur Aufnahme der optischen Komponenten sowie mehrere Piezoaktoren.
Erfindungsgemäß besteht die Führungseinheit aus zwei beabstandeten Platten oder Ringen, wobei zwischen den Ringen oder Platten mehrere beabstandete Festkörpergelenke angeordnet oder integriert sind. Den Festkörpergelenken benachbart sind Piezoaktoren derart fixiert, dass auf die Ringe oder Platten Verstellkräfte zur Einwirkung gelangen. Mindestens die die optischen Komponenten aufnehmenden Flächen der Ringe oder Platten sind mit einem Material entsprechend demjenigen der optischen Komponenten beschichtet, wobei die Beschichtung vor dem Befestigen, insbesondere Aufsprengen der optischen Komponenten zur Lagedefinition bearbeitbar ist. Die Führungseinheit sowie die optischen Komponenten selbst bestehen aus einem Material von im wesentlichen gleichen Temperaturkoeffizienten.
摘要翻译：本发明涉及用于相互位置定义的光学元件的温度补偿，多维微定位的装置，包括：引导单元，用于容纳光学部件以及一些压电致动器。根据本发明，所述导向单元包括两个间隔开的板或环的，被布置在多个间隔开的固态铰链或环或板之间集成在一起。邻近于所述一体式铰链压电致动器被固定，使得在所述环或板位移力作用到达。至少接收所述环或板的表面上的光学元件根据一用一材料的光学部件，其中所述涂层被加工用于限定位置紧固之前，在开放的光学部件的特定吹涂。引导单元和光学部件本身由基本上相同的温度系数的材料制成。

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