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    • 6. 发明公开
    • Détecteur interférométrique de résolution atomique, utilisations et procédés de mise en oeuvre
    • 干涉检测器与原子触发器,它的使用和Auswendung的方法。
    • EP0539321A1
    • 1993-04-28
    • EP92810741.6
    • 1992-10-02
    • CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A.
    • Christoph, Rainer F.Kotrotsios, Georges
    • G01B7/34G01N27/00
    • G01Q20/02
    • La présente invention concerne un microscope interférométrique de forces atomiques pour la mesure de la rugosité ou des irrégularités de surfaces. Le détecteur interférométrique de résolution atomique (1) du microscope interférométrique, faisant plus particulièrement l'objet de l'invention, comprend une fibre optique (2) et un levier (9) comportant une couche métallique (13, 14), respectivement semi-réfléchissante et réfléchissante, de manière à constituer un interféromètre du type Fabry-Perot. Les couches métalliques (13, 14) sont soumises à une différence de potentiel ΔV (15) de manière à fixer le point de fonctionnement P dudit interféromètre du type Fabry-Perot pour lequel la sensibilité est maximale, par l'application d'une force électrostatique audit levier. L'invention concerne également une utilisation du microscope interférométrique de forces atomiques pour la détermination de la rugosité ou des irrégularités d'une surface (7) disposée dans un bain électrolytique ainsi que les procédés de mise en oeuvre du microscope interférométrique.
    • 本发明涉及到在干涉原子力显微镜测量的粗糙度或表面的不规则性。 干涉显微镜,其中更具体地分别形成了本发明,包括,的主题上的光纤(2)和控制杆(9)包括金属层(13,14)的干涉检测器与原子分辨率(1)半 反射和反射,从而构成一个法布里 - 珀罗型干涉仪。 金属层(13,14)进行的电势差DELTA V(15),以便固定。所述法布里 - 珀罗型干涉仪的量,灵敏度为最大,通过施加到静电力的工作点(P) 说杠杆。 因此,本发明涉及用于采矿确定性粗糙度或在电解浴设置在表面(7)的不规则性,以及对利用所述干涉显微镜方法使用干涉原子力显微镜。