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1. 发明公开

EP3290155A1 VERFAHREN ZUM MESSEN DER DICKE VON FLACHEN WERKSTÜCKEN 有权
标题翻译：测量平坦工件厚度的方法
公开(公告)号：EP3290155A1
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：EP17186418.4
申请日：2017-08-16
申请人： Lapmaster Wolters GmbH
发明人： Kanzow, Jörn , Werth, Sascha
IPC分类号： B24B37/013 , B24B37/08 , B24B37/20 , B24B49/12
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Dicke von in einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine bearbeiteten flachen Werkstücken, umfassend die Schritte:
- die Werkstücke werden in einem zwischen einer oberen Arbeitsscheibe und einer unteren Arbeitsscheibe der Doppelseitenbearbeitungsmaschine gebildeten Arbeitsspalt unter Relativdrehung der Arbeitsscheiben zueinander materialabtragend bearbeitet,
- während der Bearbeitung der Werkstücke wird die Werkstückdicke mittels mindestens einer an der oberen Arbeitsscheibe und/oder der unteren Arbeitsscheibe angeordneten optischen Dickenmesseinrichtung optisch gemessen, wobei die mindestens eine Dickenmesseinrichtung die Werkstückdicke der in dem Arbeitsspalt befindlichen Werkstücke durch mindestens eine Durchgangsöffnung in der oberen Arbeitsscheibe und/oder der unteren Arbeitsscheibe hindurch misst,
- die Messergebnisse der mindestens einen Dickenmesseinrichtung werden einer Steuereinrichtung der Doppelseitenbearbeitungsmaschine zugeführt,
- bei Erreichen einer zuvor festgelegten Zieldicke der Werkstücke beendet die Steuereinrichtung den Bearbeitungsvorgang der Werkstücke.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量在一个双面加工机扁平工件的机加工的厚度，包括以下步骤： - 所述工件通过材料去除通过在上部工作盘和双面加工机的工作间隙的下工作盘，之间形成的空间内的工作盘的相对旋转机械加工成彼此 - 在工件厚度设置在上工作盘上的工件，和/或通过至少一个光学厚度测量装置的装置下工作盘的加工进行光学测定，由此所述至少一个厚度测量设备，位于所述工作间隙通过在上工作盘的至少一个通道开口工件的工件厚度，和/或至少一个厚度测量装置的测量结果被传送到双面加工机的控制装置在达到预定的工件厚度时，控制装置终止工件的加工操作。

2. 发明公开

EP4289555A1 DOPPEL- ODER EINSEITEN-BEARBEITUNGSMASCHINE SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER DOPPEL- ODER EINSEITEN-BEARBEITUNGSMASCHINE 审中-公开
公开(公告)号：EP4289555A1
公开(公告)日：2023-12-13
申请号：EP23168535.5
申请日：2023-04-18
申请人： Lapmaster Wolters GmbH
发明人： Werth, Sascha , Ravlic, Robert , Mantel, Matthias , Rachor, Kevin , Mielke, Philipp
IPC分类号： B24B37/015 , B24B37/08 , B24B37/10 , B24B49/02 , B24B49/14 , B24B49/16
摘要： Die Erfindung betrifft eine Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine mit einer vorzugsweise ringförmigen ersten Arbeitsscheibe und einem vorzugsweise ringförmigen Gegenlagerelement, wobei die erste Arbeitsscheibe und das Gegenlagerelement mittels eines Drehantriebs relativ zueinander drehend antreibbar sind, und wobei zwischen der ersten Arbeitsscheibe und dem Gegenlagerelement ein vorzugsweise ringförmiger Arbeitsspalt zum doppelseitigen oder einseitigen Bearbeiten flacher Werkstücke, vorzugsweise Wafer, gebildet ist, wobei die Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine eine Mehrzahl von Sensoren umfasst, die während des Betriebs der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine Messdaten zu Maschinen- und/oder Bearbeitungsparametern der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine erfassen, wobei eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die im Betrieb der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine die durch die Sensoren erfassten Messdaten erhält, wobei die Steuereinrichtung ein künstliches neuronales Netz umfasst, das dazu ausgebildet ist, aus den Messdaten einen Zustandsvektor der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine zu erstellen und diesen mit mindestens einem Soll-Zustandsvektor zu vergleichen. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Betreiben einer Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine.

3. 发明授权

EP3290155B1 VERFAHREN ZUM MESSEN DER DICKE VON FLACHEN WERKSTÜCKEN 有权
公开(公告)号：EP3290155B1
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：EP17186418.4
申请日：2017-08-16
申请人： Lapmaster Wolters GmbH
发明人： Kanzow, Jörn , Werth, Sascha
IPC分类号： B24B37/013 , B24B49/12 , B24B37/20 , B24B37/08 , B24B49/04

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