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    • 5. 发明公开
    • EXPOSURE APPARATUS
    • 曝光装置
    • KR20070104841A
    • 2007-10-29
    • KR20070038565
    • 2007-04-20
    • NSK LTD
    • TOGASHI TAKUMIMIYASHITA MASAHIRO
    • H01L21/027
    • G03F7/70716G03F7/70733G03F7/70741G03F7/70775H01L21/67359
    • An exposure apparatus is provided to supply a mask to each mask stage of a plurality of exposure unit disposed in parallel while using one mask loader by including a mask stocker for receiving a plurality of masks disposed in parallel and one mask loader for supplying a mask from the mask stocker to the mask stage. A substrate as an exposed material is supported by a substrate stage. A mask(M) is supported by a mask stage(110A,110B) confronting the substrate. An irradiation apparatus irradiates light for pattern exposure to the substrate through the mask. A substrate stage transferring unit transfers the substrate stage so that the substrate confronts the mask in a predetermined position. A plurality of exposure units(1000A,1000B) include the substrate stage, the mask stage, the irradiation apparatus and the substrate stage transferring unit, disposed in parallel. The plurality of masks are received in a mask stocker. One mask loader supplies a mask from the mask stocker to the mask stage. A plurality of mask stockers can be disposed in parallel to constitute a mask library. The one mask loader can freely transfer to a position corresponding to the mask stocker and each exposure unit.
    • 提供了一种曝光装置,用于在使用一个掩模装载机的同时,将多个平行设置的多个曝光单元的掩模台提供给掩模台,该掩模载体包括:用于接收平行布置的多个掩模的掩模储存器;以及一个用于从 面具库存到面具阶段。 作为曝光材料的基板由基板载台支撑。 掩模(M)由与基板相对的掩模台(110A,110B)支撑。 照射装置通过掩模将用于图案曝光的光照射到基板。 基板载物台转印单元传送基板台,使得基板将掩模面对预定位置。 多个曝光单元(1000A,1000B)包括平行设置的基板台,掩模台,照射装置和基板台传送单元。 多个掩模被接收在掩模存储器中。 一个面具装载器将面具从面具储存器提供给面罩台。 可以平行地设置多个掩模存储器以构成掩模库。 一个掩模装载器可以自由转移到与掩模储存器和每个曝光单元相对应的位置。
    • 7. 发明申请
    • TOROID-STUFENLOSGETRIEBE
    • 磁环无级传动
    • WO2008055568A1
    • 2008-05-15
    • PCT/EP2007/008711
    • 2007-10-09
    • VOLKSWAGEN AKTIENGESELLSCHAFTNSK LTD.PETERSEN, RainerSUE, ArminTENBERGE, PeterMÖCKEL, JörgEMAMDJOMEH, NaserINOUE, EijiNISHII, Hiroki
    • PETERSEN, RainerSUE, ArminTENBERGE, PeterMÖCKEL, JörgEMAMDJOMEH, NaserINOUE, EijiNISHII, Hiroki
    • F16H15/38
    • F16H15/38
    • Die Erfindung betrifft ein Toroid-Stufenlosgetriebe, umfassend mindestens ein Paar einander zugeordneter Scheiben, die einander so gegenüberstehen, dass ihrer achsenseitigen Flächen, die toroidal gekrümmt sind und eine bogenförmige Schnittfläche aufweisen, mit. einer entsprechenden Fläche der jeweils anderen zugeordneten Scheibe gepaart sind, wobei die Scheiben koaxial und relativ zueinander drehbeweglich gelagert sind, mehrere Trunnionen, die zwischen den achsenseitigen Flächen der beiden Scheiben eines Paares in Drehrichtung der Scheiben hintereinander angeordnet und um zugehörige Schrägwellen, die schräg zu der Mittelachse der Scheiben angeordnet sind, kippbeweglich gelagert sind, Power-Roller, die in gleicher Anzahl wie die Trunnionen vorhanden und jeweils an einem Trunnion drehbeweglich gelagert sind, wobei ihre kugelförmig gewölbten Oberflächen die achsenseitigen Flächen der Scheiben berühren, wenigstens eine Synchronisationseinrichtung, welche die Kippwinkel der Trunnionen mechanisch synchronisiert, sowie wenigstens eine Verstellantriebseinrichtung, die wenigstens ein Trunnion um seine zugeordnete Schrägwellen, die auf beiden Seiten des Trunnions angebracht sind, kippt. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass jeder Power-Roller (8b) gegenüber seinem zugeordneten Trunnion (9b) um eine Schrägachse (49) kippbeweglich gelagert ist, die schräg zu den zugeordneten, auf beiden Seiten des Trunnions (9b) angebrachten Schrägwellen (15,15) angeordnet ist.
    • 本发明涉及一种环型无级变速机,其包括至少一对彼此面对的,使得其中的其轴线侧表面是环形弯曲的,并且具有具有弓形截面面积相互关联光盘。 相应的另一个相关联的盘的相应表面是配对的,所述盘同轴地且相对于彼此可旋转地支撑,多个Trunnionen,其被一对的两个车轮的车轴侧表面之间在盘的旋转方向和相关的斜向波倾斜地一个布置在另一个后面的 盘的中心轴线被布置,被可倾斜地安装,电源辊,其可转动地安装存在于相同的数作为Trunnionen和在每种情况下在一个耳轴与它的球形弯曲表面触摸盘的轴的侧面,至少一个同步装置,其倾斜角 所述Trunnionen机械同步,并且至少一个Verstellantriebseinrichtung包括至少一个耳轴到其相关联的斜井,其安装在耳轴的两侧上,倾斜。 本发明的特征在于,每个功率辊(8B)(49)可倾斜地安装成相对于与其相关联的耳轴(图9b)绕弯曲轴,倾斜地安装到相关联的,在耳轴(9b)的倾斜轴的两侧(15 ,15)布置。