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1. 发明公开

CN1620752A 薄膜体声波谐振器结构及其制造方法失效
公开(公告)号：CN1620752A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN02828164.0
申请日：2002-12-17
申请人：英特尔公司
发明人： Q·马 , L·-P·王 , V·劳
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/15
CPC分类号： H03H9/172 , H03H3/02 , H03H9/586 , Y10T29/42
摘要：一种薄膜体声波谐振器在具有主表面的衬底上形成。该薄膜体声波谐振器包括细长叠层。该细长叠层包括一个位于淀积在压电材料层的第一表面上的第一导电层和位于淀积在压电材料层的第二表面上的第二导电层之间的压电材料层。该细长叠层相对于衬底的主表面大致垂直。第一和第二导电层大体上同时在一个加工步骤中放置在压电材料层上。衬底的主表面位于水平面上，薄膜体声波谐振器的叠层位于大致垂直的平面上。所形成的谐振器结构可用作谐振器或滤波器。

2. 发明授权

CN1620752B 薄膜体声波谐振器结构及其制造方法失效
公开(公告)号：CN1620752B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN02828164.0
申请日：2002-12-17
申请人：英特尔公司
发明人： Q·马 , L·-P·王 , V·劳
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/15
CPC分类号： H03H9/172 , H03H3/02 , H03H9/586 , Y10T29/42
摘要：一种薄膜体声波谐振器在具有主表面的衬底上形成。该薄膜体声波谐振器包括细长叠层。该细长叠层包括一个位于淀积在压电材料层的第一表面上的第一导电层和位于淀积在压电材料层的第二表面上的第二导电层之间的压电材料层。该细长叠层相对于衬底的主表面大致垂直。第一和第二导电层大体上同时在一个加工步骤中放置在压电材料层上。衬底的主表面位于水平面上，薄膜体声波谐振器的叠层位于大致垂直的平面上。所形成的谐振器结构可用作谐振器或滤波器。

3. 发明公开

CN107919863A 包括谐振器的滤波器系统有权
公开(公告)号：CN107919863A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201710826616.8
申请日：2017-09-13
申请人：三星电子株式会社
发明人：姜诚赞 , 金载兴 , 朴相河 , 尹容燮 , 李忠镐
IPC分类号： H03H9/58 , H03H9/64
CPC分类号： H03H9/54 , G01H11/08 , H03H9/13 , H03H9/24 , H04R17/02 , H04R17/10 , H04R25/00 , H04R2499/13 , H04R2499/15 , H03H9/586 , H03H9/6416 , H03H9/6433
摘要：公开了一种滤波器系统，该滤波器系统包括：第一谐振器，具有第一谐振频率；以及第二谐振器，具有与第一谐振频率不同的第二谐振频率并且电连接到第一谐振器。第一谐振器相对于频率的第一响应特性和第二谐振器相对于所述频率的第二响应特性包括第一部分和第二部分，在第一部分中第一谐振器的第一相位等于第二谐振器的第二相位，在第二部分中第一相位与第二相位相差180度。第一谐振器的第一电极与第二谐振器的第二电极反相连接。

4. 发明公开

CN105871351A 一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器失效
公开(公告)号：CN105871351A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610168651.0
申请日：2016-03-22
申请人：电子科技大学
发明人：鲍景富 , 李昕熠 , 秦风 , 张超 , 张翼 , 张亭
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/56 , H03H9/58
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/564 , H03H9/582 , H03H9/586
摘要：本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，具体提供一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、四条支撑梁、四个支撑台及基底，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区和输出端P型半导体区构成，所述输入端P型半导体区、输出端P型半导体区分别位于振动块的对角，连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型，振动块上覆盖压电层，输入、输出金属电极置于压电层上，所述压电层部分覆盖振动块，使得输入金属电极与输入端P型半导体区电气连通，输出金属电极与输出端P型半导体区电气连通。本发明结构能够大大减小了由传统支撑梁较大宽度带来的锚点损耗，有效的提高了谐振器的品质因数Q。

5. 发明公开

CN105871350A 一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器失效
公开(公告)号：CN105871350A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610168600.8
申请日：2016-03-22
申请人：电子科技大学
发明人：鲍景富 , 李昕熠 , 秦风 , 张超 , 张翼 , 张亭
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/56 , H03H9/58
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/564 , H03H9/582 , H03H9/586
摘要：本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，提供一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、输入端支撑梁、输出端支撑梁、输入端支撑台、输出端支撑台及基底，所述振动块通过支撑梁与支撑台电气连通，支撑台设置于基底上，支撑台上设置外接金属电极，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区构成，所述输入端P型半导体区位于振动块与输入端支撑梁连接处，连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型，压电层部分覆盖振动块，开设缺口以部分露出输入端P型半导体区，压电层上金属电极通过过渡金属电极连接输入端P型半导体区。本发明结构能够大大减小支撑梁宽度，有效的提高谐振器的品质因数Q。

6. 发明申请

US20060164186A1 Resonator and component with hermetic encapsulation 有权
标题翻译：谐振器和组件与气密封装
公开(公告)号：US20060164186A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：US10523872
申请日：2003-06-23
申请人： Ralph Stoemmer , Habbo Heinze
发明人： Ralph Stoemmer , Habbo Heinze
IPC分类号： H03H9/58 , H03H9/56
CPC分类号： H03H9/589 , H03H9/0542 , H03H9/1007 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H9/586
摘要： Proposed is a resonator which works with bulk acoustic waves and is based on a layer structure known in the art, which is arranged over a substrate. According to the invention, the total surface of the layer structure, including all resonators contained therein, is covered with a dielectric layer and a metal layer which together form an acoustic mirror, a low-k dielectric being used for the dielectric layer. The total-surface mirror offers broadband functionality over a suitable frequency range. The dielectric contained within the mirror acts as a sealing protective layer for the resonator or resonators.
摘要翻译：提出了一种与体声波一起工作并且基于本领域已知的层结构的谐振器，其被布置在衬底上。根据本发明，包括其中的所有谐振器的层结构的总表面被电介质层和金属层覆盖，该介电层和金属层一起形成声反射镜，低介电常数被用作电介质层。全表面镜在适当的频率范围内提供宽带功能。反射镜内的电介质用作谐振器或谐振器的密封保护层。

7. 发明申请

US20040027214A1 MEMS piezoelectric longitudinal mode resonator 有权
标题翻译： MEMS压电纵模谐振器
公开(公告)号：US20040027214A1
公开(公告)日：2004-02-12
申请号：US10631695
申请日：2003-07-31
申请人： The Charles Stark Draper Laboratory, Inc.
发明人： Amy E. Duwel , David J. Carter , Mark J. Mescher , Mathew Varghese , Bernard M. Antkowiak , Marc S. Weinberg
IPC分类号： H03H009/00
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/172 , H03H9/564 , H03H9/586 , H03H2003/027 , H03H2009/241 , H04R17/00 , Y10T29/42 , Y10T29/435
摘要： A longitudinal mode resonator that includes a substrate and a bar that is suspended relative to the substrate. The bar is suspended such that it is free to expand and contract longitudinally in response to the application of an electric field across its thickness. The expansion and contraction of the bar achieves resonance in response to the field having a frequency substantially equal to the fundamental frequency of the bar.
摘要翻译：一种纵模式谐振器，其包括相对于衬底悬挂的衬底和棒。该杆被悬挂使得响应于其整个厚度上的电场的应用而使它自由地纵向膨胀和收缩。棒的膨胀和收缩响应于具有与棒的基本频率基本相等的频率的场来实现谐振。

8. 发明授权

US5883575A RF-tags utilizing thin film bulk wave acoustic resonators 失效
标题翻译：使用薄膜体声波谐振器的RF标签
公开(公告)号：US5883575A
公开(公告)日：1999-03-16
申请号：US909677
申请日：1997-08-12
申请人： Richard C. Ruby , Philip Canfield
发明人： Richard C. Ruby , Philip Canfield
IPC分类号： G08B13/24 , H03H9/17 , H03H9/58 , G08B13/14
CPC分类号： H03H9/585 , G08B13/2414 , G08B13/2417 , G08B13/2422 , G08B13/2431 , G08B13/2437 , G08B13/2442 , H03H9/171 , H03H9/586
摘要： An RF tag having an antenna for receiving a RF signal having a frequency band between first and second frequencies and an acoustical resonator having a resonant frequency related to the first and second frequencies. The acoustical resonator has first and second electrodes that sandwich a layer of piezoelectric material. The antenna is connected to one of these electrodes. The resonator filters the signal received on the antenna. The filter can function either as a notch filter or as a bandpass filter. A resonator that acts as a bandpass filter includes a third electrode and a second layer piezoelectric material sandwiched between the second electrode and the third electrode. A frequency multiplier circuit may be incorporated in the RF tag to provide a response signal that occupies a frequency band at a frequency above the second frequency. In one embodiment of the present invention, multiple resonators having different resonant frequencies are utilized to generate a response code. In one embodiment of the present invention, the resonators are suspended on a support member over a substrate at locations on the support member which differ in thickness.
摘要翻译：一种具有用于接收具有第一和第二频率之间的频带的RF信号的天线的RF标签和具有与第一和第二频率相关的共振频率的声学谐振器。声谐振器具有夹着压电材料层的第一和第二电极。天线连接到这些电极之一。谐振器对天线上接收到的信号进行滤波。滤波器可以用作陷波滤波器或带通滤波器。用作带通滤波器的谐振器包括夹在第二电极和第三电极之间的第三电极和第二层压电材料。频率乘法器电路可并入RF标签中以提供以高于第二频率的频率占据频带的响应信号。在本发明的一个实施例中，利用具有不同谐振频率的多个谐振器来产生响应码。在本发明的一个实施例中，谐振器在不同厚度的支撑构件上的位置处悬挂在基板上的支撑构件上。

9. 发明授权

US12040781B2 Transversely-excited film bulk acoustic resonator package 有权
公开(公告)号：US12040781B2
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：US17497889
申请日：2021-10-09
申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.
发明人： Patrick Turner , Mike Eddy , Andrew Kay , Ventsislav Yantchev
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/02 , H03H9/10 , H03H9/58 , H03H9/64
CPC分类号： H03H9/25 , H03H9/02228 , H03H9/02992 , H03H9/105 , H03H9/1085 , H03H9/586 , H03H9/6406
摘要： Acoustic resonator devices and filters are disclosed. An acoustic resonator chip includes a piezoelectric plate attached to a substrate. Portions of the piezoelectric plate form at least first and second diaphragms spanning respective cavities in the substrate. A first conductor pattern on the surface of the piezoelectric plate includes a first plurality of contact pads and at least first and second IDTs with interleaved fingers of each IDT on respective diaphragms. An interposer includes a second plurality of contacts pads. A plurality of conductive balls bond each of the contact pads of the first plurality of contact pads to respective contact pads of the second plurality of contact pads.

10. 发明授权

US07385467B2 Resonator and component with hermetic encapsulation 有权
标题翻译：谐振器和组件与气密封装
公开(公告)号：US07385467B2
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：US10523872
申请日：2003-06-23
申请人： Ralph Stoemmer , Habbo Heinze
发明人： Ralph Stoemmer , Habbo Heinze
IPC分类号： H03H9/54 , H03H3/007
CPC分类号： H03H9/589 , H03H9/0542 , H03H9/1007 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H9/586
摘要： Proposed is a resonator which works with bulk acoustic waves and is based on a layer structure known in the art, which is arranged over a substrate. According to the invention, the total surface of the layer structure, including all resonators contained therein, is covered with a dielectric layer and a metal layer which together form an acoustic mirror, a low-k dielectric being used for the dielectric layer. The total-surface mirror offers broadband functionality over a suitable frequency range. The dielectric contained within the mirror acts as a sealing protective layer for the resonator or resonators.
摘要翻译：提出了一种与体声波一起工作并且基于本领域已知的层结构的谐振器，其被布置在衬底上。根据本发明，包括其中的所有谐振器的层结构的总表面被电介质层和金属层覆盖，该介电层和金属层一起形成声反射镜，低介电常数被用作电介质层。全表面镜在适当的频率范围内提供宽带功能。反射镜内的电介质用作谐振器或谐振器的密封保护层。

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