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    • 56. 发明公开
    • 具有第一基板、第二基板和将基板彼此隔开的间隔件的半导体模块
    • CN113826198A
    • 2021-12-21
    • CN202080034167.3
    • 2020-05-06
    • 丹佛斯硅动力有限责任公司
    • 马丁·贝克尔安德烈·巴斯托斯阿比贝罗纳德·艾泽勒亚采克·鲁茨基弗兰克·奥斯特瓦尔德戴维·本宁
    • H01L23/488H01L21/60
    • 一种半导体模块,包括第一基板(10)、第二基板(101)和将基板(10,10')彼此隔开的间隔件(40,40'),其中,间隔件(40,40')由至少一个弹性成形金属体(40,40')形成。半导体(20)可以设置在第一基板(10)与第二基板(10')之间,其中,半导体(20)牢固地接合到第一基板(10)或第二基板(10')中的一个基板,并且成形金属体(40,40')可以将半导体(20)与基板(10,10')中的另一个基板电连接。第一基板(10)和/或第二基板(10')可以是DCB基板或者可以包括引线框架。成形金属体(40,40')可以被制成有弹性的,使得在第一方向上施加压力引起在第二方向上的扩张,其中,多个成形金属体(40,40')可以相对于彼此在不同方向上定向。成形金属体(40,40')可以在基板(10,10')之间的平面中以平面方式设置在半导体(20)上。成形金属体(40,40')可以被弯曲、折叠和/或构造成截面是波浪形的,并且可以特别横向于弯曲的、折叠的或波浪形的构造被开狭槽。成形金属体(40,40')可以是膜。间隔件可以由至少两个弹性成形金属体(40,40')形成,成形金属体(40,40')设置在基板(10,10')之间的平面中,并且横向于此平面彼此连接。半导体(20)与第一基板(10)或第二基板(10')中的一个基板之间的连接以及(一个或多个)成形金属体(40,40')与半导体(20)和另一个基板(10,10')之间的连接可以通过烧结或纳米线进行,或者一个成形金属体(40,40')可以通过烧结连接到半导体(20)而另一个成形金属体(40,40')可以通过纳米线连接到另一个基板(10,10')。导电的弹性间隔件(40,40')可以经由弹性补偿运动破坏氧化表面,从而提供两个基板(10,10')之间的电连接,特别是当组装配备有半导体(20)的第二(上)基板(101)和第一(下)基板(10)时,间隔件(40,40')的波形可以在竖直方向和侧向方向上均变形,其中,然后“波峰”的尖端滑过要接触的表面并且执行清洁作用,从而使得可以破坏铝半导体金属化的氧化层,从而得到与半导体(20)的高导电性和导热性连接,而半导体不一定必须涂覆有贵金属表面。
    • 59. 发明授权
    • 具有借助于有较高密度和较低密度的交替区域的烧结层结合在一起的两个部分的电子夹层结构以及对应的制造方法
    • CN107112304B
    • 2021-07-27
    • CN201580072487.7
    • 2015-10-30
    • 丹佛斯硅动力有限责任公司
    • 马汀·贝克尔罗纳德·艾西尔加赛克·鲁茨基弗兰克·奥斯特瓦尔德
    • H01L23/488H01L21/60
    • 描述了至少具有第一待结合部分(1)和第二待结合部分(2)的电子夹层结构,该第一待结合部分和该第二待结合部分借助于烧结层(3)烧结在一起。烧结层(3)形成为基本上不间断的连接层,该连接层的密度变化的方式使得至少一个较高密度的区域(4a)和至少一个较低密度的区域(4b)彼此交替。还描述了用于形成电子夹层结构的烧结层(3)的方法,其中首先,将烧结材料层(3)基本上连续地施加到第二待结合部分(2)上作为连接层(3),随后使这个烧结材料层(3)干燥,并且最终,通过将具有该烧结层(3)的该第二待结合部分(2)烧结在第一待结合部分(1)上来产生该连接层(3)的较高密度(4a)和较低密度(4b)的交替区域。烧结材料可以呈点或条纹来施加。该第一待结合部分(1)和该第二待结合部分(2)的有待结合表面可以被安排成平面平行,在这种情况下,烧结层(3)形成为其表面有规律地不均匀,即,它尤其具有呈限定图案的较大厚度的区域(3a)和较小厚度的区域(3b),这具有的效果是,在烧结工艺之后,在较厚的烧结糊浆施加区域(3a)中存在较高密度的区域(4a)并且在较薄的烧结糊浆施加区域(3b)中存在较低密度的区域(4b)。替代地,该第一待结合部分(1)和该第二待结合部分(2)的有待结合表面可以至少在某些区域中没有被安排成平面平行,其中,通过最初完全均匀的烧结糊浆施加,在待结合部分(1,2)烧结之后具有较小距离的区域(4a)中获得较薄的烧结层,而在距离较大的区域(4b)中形成较厚的烧结层,这最终具有的效果是,与在待结合部分(1,2)之间的距离较大的区域(4b)中相比,在这两个待结合部分(1,2)距彼此有较小距离的区域(4a)中形成较大的密度。尤其在用于功率电子器件的部件中,即便对于具有不同热膨胀系数的待结合部分(1,2),也实现了高寿命的通过烧结连接的电子夹层结构。