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    • 77. 发明公开
    • Gas flow type angular velocity sensor
    • Gasflusswinkelgeschwindigkeitsmesser。
    • EP0405452A2
    • 1991-01-02
    • EP90112140.0
    • 1990-06-26
    • HONDA GIKEN KOGYO KABUSHIKI KAISHA
    • Takahashi, TsuneoIkegami, MasayukiNishio, TomoyukiGunji, Takahiro
    • G01P9/00
    • G01P9/00
    • A gas flow type angular velocity sensor comprising two semiconductor substrates with all components formed thereon by use of a semiconductor technology and an IC technology, which are coupled with each other to form therein a pair of heat wires, a gas path and a nozzle holes for injecting a gas flow toward the paired heat wires in the gas path. Two heat wires of the pair changes their resistance-temperature characteristics in accordance with a deflection of the gas flow due to the action of angular velocity and a difference between two changed values is picked up and amplified by a resistance bridge circuit and an amplifier circuit formed on the semiconductor substrates to produce an output signal proportional to the angular velocity to be measured. A miniature pump formed on semiconductor substrates and drivable by a piezoelectric element provides a stabilized gas flow in the sensor. Thus constructed sensor is compact, accurate and suitable for mass-production and free from disadvantages of conventional sensors.
    • 一种气流式角速度传感器,包括通过使用半导体技术和IC技术在其上形成的所有部件的两个半导体基板,它们彼此耦合以在其中形成一对热丝,气路和喷嘴孔 向气体路径中的成对热丝喷射气流。 该对中的两根热丝根据角速度的作用而根据气流的偏转而改变它们的电阻温度特性,并且两个改变值之间的差被拾取并通过电阻桥电路和形成的放大器电路放大 在半导体衬底上产生与要测量的角速度成比例的输出信号。 形成在半导体基板上并由压电元件驱动的微型泵在传感器中提供稳定的气流。 这样构造的传感器是紧凑的,准确的并且适合于批量生产并且没有常规传感器的缺点。
    • 80. 发明公开
    • SIGNAL PROCESSOR FOR INERTIAL MEASUREMENT USING CORIOLIS FORCE SENSING ACCELEROMETER ARRANGEMENTS
    • 由科里奥利力惯性测量信号处理中使用加速度计的安排。
    • EP0243468A1
    • 1987-11-04
    • EP86906651.0
    • 1986-10-20
    • SUNDSTRAND DATA CONTROL, INC.
    • MERHAV, Shumel, J.
    • G01C19G01P9G01P15
    • G01P9/00G01P15/08
    • Procédé et appareil de traitement de signaux produits par des assemblages d'accéléromètres (12) dans lesquels un ou plusieurs accéléromètres sont déplacés de manière cyclique d'une manière prédéterminée de sorte que sont produits des signaux représentant la force spécifique s'exerçant sur les accéléromètres et la vitesse angulaire à laquelle sont soumis les accéléromètres. Le processeur de signaux (10) estime séparément les composantes du signal en cours de traitement et produit un signal d'erreur (e) en soustrayant les composantes de signal estimées du signal en cours de traitement (26). Le signal d'erreur (e) est réinjecté par le circuit (30-56) qui commande l'intensité des composantes de signal estimées de sorte que la valeur de chaque composante de signal estimée converge rapidement vers la valeur des composantes de signal du signal en cours de traitement. Dans un agencement de détermination de la vitesse angulaire d'une ou plusieurs paires d'accéléromètres déplacés cycliquement, le processeur de signaux (10) comprend une composante de signal qui est en phase avec le signal qui fait osciller la paire d'accéléromètres, une composante de signal qui est en quadrature de phase avec le signal qui déplace la paire d'accéléromètres et une composante de signal qui correspond au bruit additionnel aléatoire non modulé.