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21. 发明公开

EP1002621A1 Vorrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung mit zwei translatorischen Freiheitsgraden 有权
公开(公告)号：EP1002621A1
公开(公告)日：2000-05-24
申请号：EP98811153.0
申请日：1998-11-20
申请人： Mikron SA Agno
发明人： Geiger, Michael, Dipl.-Ing. , Treib, Thomas, Dr. , Meier, Peter, Dipl.-Ing.
IPC分类号： B23Q1/62
CPC分类号： B23Q1/4861 , B23Q1/623 , Y10T29/5114 , Y10T82/16524 , Y10T409/305824 , Y10T409/307672 , Y10T409/308232 , Y10T409/308512
摘要： Eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung mit zwei translatorischen Freiheitsgraden zwischen einer Spindeleinrichtung (95, 195, 295, 395), deren Spindel ein erstes Teil eines aus einem Werkstück und einem Werkzeug gebildeten ersten Teilepaares trägt, und einem Halteorgan zum Halten des zweiten Teiles des ersten Teilepaares, weist ein erstes Basisteil auf, an welchem ein erstes Teil eines aus der Spindeleinrichtung (95, 195, 295, 395) und dem Halteorgan gebildeten zweiten Teilepaares angebracht ist. Die Bewegungsvorrichtung umfasst weiter ein zweites Basisteil, wobei wenigstens eines der beiden Basisteile bezüglich des anderen entlang einer Linearführung mit einem ersten translatorischen Freiheitsgrad geradlinig bewegbar ist. Am zweiten Basisteil ist ein Träger zum Tragen des zweiten Teils des zweiten Teilepaares mittels eines Schwenkgelenks um eine rechtwinklig zur Linearführung angeordnete Schwenkachse schwenkbar derart angelenkt, dass das zweite Teil des zweiten Teilepaares durch eine Betätigung des Schwenkgelenks mit einem zweiten translatorischen Freiheitsgrad auf einer Kreisbahn bewegbar ist. Durch das steif ausgebildete Schwenkgelenk werden die bei der Bearbeitung des Werkstücks mit dem Werkzeug entstehenden Reaktionskräfte und Momente aufgenommen, was es ermöglicht, Antriebsmittel zum Betätigen des Schwenkgelenks leicht auszubilden. Die erfindungsgemässe Bewegungsvorrichtung ist vergleichsweise einfach zu fertigen, dynamisch und weist zudem ein grosses Verhältnis von nutzbarem Arbeitsraum zum benötigten Bauraum auf.
摘要翻译：具有两个平移自由度的相对运动由主轴安装件（95）产生，该主轴安装件（95）主轴支撑包括工件（15）的第一部件对的第一部分和工具，以及保持部件（12），用于持有第一部分对的第二部分。第一基本部件（10）设置有由主轴装置和保持部件形成的第二部件对的第一部分。还提供了第二基本部件（20），并且两个基本部件中的至少一个可沿着线性引导件（30）以相对于另一个的直线移动，具有第一平移自由度。

22. 发明公开

EP0890136A1 TWO-DIMENSIONALLY BALANCED POSITIONING DEVICE WITH TWO OBJECT HOLDERS, AND LITHOGRAPHIC DEVICE PROVIDED WITH SUCH A POSITIONING DEVICE 失效
标题翻译：双向平衡定位器和光刻设备具有这样的定位装置
公开(公告)号：EP0890136A1
公开(公告)日：1999-01-13
申请号：EP97941149.0
申请日：1997-10-03
申请人： Koninklijke Philips Electronics N.V.
发明人： LOOPSTRA, Erik, Roelof , BONNEMA, Gerrit, Maarten , VAN DER SCHOOT, Harmen, Klaas , VELDHUIS, Gerjan, Peter , TER BEEK, Paulus, Martinus, Henricus
IPC分类号： B23Q1 , B23Q11 , G03F7 , H01L21
CPC分类号： G03F7/70733 , B23Q1/621 , B23Q1/623 , B23Q11/0032 , G03F7/70716 , G03F7/70741 , G03F7/7075 , G03F7/70766 , G03F7/709 , H01L21/682 , Y10T74/20213
摘要： A positioning device (3, 97, 179) with a first displacement unit (25, 189) for displacing a first object holder (11, 181) and a second displacement unit (27, 191) for displacing a second object holder (13, 183). The object holders can be displaced by the positoning device alternately from a measuring position into an operational position and can be displaced by the respective displacement units independently of one another in the measuring position and in the operational position. The displacement units are provided with force actuators which each have a first part (47, 49; 117, 119; 215, 217) which is coupled to the relevant object holder and which is displaceable under the influence of a driving force relative to a second part (59, 61; 133, 135, 137, 139; 219, 221) which is fastened to a balancing unit (69, 149, 205) which is common to the two displacement units. The balancing unit is displaceably guided relative to a base (81, 209), so that reaction forces of the displacement units are converted into displacements of the balancing unit relative to the base, and mechanical vibrations in the balancing unit and the base are prevented. The use of the force actuators prevents the displacements of the balancing unit from disturbing the positions of the object holders relative to the base. The positioning device is further provided with a control unit (83, 169, 237) by means of which at least the parts (47, 49; 121, 123; 219, 221) directed parallel to an X-direction of the X-actuators (39, 41; 105, 107; 211, 213) coupled to the object holders are held in positions parallel to the X-direction. It is also prevented in this manner that positions of the object holders relative to the base are interfered with by rotations of the balancing unit caused by the reaction forces of the displacement units. The positioning device can be used in a lithographic device for the displacement of a semiconductor substrate relative to an exposure system of the lithographic device and for the displacement of a mask relative to the exposure system.

23. 发明授权

EP2986415B1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEARBEITEN, INSBESONDERE SCHLEIFEN, EINES OPTISCHEN WERKSTÜCKS 有权
标题翻译：设备和方法进行处理，包括研磨，光学工件
公开(公告)号：EP2986415B1
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：EP14723700.2
申请日：2014-04-08
申请人： Schneider GmbH & Co. KG
发明人： SCHNEIDER, Gunter
IPC分类号： B24B13/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B23Q1/01 , B23Q1/48 , B23Q1/54 , B23Q1/62
CPC分类号： B24B13/0037 , B23Q1/623 , B23Q39/027 , B24B41/02 , B24B41/06

24. 发明公开

EP3064297A1 EQUIPEMENT À ACCESSOIRE AMOVIBLE ET ENSEMBLE POUR TOUR D'USINAGE, ET TOUR D'USINAGE À COMMANDE NUMÉRIQUE 审中-实审
标题翻译：随着对普通车床，以及相关的数控车床可拆卸配件及设备器材
公开(公告)号：EP3064297A1
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：EP15157458.9
申请日：2015-03-03
申请人： Tornos SA
发明人： Theurillat, Marc
IPC分类号： B23B3/06 , B23B39/16 , B23Q39/02 , B23Q1/52 , B23Q1/62 , B23Q37/00
CPC分类号： B23B11/00 , B23B3/065 , B23B39/162 , B23B43/00 , B23Q1/623 , B23Q39/022
摘要： Un équipement pour tour d'usinage à commande numérique comporte un chariot mobile (4), un système de support d'outil à entraînement intégré (5) monté à pivotement sur ce chariot mobile (4) de manière à pouvoir pivoter autour d'un axe de pivotement (B), ainsi qu'un dispositif d'actionnement du système de support d'outil à entraînement intégré (5) par rapport au chariot mobile (4). Le système de support d'outil à entraînement intégré (5) comporte au moins un emplacement de montage (105) pour recevoir de manière amovible un accessoire amovible (120) de support et d'entraînement d'un outil.
摘要翻译：用于加工车床具有数字控制包括可移动滑架，其被安装以便在该可动滑架枢转，以便能够绕枢转轴线，以及用于将设备与集成驱动的工具支撑系统中的所有的设备驱动与集成驱动的工具支持系统相对于活动托架。集成驱动的工具支持系统包括至少一个安装位置可拆卸地接收可拆卸附件支持和驱动工具。

25. 发明公开

EP2986415A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEARBEITEN, INSBESONDERE SCHLEIFEN, EINES OPTISCHEN WERKSTÜCKS 有权
标题翻译：设备和方法进行处理，包括研磨，光学工件
公开(公告)号：EP2986415A1
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：EP14723700.2
申请日：2014-04-08
申请人： Schneider GmbH & Co. KG
发明人： SCHNEIDER, Gunter
IPC分类号： B24B13/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B23Q1/01 , B23Q1/48 , B23Q1/54 , B23Q1/62
CPC分类号： B24B13/0037 , B23Q1/623 , B23Q39/027 , B24B41/02 , B24B41/06
摘要： The invention relates to a device and a method for processing, in particular grinding, a workpiece by means of a plurality of tools. In order to enable a compact design and universal processing, tool drives are arranged on a frame in stationary manner and allow both spherical and aspherical processing of the workpiece by means of different tools. The workpiece can be moved in a vertical plane by means of a crossbeam retained on the frame and a carriage guided on the crossbeam and can additionally be pivoted.

26. 发明授权

EP1863608B1 Metal working tool support for use with a clamshell lathe 有权
标题翻译：用于与安装在管的外表面上的便携式车床使用金属加工工具支承待加工
公开(公告)号：EP1863608B1
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：EP05802075.1
申请日：2005-09-29
申请人： Hydratight Operations, Inc.
发明人： PLACE, Brent
IPC分类号： B23B3/26 , B23Q1/62
CPC分类号： B23Q1/623 , B23B3/26 , Y10T82/16967 , Y10T82/22

27. 发明授权

EP2480366B1 APPARATUS FOR CHAMFERING AND/OR DEBURRING OF GEARS 有权
标题翻译： DEVICE四舍五入和/或修边传输
公开(公告)号：EP2480366B1
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：EP10760202.1
申请日：2010-09-24
申请人： The Gleason Works
发明人： RONALD, Craig R. , METELSKY, Alan S.
IPC分类号： B23F19/10 , B23Q1/48 , B23Q1/62
CPC分类号： B23Q1/623 , B23F17/006 , B23F19/10 , B23Q1/488 , B23Q1/625 , Y10T29/5109 , Y10T82/2514 , Y10T409/101113 , Y10T409/105883 , Y10T409/10954 , Y10T409/305712 , Y10T409/305768 , Y10T409/309576

28. 发明授权

EP1883498B1 VORRICHTUNG ZUM BEARBEITEN UND VERMESSEN VON MIT SCHNEIDEZÄHNEN VERSEHENEN WERKSTÜCKEN 有权
标题翻译：设备处理和与切削齿提供的WORKPIECES测量
公开(公告)号：EP1883498B1
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：EP06742721.1
申请日：2006-04-27
申请人： VOLLMER WERKE Maschinenfabrik GmbH
发明人： BRAND, Stefan , BAILER, Peter , BAILER, Norbert , VEIL, Siegfried
IPC分类号： B23Q17/20 , B23H9/00
CPC分类号： B23Q1/623 , B23H7/12 , B23H9/08

29. 发明授权

EP1641091B1 Procède permettant d'usiner in situ la surface périphérique d'une pièce rotative, et dispositif permettant de mettre en oeuvre ledit procède 有权
标题翻译：一种用于在原位加工的旋转部分的表面和用于实施该方法的装置的方法
公开(公告)号：EP1641091B1
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：EP05356144.5
申请日：2005-09-02
申请人： Carbone Lorraine Applications Electriques
发明人： Ovaere, Peter , Becquet, Yvon
IPC分类号： H01R43/14 , B23Q1/62 , B23Q17/12
CPC分类号： B23B5/00 , B23Q1/623 , H01R43/14

30. 发明公开

EP1907168A1 WERZEUGMASCHINE MIT ZWEI SPANNSTELLEN AUF GETRENNTEN SCHLITTEN 审中-公开
标题翻译：带双芯片组对离SLEDGE WERZEUGMASCHINE
公开(公告)号：EP1907168A1
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：EP06721959.2
申请日：2006-05-15
申请人： StarragHeckert AG
发明人： BETSCHON, Lukas , GLAUS, Christian
IPC分类号： B23Q1/62 , B23Q39/02 , B23C3/18 , B23B23/00
CPC分类号： B23Q1/54 , B23C1/06 , B23C3/18 , B23C2215/44 , B23Q1/623 , Y10T29/5114 , Y10T409/303808 , Y10T409/305656 , Y10T409/307672
摘要： The invention relates to a machine tool for milling workpieces, provided with at least two linear displacement axes and at least one pivot axis for carrying out relative movements between a tool and the corresponding workpiece with a workpiece mounting in which a workpiece may be clamped between two clamping points, whereby one of the linear displacement axes is provided as workpiece axis of the workpiece mounting, by means of which the workpiece may be linearly driven, which is furthermore provided with a tool holder for mounting a cutting machining tool, driven in rotation about a tool axis by means of a tool drive. The same conditions are achieved for workpieces of greatly different length for a highly accurate production, whereby two physically separate carriages (27, 28) for the workpiece mounting are provided, on each of which one of the clamping points (16, 17) is arranged and which both may be linearly driven along the same workpiece axis independently of each other.

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