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    • 4. 发明公开
    • Dosiereinheit und ihre Verwendung
    • EP2743373A1
    • 2014-06-18
    • EP13192939.0
    • 2013-11-14
    • Innovent e.V.
    • BEIER, OliverKRIPPL, GerhardtRAMM, MaxSPANGE, Sebastian
    • C23C16/455C23C16/513C23C16/448
    • C23C16/4481C23C16/45595C23C16/513
    • Die Erfindung betrifft eine Dosiereinheit (1) zum Eindosieren eines Precursors (P) in einen Gasstrom (G), umfassend einen massiv ausgebildeten Basiskörper (2) mit einem ersten Kanal (3), der von einem Gaseintritt (4) zu einem Gasaustritt (5) vom Gasstrom durchströmbar und als eine Bohrung in den Basiskörper (2) eingebracht ist, und mit einem zweiten Kanal (7), der den ersten Kanal (3) unter einem Winkel (α) an einem Kreuzungspunkt (8) schneidet, wobei eine Einsprühdüse (14) zum Zuführen des Precursors (P) in den Gasstrom (G) im zweiten Kanal (7) angeordnet ist, wobei in einer Gebrauchslage der Dosiereinheit (1) unterhalb des Kreuzungspunktes (8) ein Ende des zweiten Kanals als eine Partikelfalle (16) ausgebildet ist, wobei eine mit einem Verschlussstopfen (12) verschließbare Reinigungsöffnung (9) für die Partikelfalle (16) vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft weiter eine Verwendung mindestens einer Dosiereinheit (1) bei einem Verfahren zur Abscheidung einer Schicht auf einem Substrat.
    • 用于将前体计量给气体流的计量单元(1)包括具有第一通道(3)的基体(2),其从气体入口(4)从气流引导到气体出口(5) ,以及第二通道,其在交叉点处以角度(α)与第一通道相交。 在第二通道中布置喷嘴以将前体供应到气流中。 还包括独立权利要求,用于:(1)包含至少两个计量单位的计量装置,其中计量单元以相同的气流串联连接,使得许多前体连续地供应至气流; (2)在衬底上沉积层,包括从工作气体产生等离子体射流或火焰,将至少一种前体至少一种气流供应到计量单元或给料装置中,供应气流, 负载操作气体的前体,等离子体射流和/或火焰,并使等离子体射流和火焰中的前体反应,其中至少一种前体的至少一种反应产物沉积在 衬底和/或至少在层上,其布置在表面上。