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    • 34. 发明公开
    • Verfahren und Vorrichtung zum Ausdampfen von Komponenten aus Mehrstoffgemischen und Mehrstoffsystemen
    • 用于蒸发从多组分混合物和多组分系统中的部件的方法和装置
    • EP1027911A1
    • 2000-08-16
    • EP99125076.2
    • 1999-12-16
    • ALD Vacuum Technologies AG
    • Raschke, Manfred, Dr.-Ing.Goy, Wilfried, Dr.-Ing.Hugo, Franz, Dipl.-Ing.Wanetzky, Erwin, Dipl.-Ing.Melber, Albrecht, Dr.-Ing.
    • B01D3/10C22C3/00C22B9/02
    • B01D3/10
    • Zum Ausdampfen von vorgegebenen Komponenten aus anfänglichen Mehrstoffgemischen und Mehrstoffsystemen bei unteratmosphärischem Druck werden in einer Vakuumkammer (2) Einzelportionen (P1,P2,P3,P4,P5) des Mehrstoffgemischs oder Mehrstoffsystems in mehreren Etagen in Ringtiegeln (17) angeordnet. Dabei werden Dämpfe der jeweils niedriger siedenden Komponente(n) durch je eine Dampfabzugsöffnung abgezogen, wobei der oberste Ringtiegel (17) mit Ausnahme der Dampfabzugsöffnung verschlossen ist. Um durch kurze Diffusionsweglängen und eine große Gleichmäßigkeit in der Temperaturverteilung Produkte mit hoher Reinheit zu erhalten, werden

      a) Ringtiegel (17) verwendet, die gegenüber elektromagnetischen Wechselfeldern als Suszeptor wirken,
      b) unter und über dem Tiegelstapel Heizkörper (16,21) angeordnet, die gleichfalls gegenüber elektromagnetischen Wechselfeldern als Suszeptor wirken,
      c) die Ringtiegel (17) und die Heizkörper (16,21) durch induktive Ankoppelung aufgeheizt, und zwar
      d) mit einer solchen Zeitvorgabe, daß mindestens eine der vorgegebenen Komponenten des Mehrstoffgemischs oder Mehrstoffsystems in möglichst hoher Reinheit gewonnen wird.
    • 用于在多组分混合物或多流体系统的真空腔室(2)个体的部分(P1,P2,P3,P4,P5)在环形的坩埚低于大气压的压力在几个楼层(17)从初始的多组分混合物和多组分系统预定成分的蒸发。 在这种情况下,分别低沸成分(S)的蒸汽通过一个相应的蒸汽排放口抽出,所述顶圈的坩埚(17)与蒸汽孔除外关闭。 为了保持由于短的扩散路径,并在产品的温度分布具有高纯度的大的均匀性,a)环坩埚(17)被使用,其作用是电磁交变场作为一个基座,布置b)所示,并在坩埚堆叠式散热器上述(16,21), 这也起到电磁交变场作为基座,c)中通过电感耦合加热的环形坩埚(17)和所述散热器(16,21),即,d)在这样的定时,所述多组分混合物或多流体系统中的规定的构成要素中的至少一个 高纯度尽可能被回收。