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2. 发明公开

EP3203219A1 PROCEDE DE CARACTERISATION D'UN ECHANTILLON COMBINANT UNE TECHNIQUE DE CARACTERISATION PAR TOMGRAPHIE PAR RAYONS X ET UNE TECHNIQUE DE CARACTERISATION PAR SPECTROMETRIE DE MASSE A IONISATION SECONDAIRE 失效
标题翻译：表征过程结合了样品表征技术TOMGRAPHIE X射线和表征技术质谱分析二次电离
公开(公告)号：EP3203219A1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：EP17153866.3
申请日：2017-01-31
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： PRIEBE, Agnieszka , AUDOIT, Guillaume , BARNES, Jean-Paul
IPC分类号： G01N23/22 , G01N23/225 , G01N23/04
CPC分类号： G01N23/20025 , G01N23/046 , G01N23/083 , G01N23/2204 , G01N23/2206 , G01N23/2258 , G01N2223/045 , G01N2223/0816 , G01N2223/307 , H01J49/0072 , H01J49/0409 , H01J49/40
摘要： Procédé de caractérisation d'un échantillon (300) combinant une technique de caractérisation par tomographie par rayons X et une technique de caractérisation par spectrométrie de masse à ionisation secondaire, caractérisé en ce qu'il comprend : une étape de mise à disposition d'une pointe (100), la pointe comprenant une première surface d'extrémité (110), une deuxième surface d'extrémité (120), une première région cylindrique (101) portant la première surface d'extrémité (110) et une deuxième région (102) en contact avec la première région cylindrique (101) et s'affinant vers la deuxième surface d'extrémité (120) ; une étape d'usinage (20) de la deuxième région (102) de sorte à obtenir un porte-échantillon (200) comprenant une surface plane (220), la surface plane formant une surface d'extrémité du porte-échantillon (200), l'aire de ladite surface plane (220) étant inférieure à l'aire de la première surface d'extrémité (110) ; une étape de mise en place (30) de l'échantillon (300) sur la surface plane (220) du porte-échantillon (200) ; une première étape de caractérisation de l'échantillon (300) à l'aide d'une technique de caractérisation par rayons X ; une deuxième étape de caractérisation de l'échantillon (300) à l'aide d'une technique de caractérisation par spectrométrie de masse à ionisation secondaire.
摘要翻译：一种用于表征通过X射线断层摄影术和表征技术分析用于表征合成的技术，以二次电离质量的样品（300）的方法，其特征在于，它包括：提供的步骤尖端（100），所述尖端包括携带所述第一端面（110）和第二区域中的第一端表面（110），第二端部表面（120），第一柱形区域（101）（ 102）与所述第一圆柱形区域（101）接触并朝向所述第二端表面（120）逐渐变细; 所述第二区域（102）的加工步骤（20），以便获得一个样品保持器（200），其包括平坦表面（220），平坦表面形成所述样品保持器的端部表面（200）所述平坦表面（220）的面积小于所述第一端面（110）的面积; 将样品（300）放置（30）在样品架（200）的平坦表面（220）上的步骤; 使用X射线表征技术表征样品（300）的第一步骤; 使用二次电离质谱法表征技术表征样品（300）的第二步骤。

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