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    • 3. 发明公开
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIT EINER LOTVORFORM VERBUNDENEN BAUELEMENTS MITTELS HEISSPRESSENS UNTERHALB DER SCHMELZTEMPERATUR DES LOTMATERIALS
    • EP3499553A1
    • 2019-06-19
    • EP17207043.5
    • 2017-12-13
    • Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
    • SCHÄFER, MichaelSCHMITT, WolfgangPELSHAW, Nadja
    • H01L21/60H05K3/34
    • Verfahren zur Herstellung eines mit einer Lotvorform verbundenen Bauelements umfasst die Schritte:
      (1) Bereitstellen eines mindestens eine Kontaktfläche aufweisenden Bauelements und einer freien Lotvorform,
      (2) Herstellen einer Anordnung aus dem Bauelement und der damit noch nicht verbundenen Lotvorform durch Inkontaktbringen einer oder der einzigen Kontaktfläche des Bauelements mit einer Kontaktfläche der freien Lotvorform, und
      (3) Heißpressen der in Schritt (2) hergestellten Anordnung unter Bildung des mit der Lotvorform verbundenen Bauelementes bei einer 10 bis 40% unterhalb der in °C ausgedrückten Schmelztemperatur des Lotmetalls der Lotvorform liegenden Temperatur und einer dabei eine Reduktion der ursprünglichen Dicke der ursprünglich freien Lotvorform von ≤10% bewirkenden Kombination von Pressdruck und Pressdauer.
      Das Bauelement kann ein Substrat, ein aktives Bauelement oder ein passives Bauelement sein.
      Das Verfahren kann die weiteren Schritte umfassen:
      (4) Herstellen einer Sandwichanordnung aus mit dem Bauelement verbundener Lotvorform und einem damit zu verbindenden weiteren Bauelement durch Inkontaktbringen der nach außen weisenden Lotmetall-Kontaktfläche der mit dem Bauelement verbundenen Lotvorform mit einer oder der einzigen Kontaktfläche des weiteren Bauelements,
      (5) Erhitzen der Sandwichanordnung auf eine Temperatur oberhalb der Schmelztemperatur des Lotmetalls der Lotvorform, und
      (6) Abkühlen der Sandwichanordnung unter die Erstarrungstemperatur des zwischen den Bauelementen befindlichen geschmolzenen Lotmetalls unter Ausbildung einer Lötverbindung zwischen den Bauelementen.
      Alternativ kann das Verfahren anstatt der Schritte (4)-(6) die weiteren Schritte umfassen:
      (4') Herstellen einer Sandwichanordnung aus mit dem Bauelement verbundener Lotvorform und einem damit zu verbindenden weiteren Bauelement durch Inkontaktbringen der nach außen weisenden Lotmetall-Kontaktfläche der mit dem Bauelement verbundenen Lotvorform mit einer oder der einzigen Kontaktfläche des weiteren Bauelements, und
      (5') Heißpressen der in Schritt (4') hergestellten Sandwichanordnung bei einer 10 bis 40% unterhalb der in °C ausgedrückten Schmelztemperatur des Lotmetalls der mit dem in Schritt (1) bereitgestellten Bauelement verbundenen Lotvorform liegenden Temperatur unter Ausbildung einer Lotverbindung zwischen den Bauelementen, wobei die während Schritt (5') wirkende Kombination von Pressdruck und Pressdauer in einem Bereich liegt, welcher eine Reduktion der Dicke der verbundenen Lotvorform von