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    • 1. 发明公开
    • Vorrichtung zum vakuumdichten Verbinden von zwei Körpern aus unterschiedlichen Materialien
    • 对于不同材料的两个机构的真空密封连接的装置
    • EP0915191A2
    • 1999-05-12
    • EP98115131.9
    • 1998-08-12
    • Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft
    • Schulmann, WinfriedKaiser, Helmut,Dr.Wenske, Udo
    • C30B25/14C23C16/44F16L21/00
    • C30B25/08C30B31/10F16L21/04F16L27/11Y10S285/911
    • Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, eine Vorrichtung zum Verbinden von zwei Körpern, insbesondere einem Quarz- und einem Metallkörper, bereitzustellen, die mit wenigen und einfach geformten Bauteilen eine hohe Dichtfähigkeit bei hohen Temperaturunterschieden und sehr niedrigen Drücken sicherstellt sowie eine leichte Montage und Demontage ermöglicht. Die Vorrichtung zum vakuumdichten Verbinden von zwei Körpern aus unterschiedlichen Materialien, die jeweils einen im wesentlichen rohrförmigen Endabschnitte (20,30) aufweisen, wobei im verbundenen Zustand der rohrförmige Endabschnitt (30) des ersten Körpers den Endabschnitt (20) des zweiten Körpers wenigstens teilweise umgibt, umfaßt einen Zwischenkanal (130) zur Zwischenabsaugung, der zwischen den rohrförmigen Endabschnitten (20,30) ausgebildet ist, und zwei Dichtungen (100,150), die den Zwischenkanal (130) abdichten.
    • 本发明具有以下目的已经上升到用于连接两个主体,尤其是石英和金属体提供一种具有很少和简单形状的部件,在高的温度差和非常低的压力高的密封性,以及一个容易装配和拆卸,确保提供一种设备 允许。 具有用于不同材料的两个机构的真空密封连接的装置中,每一个都具有基本上管状的端部(20,30),其中,在所述第一主体的连接状态(30)的管状端部部分至少围绕所述第二主体的端部分(20) 包括用于将所述管形端部(20,30)之间形成级间的中间通道(130),以及两个密封件(100,150),其密封所述中间信道(130)。