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    • 68. 发明公开
    • Aussenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
    • Aussenelektroden一个压力驱动器Vielschichtaktoren
    • EP1204152A2
    • 2002-05-08
    • EP01126097.3
    • 2001-11-02
    • CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering
    • Bindig, ReinerSchreiner, Hans-Jürgen, Dr.
    • H01L41/083H01L41/047
    • H01L41/0472H01L41/0838H01L41/293
    • Bei Außenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren, die in herkömmlicher Weise an die Vielschichtaktoren angebracht werden, wirken während des Betriebs starke Zugspannungen auf den Isolierbereich unter der Grundmetallisierung. Da dieser Isolierbereich zusammen mit der Grundmetallisierung und der Verbindungsschicht eine homogene Einheit bildet, versagt diese beim Überschreiten der Zugfestigkeit des schwächsten Gliedes und es bilden sich Risse. Die unkontrolliert durch den Isolierbereich verlaufenden Risse sind sehr kritisch, da sie den Isolationsabstand verringern und die Wahrscheinlichkeit eines Aktorausfalls durch Überschläge stark erhöhen.
      Erfindungsgemäß wird deshalb vorgeschlagen, dass die Schicht der Grundmetallisierung (3) durch Unterbrechungen oder Ausnehmungen (17) strukturiert (15) ist.
    • 外电极由施加到致动器(1)的表面的陶瓷材料的基底金属化层(3)组成。 使用连接层(8)将加强层(4)接合到金属化层。 加强层焊接到连接线(5)。 金属化层由凹槽构成。 还包括用于制造外部电极的方法的独立权利要求。 优选特征:基底金属化的结构由使用印刷工艺生产的印刷图案浆料组成。 糊剂具有AgxPdy(​​其中,x + y = 1和1×0,优选为1×0.7)的组成。 金属材料是镍。