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1. 发明公开

KR20200140927A 기판 캐리어 및 기판 캐리어 스택 审中-公开
公开(公告)号：KR20200140927A
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：KR20207034966
申请日：2019-06-17
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： SCHOBER THOMAS , RAHRBACH BERND , WOHANKA CHRISTIAN , FENNER YVES , DOVIDS GERHARD , FIDDES JOHN
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 기판캐리어스택은서로적층되거나적층될수 있고, 상기기판캐리어스택의내부수용공간내로기판을운반하는기판캐리어를포함한다. 상기기판캐리어스택은그 대향하는측면에서상기내부수용공간으로수직으로평행하게연장되는적어도하나의제 1 퍼징채널및 적어도하나의제 2 퍼징채널, 및상기기판캐리어에의해유지되는기판사이의공간을통해상기기판캐리어스택내에서수평퍼징흐름을가능하게하는퍼징구조를포함한다. 상기기판캐리어각각은기판을운반하기위한시트가제공되는외부캐리어프레임을포함하고, 여기에서상기외부캐리어프레임은상기제 1 및제 2 퍼징채널및 상기내부수용공간주위로연장된다.

2. 发明公开

KR20200137972A 이송 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200137972A
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR20200045081
申请日：2020-04-14
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： OSHIKAWA TAKAYUKI
IPC分类号： B65G61/00 , B25J15/00 , B25J15/06 , B65G47/90 , B65G59/02
摘要： (과제) 이송장치에있어서상면을흡착할수 없는하물을안전하게이송할수 있게한다. (해결수단) 하물(W)을전후방향으로이동시킴으로써이송를행하기위한이송장치로서, 기부(25)와, 기부(25)에대하여전후방향으로이동가능하게설치되고, 하물(W)의저면을지지가능한지지판부재(27)와, 지지판부재(27)를기부(25)에대하여전후방향으로구동하는전후구동장치(29)와, 기부(25)에상하방향으로이동가능하게설치되고, 하물(W)의측면을흡착가능한흡착장치(31)와, 흡착장치(31)를기부(25)에대하여적어도상승방향으로구동하고, 하강방향으로는흡착장치(31)로부터이탈가능하게지지하는상하구동장치(35)를구비한다.

3. 发明公开

KR20200131283A 주행차 컨트롤러 및 주행차 시스템 审中-公开
公开(公告)号：KR20200131283A
公开(公告)日：2020-11-23
申请号：KR20207029186
申请日：2019-01-30
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： HARASAKI KAZUMI
IPC分类号： G05D1/02 , H01L21/677
摘要： 분기부를포함하는주행로를주행하는복수의주행차중 어느하나에대하여, 주행로상의행선지포인트까지주행시키는지령을할당하는주행차컨트롤러로서, 복수의주행차가, 각각의위치로부터주행로를따라주행하여행선지포인트에도달할때까지의주행루트후보에기초하여, 복수의주행차중에서행선지포인트에선착가능한선착주행차를검출하여, 선착주행차에지령을할당하는지령할당부를가지고, 지령할당부는, 주행로를분기부를향해주행중인주행차가, 당해분기부로부터분기전환불가능거리의범위내에위치하고또한분기부를주경로측으로진행할예정인경우, 선착주행차의검출에있어서, 당해분기부보다하류로서주경로측의위치에당해주행차가위치한다고간주하는의사시프트처리를실행하는, 주행차컨트롤러를제공한다.

4. 发明公开

KR20180039129A 반송 시스템 审中-公开
公开(公告)号：KR20180039129A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：KR20187006739
申请日：2016-06-17
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： MOTOORI YOICHI
IPC分类号： H01L21/677 , B65G1/04 , B65G1/137
CPC分类号： B65G1/00 , B65G1/04 , H01L21/677
摘要： 반송시스템(1)은, 일방의측방또한하방에장치포트(101)가위치하도록상하로병설된제 1 궤도(11A) 및제 2 궤도(11B)와, 제 1 궤도(11A) 및제 2 궤도(11B)의각각을따라주행하고 FOUP(90)를반송하는복수의천장반송차(20A, 20B)와, 제 1 궤도(11A) 및제 2 궤도(11B)에대하여일방과는타방인측방또한하방에마련되고 FOUP(90)가재치되는보관선반(40)을구비하고, 천장반송차(20A, 20B)는 FOUP(90)를파지가능한파지부(21)와, 장치포트(101) 및보관선반(40)의각각의상방에파지부(21)를이동가능한이동기구(23)와, 이동기구(23)에의해장치포트(101) 및보관선반(40)의각각의상방에이동된파지부(21)를장치포트(101) 및보관선반(40)의각각에대하여승강가능한승강기구(22)를가진다.

5. 发明公开

KR20200130852A 반송차 시스템 및 반송차 제어 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200130852A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：KR20207029065
申请日：2019-02-14
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： KITAMURA WATARU
IPC分类号： H01L21/67 , B65G1/04 , B65G1/137 , H01L21/677
摘要： 본발명의과제는, 복수의하물(荷物) 픽업(pick-up) 요구를효율적으로실행시키거나, 또는우선도가높은하물픽업요구의실행이지연되는것을피하는것을목적으로한다. 상기의과제를해결하기위해, 본발명의반송차시스템은, 궤도(T)를주행하는복수의반송차(搬送車)(V)와, 복수의하물픽업요구를받음으로써, 궤도(T)를따라배치된하물픽업장소(ST)까지주행시키고또한그 하물픽업장소(ST)의물품(M)을픽업시키는하물픽업명령을, 복수의하물픽업요구의우선도가높은순으로그 하물픽업장소(ST)에복수의반송차(V) 중에서보다빨리도착할것으로상정(想定)되는반송차(V)를선정하여복수의반송차(V)의각각에할당하는할당처리를행하는컨트롤러(110)를구비하고, 컨트롤러(110)는, 하물픽업명령에따라하물픽업장소(ST)로향하는복수의반송차(V)에있어서상정되는도착순서의변화, 또는하물픽업요구의우선도의변화를인식하였을때, 복수의반송차(V)의각각에대해먼저할당한하물픽업명령을취소하고, 할당처리에의해다시하물픽업명령을할당한다.

6. 发明公开

KR20180038513A 반송차 시스템 审中-公开
公开(公告)号：KR20180038513A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：KR20187006653
申请日：2016-06-17
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： MOTOORI YOICHI
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： B61B3/02 , B65G1/00 , G05D1/02 , H01L21/677
摘要： 반송차시스템(1)은하단궤도(20)를일방향으로주행하는제 1 반송차(40A), 상단궤도를일방향으로주행하는제 2 반송차(40B), 제 2 반송차로부터피반송물(F)이전달되고또한제 1 반송차에의해피반송물이수취되는제 1 수수부(13), 및제 1 반송차로부터피반송물이전달되고, 또한제 2 반송차에의해피반송물이수취되는제 2 수수부(15)를구비한다. 에어리어(10)는각각제 1 영역(10A)과제 2 영역(10B)을가지고, 하단궤도는제 1 영역과제 2 영역에걸쳐배치되며, 제 1 영역내에는제 1 수수부및 제 2 수수부가배치되고, 제 2 영역내에는제 1 반송차와의사이에서피반송물을수수가능한제 3 수수부(11A)가배치되고, 제 1 영역내의하단궤도는일방향으로제 2 수수부, 제 1 수수부의순서대로각각배치되고, 제 1 영역내의상단궤도는제 1 수수부, 제 2 수수부의순서대로각각배치된다.

7. 发明公开

KR20180030660A 퍼지 장치, 퍼지 스토커, 및 클리닝 방법 审中-公开
标题翻译：清洗装置，清洗储存器和清洁方法
公开(公告)号：KR20180030660A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：KR20187004573
申请日：2016-06-13
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： TSUBAKI TATSUO , MURATA MASANAO
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/673
CPC分类号： B65G1/00 , H01L21/673
摘要： 용기의가스도입구또는퍼지노즐의주위에부착된파티클을제거할수 있는퍼지장치를제공하기위해서퍼지장치(4)는가스(G1)를분출하는것이가능한노즐(31)과, 퍼지대상의용기(F)의바닥면(Fb)과노즐이대향한상태로노즐로부터가스를분출시키는퍼지제어부(34)를구비한다.
摘要翻译：为了提供能够去除附着在容器的气体入口或吹扫喷嘴周围的颗粒的吹扫装置，吹扫装置4包括能够喷射气体G1的喷嘴31， F和净化控制单元34，用于在喷嘴彼此面对的状态下从喷嘴喷射气体。

8. 发明申请

WO2019216067A1 CARBON NANOTUBE SUBSTRATE LEAD-OUT END PREPARATION APPARATUS, SPINNING SYSTEM, CARBON NANOTUBE SUBSTRATE LEAD-OUT END PREPARATION METHOD, AND SPINNING METHOD 审中-公开
公开(公告)号：WO2019216067A1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：PCT/JP2019/014910
申请日：2019-04-04
申请人： MURATA MACHINERY, LTD.
发明人： ARAKAWA, Osamu , YANO, Fumiaki , MIYAWAKI, Yasuhito
IPC分类号： C01B32/168 , D02G3/02
摘要： A CNT substrate lead-out end preparation apparatus (2) comprises a substrate support unit (4), a scraping lead-out unit (5), a winding lead- out unit (6), and a bunching unit (7). The substrate support unit (4) supports a CNT substrate (3) on which CNTs are formed. The scraping lead-out unit (5) contacts the CNTs formed on the CNT substrate (3) and leads out a CNT web (33) from the CNT substrate (3). The winding lead-out unit (6) receives the CNT web (33) and leads out the CNT web from the CNT substrate (3). The bunching unit (7) agglomerates the CNT web (33) led out by the winding lead-out unit (6) in the web width direction of the web.

9. 发明申请

WO2020005611A1 SUBSTRATE CARRIER AND SUBSTRATE CARRIER STACK 审中-公开
公开(公告)号：WO2020005611A1
公开(公告)日：2020-01-02
申请号：PCT/US2019/037454
申请日：2019-06-17
申请人： MURATA MACHINERY, LTD. , MURATA MACHINERY USA, INC.
发明人： SCHOBER, Thomas , RAHRBACH, Bernd , WOHANKA, Christian , FENNER, Yves , DOVIDS, Gerhard , FIDDES, John
IPC分类号： H01L21/673
摘要： A substrate carrier stack includes substrate carriers of only one type which are stacked or stackable on each other and carry a respective plate-shaped substrates within an inner accommodation space of the substrate carrier stack. The substrate carriers each include positioning formations. Positioning formations of each pair of an upper substrate carrier and a lower substrate carrier are mutually engaged or engageable, if the upper substrate carrier and the lower substrate carrier are properly positioned relative to each other.

10. 发明申请

WO2015190193A8 OPERATION TERMINAL, MACHINE TOOL SYSTEM, AND INDUSTRIAL MACHINE OPERATION METHOD 审中-公开
标题翻译：操作终端，机器工具系统和工业机器操作方法
公开(公告)号：WO2015190193A8
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/JP2015063342
申请日：2015-05-08
申请人： MURATA MACHINERY LTD
发明人： KAWAI HIDETSUGU
IPC分类号： G05B19/409 , H04Q9/00
CPC分类号： G05B19/404 , G05B19/409 , G05B2219/37582 , G08C17/02 , G08C2201/30 , H04Q9/00
摘要： [Problem] To provide an operation terminal capable of communicating information between the operation terminal and an industrial machine, said information being different from industrial machine operation information, and to provide a machine tool system. [Solution] A portable operation terminal (100) capable of operating an industrial machine (200) by means of wireless communication is provided with a terminal main body (10). The terminal main body (10) is provided with: an external connection unit (40) to which image information relating to images can be inputted; and a communication unit (30) capable of transmitting the image information inputted to the external connection unit (40).
摘要翻译： [问题]提供一种能够在操作终端和工业机器之间传递信息的操作终端，所述信息与工业机器操作信息不同，并提供机床系统。 [解决方案]具有终端主体（10）的能够通过无线通信操作工业机器（200）的便携式操作终端（100）。端子主体（10）设置有：能够输入与图像有关的图像信息的外部连接单元（40）以及能够发送输入到外部连接单元（40）的图像信息的通信单元（30）。

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