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    • 1. 发明公开
    • An apparatus and method for the analysis of a process having parameter-based faults
    • 基于与误差参数的过程的分析方法和装置
    • EP1793296A1
    • 2007-06-06
    • EP06125452.0
    • 2006-12-05
    • Insyst Ltd.
    • Hartman, JehudaBrill, EyalKokolov, Yuri
    • G05B23/02
    • G05B23/024G05B23/0248G05B23/0272G06K9/6226G06K9/6284G06Q10/06
    • An apparatus for the analysis of a process having parameter-based faults includes: a parameter value inputter configured for inputting values of at least one process parameter, a fault detector, configured for detecting the occurrence of a fault, a learning file creator associated with the parameter value inputter and the fault detector, configured for separating the input values into a first learning file and a second learning file, the first learning file comprising input values from a collection period preceding each of the detected faults, and the second learning file comprising input values input outside the collection periods, and a learning file analyzer associated with the learning file creator, configured for performing a separate statistical analysis of the first and second learning files, thereby to asses a process status.
    • 对于具有基于参数的故障的过程的分析的装置,包括:一参数值输入器配置的,用于输入至少一个工艺参数,检测器故障,配置成用于检测故障的发生,与相关联的学习文件创建者的值 的parameterValue输入器和故障检测器,被配置用于将输入值分离为第一学习文件和第二文件的学习,该第一学习文件从一个收集时段preceding-每个检测到的故障,并且所述第二学习文件包括输入包括输入值 值输入的收集周期外,并与学习文件创建者相关联的学习文件分析器,被配置用于执行第一和第二学习的文件的一个独立的统计分析,从而以评估处理状态。