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    • 12. 发明公开
    • REFLECTION TYPE TERAHERTZ SPECTROMETER AND SPECTROMETRIC METHOD
    • 的反射式和程序光谱太赫分光计
    • EP1630542A4
    • 2007-04-11
    • EP04734599
    • 2004-05-24
    • AISIN SEIKI
    • OHTAKE HIDEYUKIYOSHIDA MAKOTOTANAKA KOICHIRONAGAI MASAYA
    • G01J3/42G01J3/447G01N21/27G01N21/35G01N21/3586G01N21/552
    • G01N21/3581G01N21/552
    • A reflection type terahertz spectrometer characterized by comprising an incident-side optical path (1) through which terahertz waves are propagated, irradiating means (2) for irradiating a measuring subject article with the terahertz waves propagated through the incident-side optical path (1), an outgoing-side optical path (3) through which terahertz waves sent from the irradiating means (2) are propagated, and a detector (4) for receiving and detecting the terahertz waves propagated through the outgoing-side optical path (3), wherein the irradiating means (2) has at least one planar interface (21) and a refractive index greater than that of a peripheral region contacting the planar interface (21) and is disposed between the incident-side optical path (1) and the outgoing-side optical path (3) such that the terahertz waves propagated through the incident-side optical path (1) to be incident on the planar interface (21) are internally totally reflected thereby, and wherein the measuring subject article is disposed in the peripheral region contacting the planar interface (21) of the irradiating means (2), and the measuring subject article is irradiated with evanescent waves radiated from the planar interface (21) to the peripheral region contacting the planar interface (21) when the terahertz waves are subjected to the internal total reflection at the planar interface (21), thereby performing spectrometry.
    • 14. 发明公开
    • Verfahren und Vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht
    • 方法和偏振相关装置和一个表面或层的空间分辨的调查
    • EP1507137A1
    • 2005-02-16
    • EP04012448.9
    • 2004-05-26
    • SICK AG
    • Blöhbaum, Frank
    • G01N21/21G01J4/04G01J3/447G02B5/30
    • G01N21/211G01J4/04G02B5/3058
    • Bei einem Verfahren zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht wird polarisierte optische Strahlung als Beleuchtungsstrahlung auf die Oberfläche bzw. Schicht gestrahlt und es werden in Abhängigkeit von dem Ort auf der Oberfläche bzw. in der Schicht im Wesentlichen gleichzeitig wenigstens eine Polarisationseigenschaft der von der Oberfläche als Messstrahlung zurückgeworfenen bzw. von der Schicht als Messstrahlung abgegebenen optischen Strahlung erfasst. Eine Vorrichtung (10) zur Untersuchung einer Oberfläche (12) oder einer Schicht umfasst eine Quelle (16) für polarisierte optische Strahlung zur Abgabe von Beleuchtungsstrahlung (18) auf die Oberfläche (12) oder Schicht und eine Detektionseinrichtung (22,24,28,30) zur ortsaufgelösten Erfassung wenigstens einer Polarisationseigenschaft der von der Oberfläche (12) als Messstrahlung (36) zurückgeworfenen bzw. von der Schicht als Messstrahlung (36) abgegebenen optischen Strahlung.
      Die Detektions einricht (22,24,28,30) umfasst eine Kamera (22), eine Auswerteeinrichtung (30), ein Feld (24) von Photodetektionselementen und eine Polarisations filter anordnung (28). Die Anordnung (28) umfasst matrix förmig angeordnete Bereiche mit zueinander verschiedenen Polarisationsrichtungen.
    • 用于检查表面(12)或其中偏振视觉辐射(18)的层的方法,用来照亮来自表面上的位置(38)的表面或层和测量辐射(36)反射或散射的始发被测量以确定矿表面 偏振特性。 因此独立权利要求中包括了以下内容: - 用于检查表面和偏振特性(a)中的装置; (B),用于测量的光辐射与光电检测器元件在其上的偏振滤光器,在一个金属的形式特别喜欢的一个场传感器被施加。
    • 18. 发明公开
    • Polarisationsinterferometer
    • Polarisationsinterferometer。
    • EP0605391A2
    • 1994-07-06
    • EP94101353.4
    • 1990-01-15
    • BÜHLER AGBran + Lübbe GmbH
    • Wagner, HeinzLabhart, MartinGlaus, Ulrich
    • G01J3/453G01J3/447
    • G01J3/447G01B2290/70G01J3/4537G01J2009/0261
    • Das Polarisationsinterferometer weist eine Lichtquelle (1), einen Kollimator (2), ein erstes polarisierendes Element (3), ein System von doppelbrechenden Elementen (4,5,6) und ein zweites polarisierendes Element (7) auf, welches das aus dem doppelbrechenden Element (4,5,6) austretende Licht polarisiert und einem Photonendetektor (8) zuführt.
      Das doppelbrechende Element (4,5,6) besteht dabei aus zwei, längs entgegengesetzter Seitenflächen gegeneinander verschiebbar angeordneten, sich zu einem Quader ergänzenden, optischen Keile (5,6) und einer als Kompensator dienenden doppelbrechenden planparallelen Platte (4).
      Die optische Achse des Kompensators (4) ist gegenüber derjenigen der beiden Keile (5,6) in der Ebene senkrecht zum Lichtstrahl um einen endlichen Winkel verdreht, wobei die optischen Achsen der beiden Keile (5,6) übereinstimmen.
      Die optischen Achsen der beiden Polarisatoren (3,7) stehen senkrecht oder parallel zueinander und sind nicht parallel zu den Achsen der beiden Keile (5,6) des doppelbrechenden Elementes (4,5,6) ausgerichtet.
      Ein monochromatischer Lichtstrahl (9) wird in den von der Lichtquelle (1) erzeugten parallen Lichtstrahl eingekoppelt und nach Durchquerung mindestens des doppelbrechenden Elementes (4,5,6) wieder ausgekoppelt und auf einen Photonendetektor (13) geführt.
    • 偏振干涉仪具有光源(1),准直器(2),第一偏振元件(3),双折射(双折射)元件(4,5,6)和第二偏振元件(7)的系统, ,其将从双折射元件(4,5,6)出射的光偏振,并将其提供给光子检测器(8)。 双折射元件(4,5,6)由两个光楔(5,6)组成,它们的纵向相对的侧表面相对于彼此可移位并组成平行六面体,并且具有双折射平面平行板 (4)作为补偿者。 补偿器(4)的光轴相对于垂直于光束的平面中的两个楔形物(5,6)的轴线有限角度扭转,两个楔形物(5,6)的光轴 恰逢。 两个偏振器(3,7)的光轴彼此垂直或平行,并且不平行于双折射元件(4,5,6)的两个楔形物(5,6)的轴线对准。 单色光束(9)耦合到由光源(1)产生的平行光束中,并且在至少穿过双折射元件(4,5,6)之后,再次耦合并被引导到光子检测器 (13)。