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    • 8. 发明授权
    • 碱性显影性树脂组合物
    • CN1896871B
    • 2013-06-12
    • CN200610079827.1
    • 2006-05-10
    • 株式会社艾迪科
    • 石黑智仁清水正晶神田哲
    • G03F7/004G03F7/027
    • 本发明提供提供一种碱性显影性树脂组合物,该组合物可提供感度、析像度、透明性、密合性、耐碱性等优良,且能够高精度地形成细微图案的碱性显影性感光性树脂组合物。本发明的碱性显影性树脂组合物,其含有使多元酸酐(D)与具有下述结构的环氧加成物进行酯化得到的反应产物,所述结构是使不饱和一元酸(B)以及使苯酚或烷基苯酚化合物与环状萜烯化合物加成而得到的含环状萜烯骨架的苯酚化合物(C—1)和/或脂肪族烷基苯酚化合物(C—2)与多官能环氧树脂(A)进行加成而得到的;所述环氧加成物具有按照相对于1个所述多官能环氧树脂(A)的环氧基,所述不饱和一元酸(B)的羧基为0.1~0.9个、所述含环状萜烯骨架的苯酚化合物(C—1)和/或所述脂肪族烷基苯酚化合物(C—2)的酚性羟基为0.1~0.9个、并且所述不饱和一元酸(B)以及所述含环状萜烯骨架的苯酚化合物(C—1)和/或所述脂肪族烷基苯酚化合物(C—2)的和为0.1~1.0个的比例进行加成而使一个分子中具有至少1个烯属不饱和基的结构;所述酯化是按照相对于1个所述环氧加成物的羟基,所述多元酸酐(D)的酸酐结构为0.2~0.8个的比例来进行。