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1. 发明授权

EP0271646B1 Vorrichtung zur berührungsfreien Messung eines Abstandes von einer Oberfläche, insbesondere zur Abtastung einer Kontur einer Oberfläche eines Werkstückes länges eines Messweges 失效
标题翻译：用于连续测量距离表面距离的设备，特别是用于在测量路径中对工件表面进行表面的调节
公开(公告)号：EP0271646B1
公开(公告)日：1991-01-02
申请号：EP87113658.6
申请日：1987-09-18
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr. , Hutter, Karl, Dipl.-Ing.
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/303

2. 发明公开

EP0418489A3 Optischer Retroreflektor 失效
标题翻译：光回馈器
公开(公告)号：EP0418489A3
公开(公告)日：1991-10-02
申请号：EP90113575.6
申请日：1990-07-16
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G02B5/126
CPC分类号： G02B5/126
摘要： Optischer Retroreflektor, insbesondere für interferometrische Zwecke. Er hat die Form einer Kugel (1) aus optisch brechendem Material, dessen Brechungsindex wenigstens ungefähr, vorzugsweise genau 2 ist. Die Oberfläche (2) der Kugel ist teilweise mit einer Schicht (3) aus reflektierendem Material beschichtet, vorzugsweise bedampft. Der Retroreflektor läßt sich billig und mit hoher Oberflächengüte herstellen. Sein Reflexionsgrad ist groß.
摘要翻译：光学逆反射器，特别是用于干涉测量的目的。它具有球体的形式，并且由光学折射材料制成，其折射率至少约为2，但优选为2。球体的反射表面涂覆有反射材料膜，优选地蒸镀金属。后反射体可以廉价制造并具有高水平的表面质量。它具有很高的反射能力。

3. 发明公开

EP0290789A2 Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Messfläche 失效
标题翻译： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einerMessfläche。
公开(公告)号：EP0290789A2
公开(公告)日：1988-11-17
申请号：EP88105682.4
申请日：1988-04-09
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02051 , G01B9/0207 , G01B2290/60
摘要： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Meßfläche, auf der ein optischer Meßreflektor angeordnet ist. Die Vorrichtung weist ein erstes optisches Interferometer auf, das einen ersten Meßwellenleiter aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser verbunden und dessen anderes Ende auf den Meßreflektor gerichtet ist, der das Licht in den Meßwellenleiter zurückwirft. Das erste optische Interferometer weist einen Bezugswellenleiter auf, der mit dem Meßwellenleiter gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen ersten lichtelektrischen Wandler aufweist, der mit der Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des ersten lichtelektrischen Wandlers verbunden ist. Außerdem ist ein zweites optisches Interferometer vorgesehen, das aufweist einen zweiten Meßwellenleiter, dessen eines Ende mit dem Laser und dessen anderes Ende auf einen fest mit der Vorrichtung verbundenen Bezugsreflektor gerichtet ist, sowie einen zweiten Bezugswellenleiter, der mit dem zweiten Meßwellenleiter über eine Koppelstelle gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen zweiten lichtelektrischen Wandler aufweist. Die Längen des Meßwellenleiters und des Bezugswellenleiters des zweiten optischen Interferometers sind jeweils von der Koppelstelle zu dem Spiegel bzw. dem Bezugsreflektor verschieden. Die Ausgangssignale des ersten lichtelektrischen Wandlers und des zweiten lichtelektrischen Wandlers sind in eine Vergleichseinrichtung eingespeist, die ein Ausgangssignal erzeugt, das von dem Unterschied der eingespeisten Ausgangssignale abhängt und das in eine Korrektureinrichtung zur Korrektur der Wellenlänge des Lichts des Lasers und/oder zur Korrektur der Anzeige der Anzeigeeinrichtung eingespeist ist. Mit dieser Vorrichtung ist es möglich, große Längen im Meterbereich und darüber mit hoher Genauigkeit zu messen.
摘要翻译：光学测量反射器设置在测量表面上，该装置具有第一光学干涉仪，该第一光学干涉仪具有第一测量波导，其第一测量波导的一端连接到激光器，另一端指向测量反射器，光进入测量波导。第一光学干涉仪具有参考波导，其耦合到测量波导，在其一端处的反射镜，并且在另一端处具有连接到显示装置的第一光电换能器，用于显示第一光电传感器。此外，提供了第二光学干涉仪，其具有第二测量波导，第二测量波导的一端连接到激光器，另一端指向永久连接到该装置的参考反射器，第二参考波导耦合到第二测量波导通过耦合点，并且在其一端具有反射镜，在另一端具有第二光电换能器。第二光学干涉仪的测量波导和参考波导的长度在每种情况下都不同于与镜子或参考反射器的耦合点。第一光电换能器和第二光电换能器的输出信号被馈送到比较器中，该比较器产生取决于输入到馈送到校正器中的输出信号之间的差的输出信号，以便校正激光和/或校正显示装置的显示。可以使用该设备以高精度测量米及以上范围内的大长度。 ... ...

4. 发明授权

EP0242436B1 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen 失效
标题翻译：用于测量小长度的装置
公开(公告)号：EP0242436B1
公开(公告)日：1991-12-18
申请号：EP86114475.6
申请日：1986-10-18
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr. , Hutter, Karl, Dipl. Ing.
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303

5. 发明公开

EP0290789A3 Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Messfläche 失效
标题翻译：用于测量装置与测量表面之间的距离的装置
公开(公告)号：EP0290789A3
公开(公告)日：1991-01-09
申请号：EP88105682.4
申请日：1988-04-09
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02051 , G01B9/0207 , G01B2290/60
摘要： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Meßfläche, auf der ein optischer Meßreflektor angeordnet ist. Die Vorrichtung weist ein erstes optisches Interferometer auf, das einen ersten Meßwellenleiter aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser verbunden und dessen anderes Ende auf den Meßreflektor gerichtet ist, der das Licht in den Meßwellenleiter zurückwirft. Das erste optische Interferometer weist einen Bezugswellenleiter auf, der mit dem Meßwellenleiter gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen ersten lichtelektrischen Wandler aufweist, der mit der Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des ersten lichtelektrischen Wandlers verbunden ist. Außerdem ist ein zweites optisches Interferometer vorgesehen, das aufweist einen zweiten Meßwellenleiter, dessen eines Ende mit dem Laser und dessen anderes Ende auf einen fest mit der Vorrichtung verbundenen Bezugsreflektor gerichtet ist, sowie einen zweiten Bezugswellenleiter, der mit dem zweiten Meßwellenleiter über eine Koppelstelle gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen zweiten lichtelektrischen Wandler aufweist. Die Längen des Meßwellenleiters und des Bezugswellenleiters des zweiten optischen Interferometers sind jeweils von der Koppelstelle zu dem Spiegel bzw. dem Bezugsreflektor verschieden. Die Ausgangssignale des ersten lichtelektrischen Wandlers und des zweiten lichtelektrischen Wandlers sind in eine Vergleichseinrichtung eingespeist, die ein Ausgangssignal erzeugt, das von dem Unterschied der eingespeisten Ausgangssignale abhängt und das in eine Korrektureinrichtung zur Korrektur der Wellenlänge des Lichts des Lasers und/oder zur Korrektur der Anzeige der Anzeigeeinrichtung eingespeist ist. Mit dieser Vorrichtung ist es möglich, große Längen im Meterbereich und darüber mit hoher Genauigkeit zu messen.

6. 发明公开

EP0242407A2 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen 失效
标题翻译：一种用于测量小长度设备。
公开(公告)号：EP0242407A2
公开(公告)日：1987-10-28
申请号：EP86105226.4
申请日：1986-04-16
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： Vorrichtung zur Messung kleiner Längen, mit einer in Richtung der zu messenden Länge beweglich gelagerten Tastspitze, mit einem Wandler zur Umwandlung der Bewegung der Tastspitze in entsprechende elektrische Signale und mit einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige dieser Signale. Der Wandler enthält ein optisches Interferometer, das einen Meßwellenleiter aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser und dessen anderes Ende mit einer optischen Einrichtung verbunden ist, die das Licht auf einen im Abstand angeordneten Meßspiegel richtet, der das Licht zu der optischen Einrichtung zurückwirft. Der Meßspiegel ist mit der Tastspitze verbunden. Außerdem weist das Interferometer einen Bezugswellenleiter auf, der mit dem Meßwellenleiter gekoppelt ist und an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen lichtelektrischen Wandler aufweist, der mit der Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des elektrischen Wandlers verbunden ist. Die Vorrichtung läßt sich kostengünstig und einfach als optoelektrische integrierte Einheit ausbilden. Sie ermöglicht eine Messung mit einer Genauigkeit in der Größenordnung der halben Wellenlänge des Lichts des Lasers oder auch weit darunter auch bei großen zu messenden Längen mit hoher Linearität. Die Vorrichtung ist auch zur Messung sehr schneller Längenänderungen bei kleinen Auflagedrücken der Tastspitze geeignet
摘要翻译：一种用于测量小的长度，具有安装在所述长度方向上可移动地被测量器件探针尖端，与转换器的探针尖端的运动转换成相应的电信号和用于显示这些信号的显示装置。所述换能器包括具有测量波导，其一端被连接到激光器上，另一端与引导光到间隔开的测量镜，该反射光到光学装置的光学装置的光学干涉仪。测量镜被连接到探针尖端。此外，在其上加上测量波导和在其一端的反射镜，在其另一端被连接到所述显示器的光电变换器具有基准波导干涉仪装置，用于显示电换能器的电输出。该设备可以是廉价并且容易训练作为光电子集成单元。它能够使在激光的光的波长的一半的量级的精度的测量，或者甚至远低于即使是使用大型的长度将与高线性度测量。该装置是非常快，适合于测量与小垫的长度变化按压探针尖端

7. 发明公开

EP0418489A2 Optischer Retroreflektor 失效
标题翻译： Optischer Retroreflektor。
公开(公告)号：EP0418489A2
公开(公告)日：1991-03-27
申请号：EP90113575.6
申请日：1990-07-16
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G02B5/126
CPC分类号： G02B5/126
摘要： Optischer Retroreflektor, insbesondere für interferometrische Zwecke. Er hat die Form einer Kugel (1) aus optisch brechendem Material, dessen Brechungsindex wenigstens ungefähr, vorzugsweise genau 2 ist. Die Oberfläche (2) der Kugel ist teilweise mit einer Schicht (3) aus reflektierendem Material beschichtet, vorzugsweise bedampft. Der Retroreflektor läßt sich billig und mit hoher Oberflächengüte herstellen. Sein Reflexionsgrad ist groß.
摘要翻译：光学逆反射器，特别是用于干涉测量的目的。它具有球体的形式，并且由光学折射材料制成，其折射率至少约为2，但优选为2。球体的反射表面涂覆有反射材料膜，优选地蒸镀金属。后反射体可以廉价制造并具有高水平的表面质量。它具有很高的反射能力。

8. 发明公开

EP0297243A3 Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen dieser Vorrichtung und einer Messfläche 失效
标题翻译：用于测量此设备与表面之间的距离的设备
公开(公告)号：EP0297243A3
公开(公告)日：1990-08-08
申请号：EP88106714.4
申请日：1988-04-27
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/14
CPC分类号： G01B9/02051 , G01B9/02081 , G01B2290/45
摘要： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Meßfläche (7), mit einem optischen Interferometer, das einen Meßwellenleiter (3) aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser (2) verbunden und dessen anderes Ende auf einen auf der Meßfläche (7) angeordneten oder mit dieser wirkungsverbundenen optischen Meßreflektor (6) gerichtet ist, der das Licht in den Meßwellenleiter (3) zurückwirft. Das Interferometer weist außerdem einen Bezugswellenleiter (11) auf, der mit dem Meßwellenleiter (3) über eine Koppelstelle (10) gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel (12) und an seinem anderen Ende einen lichtelektrischen Wandler aufweist (14), der mit einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des lichtelektrischen Wandlers verbunden ist. Der Bezugswellenleiter ist über einen vorzugsweise polarisierenden Strahlteiler (13) mit einem Abzweigwellenleiter gekoppelt, dessen Ende mit einem weiteren lichtelektrischen Wandler (15) verbunden ist. Der Bezugswellenleiter weist eine Phaseneinstelleinrichtung (17) auf. Die Ausgänge der lichtelektrischen Wandler (14,15) sind mit einem Differenzverstärker (20) verbunden, dessen gleichspannungsfreies Ausgangssignal in die Anzeigeeinrichtung eingespeist ist. Durch die Gleichspannungsfreiheit des Ausgangssignals des Differenzverstärkers wird die Weiterverarbeitung des Interferenznutzsignals erleichtert und die Meßgenauigkeit erhöht.
摘要翻译：一种用于测量装置与测量表面之间的距离的装置，其具有光学干涉仪，该干涉仪具有测量波导，其一端与激光连接，另一端被引导到位于测量表面或者以有效的方式与测量表面相连，将光反射回测量波导。干涉仪还具有参考波导，其在耦合点处与测量波导耦合，在其一端具有反射镜，在另一端具有光电转换器，该光电转换器与指示器装置连接，用于指示电光电转换器的输出信号。参考波导优选地通过偏振分束器与分支波导相连，其分支波导与附加的光电转换器连接。参考波导具有相位调整装置。光电转换器的输出与差分放大器连接，差分放大器的输出信号不受直流电流的影响，并送入指示器。由于差分输出信号没有直流电流，所以干扰输出信号的进一步处理变得容易，测量精度提高。

9. 发明公开

EP0242436A3 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen 失效
标题翻译：用于测量小长度的装置
公开(公告)号：EP0242436A3
公开(公告)日：1989-07-05
申请号：EP86114475.6
申请日：1986-10-18
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr. , Hutter, Karl, Dipl. Ing.
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： Vorrichtung zur Messung kleiner Längen, mit einer in Richtung der zu messenden Länge beweglich gelagerten Tastspitze, mit einem Wandler zur Umwandlung der Bewegung der Tastspitze in entsprechende elektrische Signale und mit einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige dieser Signale. Der Wandler enthält ein optisches Interferometer, das einen Meßwellenleiter aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser und dessen anderes Ende mit einer optischen Einrichtung verbunden ist, die das Licht auf einen im Abstand angeordneten Meßspiegel richtet, der das Licht zu der optischen Einrichtung zurückwirft. Der Meßspiegel ist mit der Tastspitze verbunden. Außerdem weist das Interferometer einen Bezugswellenleiter auf, der mit dem Meßwellenleiter gekoppelt ist und an seinem einen Ende einen Spiegel und an seinem anderen Ende einen lichtelektrischen Wandler aufweist, der mit der Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des elektrischen Wandlers verbunden ist. Die Vorrichtung läßt sich kostengünstig und einfach als optoelektrische integrierte Einheit ausbilden. Sie ermöglicht eine Messung mit einer Genauigkeit in der Größenordnung der halben Wellenlänge des Lichts des Lasers oder auch weit darunter auch bei großen zu messenden Längen mit hoher Linearität. Die Vorrichtung ist auch zur Messung sehr schneller Längenänderungen bei kleinen Auflagedrücken der Tastspitze geeignet.

10. 发明公开

EP0297243A2 Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen dieser Vorrichtung und einer Messfläche 失效
标题翻译： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen dieser Vorrichtung und einerMessfläche。
公开(公告)号：EP0297243A2
公开(公告)日：1989-01-04
申请号：EP88106714.4
申请日：1988-04-27
申请人： Hommelwerke GmbH
发明人： Ulbers, Gerd, Dr.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/14
CPC分类号： G01B9/02051 , G01B9/02081 , G01B2290/45
摘要： Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Meßfläche (7), mit einem optischen Interferometer, das einen Meßwellenleiter (3) aufweist, dessen eines Ende mit einem Laser (2) verbunden und dessen anderes Ende auf einen auf der Meßfläche (7) angeordneten oder mit dieser wirkungsverbundenen optischen Meßreflektor (6) gerichtet ist, der das Licht in den Meßwellenleiter (3) zurückwirft. Das Interferometer weist außerdem einen Bezugswellenleiter (11) auf, der mit dem Meßwellenleiter (3) über eine Koppelstelle (10) gekoppelt ist, an seinem einen Ende einen Spiegel (12) und an seinem anderen Ende einen lichtelektrischen Wandler aufweist (14), der mit einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige des elektrischen Ausgangssignals des lichtelektrischen Wandlers verbunden ist. Der Bezugswellenleiter ist über einen vorzugsweise polarisierenden Strahlteiler (13) mit einem Abzweigwellenleiter gekoppelt, dessen Ende mit einem weiteren lichtelektrischen Wandler (15) verbunden ist. Der Bezugswellenleiter weist eine Phaseneinstelleinrichtung (17) auf. Die Ausgänge der lichtelektrischen Wandler (14,15) sind mit einem Differenzverstärker (20) verbunden, dessen gleichspannungsfreies Ausgangssignal in die Anzeigeeinrichtung eingespeist ist. Durch die Gleichspannungsfreiheit des Ausgangssignals des Differenzverstärkers wird die Weiterverarbeitung des Interferenznutzsignals erleichtert und die Meßgenauigkeit erhöht.
摘要翻译：一种用于测量装置与测量表面之间的距离的装置，其具有光学干涉仪，该干涉仪具有测量波导，其一端与激光连接，另一端被引导到位于测量表面或者以有效的方式与测量表面相连，将光反射回测量波导。干涉仪还具有参考波导，其在耦合点处与测量波导耦合，在其一端具有反射镜，在另一端具有光电转换器，该光电转换器与指示器装置连接，用于指示电光电转换器的输出信号。参考波导优选地通过偏振分束器与分支波导相连，其分支波导与附加的光电转换器连接。参考波导具有相位调整装置。光电转换器的输出与差分放大器连接，差分放大器的输出信号不受直流电流的影响，并送入指示器。由于差分输出信号没有直流电流，所以干扰输出信号的进一步处理变得容易，测量精度提高。

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