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21. 发明公开

EP1474844A4 VIBRATION CONTROL UTILIZING SIGNAL DETRENDING 有权
标题翻译：振动的优化控制信号去趋势
公开(公告)号：EP1474844A4
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：EP03708837
申请日：2003-01-15
申请人： CYMER INC
发明人： JACQUES ROBERT N , WARKENTIN DAVID J
IPC分类号： G03F7/20 , B23P19/033 , F16F15/00 , F16F15/02 , F16F15/027 , G05D19/02
CPC分类号： G03F7/709 , F16F15/005 , F16F15/02 , F16F15/0275 , F16F2230/08 , G03F7/70725 , G03F7/70833 , G05D19/02 , Y10T29/5313 , Y10T29/53174
摘要： A vibration reducing system includes a position control dive (65) and a vibration control drive (45). At least one position sensor (60) is used to provide feedback signals which are in turn unses to provide control signals fore both the position control drive (65) and the vibration control drive (45).

22. 发明公开

EP1373877A4 BASE STABILIZATION SYSTEM 有权
标题翻译： BASE稳定系统
公开(公告)号：EP1373877A4
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：EP02733812
申请日：2002-03-01
申请人： CYMER INC
发明人： LUBLIN LEONARD , WARKENTIN DAVID J , PLETNER BARUCH , RULE JOHN A
IPC分类号： G05D3/00 , F16F15/00 , F16F15/02 , F16F15/027 , G03F7/20
CPC分类号： F16F15/02 , F16F15/005 , F16F15/0275 , F16F2230/08 , G03F7/70725 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/709
摘要： A system that provides a base stabilization system for controlling motion of a controlled structure. The system includes a ground structure such as the floor of a fabrication facility and the controlled structure includes a base (405) on which equipment is mounted. The system also includes at least three air mounts (480) and a plurality of actuators (430) all attached to the ground structure and to the base to isolate the base from the ground structure and to stabilize the base. The system includes a plurality of position and acceleration sensors (420) each of which are co-located with a corresponding actuator. The system also includes a multi-input, multi output feedback control system comprising a computer processor programmed with a feedback control algorithm for controlling each of the actuators based on feedback signals from each of the sensors. The co-location of the sensors with the actuators avoids serious problems resulting from higher order vibration modes.

23. 发明公开

EP1474844A1 VIBRATION CONTROL UTILIZING SIGNAL DETRENDING 有权
标题翻译：振动的优化控制信号去趋势
公开(公告)号：EP1474844A1
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：EP03708837.4
申请日：2003-01-15
申请人： Cymer, Inc.
发明人： JACQUES, Robert, N. , WARKENTIN, David, J.
IPC分类号： H01R3/00 , B23P19/00
CPC分类号： G03F7/709 , F16F15/005 , F16F15/02 , F16F15/0275 , F16F2230/08 , G03F7/70725 , G03F7/70833 , G05D19/02 , Y10T29/5313 , Y10T29/53174
摘要： A vibration reducing system includes a position control dive (65) and a vibration control drive (45). At least one position sensor (60) is used to provide feedback signals which are in turn unses to provide control signals fore both the position control drive (65) and the vibration control drive (45).

24. 发明授权

EP0814279B1 Vibration cancellation apparatus 失效
标题翻译：振动抑制装置
公开(公告)号：EP0814279B1
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：EP97110230.6
申请日：1997-06-23
申请人： EBARA CORPORATION
发明人： Haga, Takahide , Watanabe, Katsuhide
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03
CPC分类号： F16F15/02 , F16F15/0275

25. 发明公开

EP0851983A4 ACTIVE PNEUMATIC MOUNT 失效
标题翻译： PNEUMATISCHES AKTIVLAGER
公开(公告)号：EP0851983A4
公开(公告)日：2001-05-23
申请号：EP96935894
申请日：1996-09-23
申请人： BBN CORP
发明人： MURRAY BRUCE S
IPC分类号： F16F15/02 , F16F9/04 , F16F15/027 , F16F15/04
CPC分类号： F16F15/0275 , F16F9/04 , F16F2230/18
摘要： In the active pneumatic mount disclosed herein, a bellows or othe flexible sealing means (29) is utilized for containing a volume of pressurized gas which supports the weight of the equipment which is to be isolated. Within the pressurized volume is a means defining a chamber (30) having an opening for receiving an acoustic transducer (45). An acoustic transducer (45) is mounted in that opening for generating, in the pressurized volume, oscillatory pressure variations which reduce dynamic pressure variations induced by the vibrations which are to be blocked. The space within the chamber (43) is vented to the pressurized volume (30), thereby to equalize the static pressure in the space.

26. 发明授权

EP0587987B1 Aktives Stellelement 失效
标题翻译：主动执行器
公开(公告)号：EP0587987B1
公开(公告)日：1996-11-27
申请号：EP93107433.0
申请日：1993-05-07
申请人： Firma Carl Freudenberg
发明人： Kurr, Klaus, Dr. , Röhner, Gerhard , Eckel, Hand-Gerd, Dr. , Burger, Stefan
IPC分类号： F16F15/02 , F16F13/00 , F16F1/44 , B60G17/015
CPC分类号： F16F15/0275 , B60G17/01941 , B60G2202/42 , B60G2401/10 , F16F1/445 , F16F13/00 , F16F2236/045

27. 发明公开

EP0554362A1 AIR SPRING WITH QUICK RELEASE 失效
标题翻译： FAST压力减缓空气弹簧。
公开(公告)号：EP0554362A1
公开(公告)日：1993-08-11
申请号：EP91920132.0
申请日：1991-09-30
申请人： BELOIT TECHNOLOGIES, INC.
发明人： JOHNSON, Noel, R.
IPC分类号： B60G17 , D21F3 , F16F9 , F16F15
CPC分类号： B60G17/052 , D21F3/06 , F16F9/049 , F16F15/0275
摘要： Un appareil de ressort pneumatique (10) présente une caractéristique de libération de pression rapide et d'évacuation d'air rapide grâce à un orifice d'évacuation de diamètre relativement important (44) ménagé dans un ressort pneumatique principal plus grand (12) qui est commandé par l'action d'un plus petit ressort pneumatique secondaire (14). Le ressort pneumatique secondaire (14) est pourvu d'une soupape d'arrêt (56) qui régule l'écoulement d'air dans le ressort pneumatique principal (12). L'évacuation rapide de l'air dans le ressort pneumatique principal (12) est effectuée lorsqu'on déclenche la libération de la pression d'air dans le ressort pneumatique secondaire (14) à travers une multiplicité d'orifices (86) dans un tube de guidage central (52), ce qui provoque l'affaissemement du plus petit ressort pneumatique et l'enlèvement d'une plaque de soupape (48) d'une ouverture d'évacuation d'un diamètre relativement important se trouvant dans le ressort pneumatique principal (12). Une fois que l'orifice d'évacuation (44) du ressort principal (12) a été ouvert, la pression d'air dans le ressort principal (12) est immédiatement réduite, et la charge agissant sur le plus grand ressort provoque une expulsion rapide du volume d'air qui s'y trouve de façon à lui permettre de se dégonfler et de s'affaisser à une hauteur minimale prédéterminée.

28. 发明公开

EP0414387A1 Ski device 失效
标题翻译： SKI-Vorrichtung。
公开(公告)号：EP0414387A1
公开(公告)日：1991-02-27
申请号：EP90308214.7
申请日：1990-07-26
申请人： Juhasz, Paul Robert
发明人： Juhasz, Paul Robert
IPC分类号： A63C5/075
CPC分类号： F16F15/0275 , A63C5/075 , F16F9/096 , F16F15/02 , F16F15/023
摘要： A force modulating device, for use as a force modulating member (610) of a ski device, in which a first member (200) thereof is movably interconnected with a body member (100) of the force modulating device and disposed therebetween is fluid pressure means for floating the first member with respect to the body member and controlling the relative movement between such two members. The controlled movement of the first member relative to the body member provided by the fluid pressure means (300) causes impact forces that are imparted to a ski device incorporating the present invention to be so modulated as to allow for good ski performance in terms of spring-action, smooth ride, handling, and service life. The fluid pressure medium of the fluid pressure means can be a gas, a liquid or a combination gas and liquid. The fluid pressure means can be provided with means for communicating with a fluid pressure supply source, permitting external manual or automatic adjustments or changes to the fluid pressure means so as to optimize the force modulating capability of the ski device for a particular user load and use.
摘要翻译：一种力调制装置，用作滑雪装置的力调节构件（610），其中第一构件（200）与力调节装置的主体构件（100）可移动地相互连接并设置在其间，是流体压力用于使第一构件相对于主体构件浮动并控制这两个构件之间的相对运动的装置。第一构件相对于由流体压力装置（300）提供的主体构件的受控运动使得施加到包括本发明的滑雪装置的冲击力被调节以允许在弹簧方面具有良好的滑雪性能一致，平稳的乘坐，操作和使用寿命。流体压力装置的流体压力介质可以是气体，液体或组合气体和液体。流体压力装置可以设置有用于与流体压力供应源通信的装置，允许对流体压力装置的外部手动或自动调节或改变，以便优化用于特定用户负载和使用的滑雪装置的力调节能力。

29. 发明公开

EP0410647A1 Method of controlling positions and vibrations and active vibration control apparatus therefor 失效
标题翻译： Verfahren zur Positions- und Vibrationssteuerung und eine aktive Vibrationssteuervorrichtung。
公开(公告)号：EP0410647A1
公开(公告)日：1991-01-30
申请号：EP90307912.7
申请日：1990-07-19
申请人： TOKKYO KIKI KABUSHIKI KAISHA
发明人： Yasuda, Masashi, C/o Tokkyo Kiki Kabushiki Kaisha , Itojima, Fumiaki, C/o Tokkyo Kiki Kabushiki Kaisha
IPC分类号： G05D19/00 , F16F9/50
CPC分类号： F16F15/0275 , G05D19/02
摘要： A method of controlling level lateral positions of a vibration control base (2) suspended by air springs (3e) to be returned to its standard level and lateral positions and to keep their positions by utilizing analog integration or a feedback compensation in combination thereto so as to control an air pressure or air pressures of air springs for driving the vibration control base and also controlling vertical and horizontal vibrations of the vibration control base (2) and an apparatus for carrying out the said method.
摘要翻译：一种控制由空气弹簧（3e）悬挂的振动控制基座（2）的水平横向位置的方法，以使其返回到其标准水平和横向位置，并通过利用模拟积分或反馈补偿来组合它们来保持其位置，以便以控制用于驱动振动控制基座的空气弹簧的空气压力或空气压力，并且还控制振动控制基座（2）的垂直和水平振动以及用于执行所述方法的装置。

30. 发明授权

EP0251942B1 Suspension pneumatique des vibrotasseuses utilisées en particulier pour la production de blocs carbonés 失效
标题翻译：用于生产碳块的振动压力气动悬挂
公开(公告)号：EP0251942B1
公开(公告)日：1990-08-08
申请号：EP87420152.8
申请日：1987-06-12
申请人： ALUMINIUM PECHINEY
发明人： Vanvoren, Claude , Coste, Benoît
IPC分类号： B30B11/02 , F16F15/02
CPC分类号： B30B11/022 , F16F15/0275

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