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1. 发明专利

TWI686614B 探針導引板及探針裝置有权
简体标题：探针导引板及探针设备
公开(公告)号：TWI686614B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW105138410
申请日：2016-11-23
申请人：日商新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. , 日商日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：清水雄一郎 , SHIMIZU, YUICHIRO , 藤原洸輔 , FUJIHARA, KOSUKE , 山崎智生 , YAMASAKI, TOMOO , 森親臣 , MORI, CHIKAOMI
IPC分类号： G01R1/073

2. 发明专利

TW201411133A 探針卡用引導板及具有其之探針卡审中-公开
简体标题：探针卡用引导板及具有其之探针卡
公开(公告)号：TW201411133A
公开(公告)日：2014-03-16
申请号：TW102127092
申请日：2013-07-29
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：木村哲平 , KIMURA, TEPPEI , 樊利文 , FAN, LIWEN
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： G01R1/07371 , C25D1/003 , C25D5/02 , C25D5/48 , G01R1/07357 , G01R1/18 , G01R3/00 , G01R31/2889
摘要：本發明之目的在提供一種可依較窄之間距間隔而設置微細之貫通孔，且可實現強度之提昇之探針卡用引導板。本發明之探針卡用引導板包含金屬基材、第1絕緣層及金屬層。金屬基材設有可供貫穿探針之複數貫通孔及前述貫通孔之內壁面。第1絕緣層則設於金屬基材之貫通孔之內壁面上而呈筒狀。金屬層設於第1絕緣層上。
简体摘要：本发明之目的在提供一种可依较窄之间距间隔而设置微细之贯通孔，且可实现强度之提升之探针卡用引导板。本发明之探针卡用引导板包含金属基材、第1绝缘层及金属层。金属基材设有可供贯穿探针之复数贯通孔及前述贯通孔之内壁面。第1绝缘层则设于金属基材之贯通孔之内壁面上而呈筒状。金属层设于第1绝缘层上。

3. 外观设计

TWD156552S 半導體晶圓測定用探針卡有权
简体标题：半导体晶圆测定用探针卡
公开(公告)号：TWD156552S
公开(公告)日：2013-10-21
申请号：TW102301361
申请日：2011-07-28
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
设计人：田代晃史 , TASHIRO, AKIHITO

4. 发明专利

TWI680301B 探針卡有权
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TWI680301B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW105100674
申请日：2016-01-11
申请人：日商日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：芹川昭 , SERIKAWA, AKIRA , 柿野高男 , KAKINO, TAKAO
IPC分类号： G01R1/073

5. 发明专利

TWI625529B 探針導孔板及其製造方法有权
简体标题：探针导孔板及其制造方法
公开(公告)号：TWI625529B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW103108624
申请日：2014-03-12
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION , 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白石晶紀 , SHIRAISHI, AKINORI , 藤原洸輔 , FUJIHARA, KOSUKE
IPC分类号： G01R1/067

6. 发明专利

TWI623752B 用於探針卡的導板有权
简体标题：用于探针卡的导板
公开(公告)号：TWI623752B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：TW103104435
申请日：2014-02-11
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION , 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：木村哲平 , KIMURA, TEPPEI , 白石晶紀 , SHIRAISHI, AKINORI , 藤原洸輔 , FUJIHARA, KOSUKE
IPC分类号： G01R1/073

7. 发明专利

TWI613450B 電性接觸子有权
简体标题：电性接触子
公开(公告)号：TWI613450B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW102143992
申请日：2013-12-02
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：木村哲平 , KIMURA, TEPPEI , 福嶋則之 , FUKUSHIMA, NORIYUKI , 浦田敦夫 , URATA, ATSUO , 有田直樹 , ARITA, NAOKI , 武田朋之 , TAKEDA, TOMOYUKI
IPC分类号： G01R1/067
CPC分类号： H01R13/2428 , G01R1/06716 , G01R1/06738 , G01R1/07357

8. 发明专利

TW201740120A 探針導引板及探針裝置审中-公开
简体标题：探针导引板及探针设备
公开(公告)号：TW201740120A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW105138410
申请日：2016-11-23
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. , 日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：清水雄一郎 , SHIMIZU, YUICHIRO , 藤原洸輔 , FUJIHARA, KOSUKE , 山崎智生 , YAMASAKI, TOMOO , 森親臣 , MORI, CHIKAOMI
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07371 , G01R31/2601
摘要：本發明係關於一種探針導引板，其包括：包含一表面及與該一表面相對之另一表面的矽基板；穿過該矽基板形成以自該矽基板之該一表面延伸至該矽基板之該另一表面的通孔；形成於該矽基板之該一表面、該矽基板之該另一表面、及該通孔之內壁表面上的氧化矽層；及形成於該氧化矽層上之保護絕緣層。該保護絕緣層係通過該氧化矽層形成於該矽基板之該一表面及該另一表面之至少一者上，且通過該氧化矽層部分形成於該通孔之內壁表面上。
简体摘要：本发明系关于一种探针导引板，其包括：包含一表面及与该一表面相对之另一表面的硅基板；穿过该硅基板形成以自该硅基板之该一表面延伸至该硅基板之该另一表面的通孔；形成于该硅基板之该一表面、该硅基板之该另一表面、及该通孔之内壁表面上的氧化硅层；及形成于该氧化硅层上之保护绝缘层。该保护绝缘层系通过该氧化硅层形成于该硅基板之该一表面及该另一表面之至少一者上，且通过该氧化硅层部分形成于该通孔之内壁表面上。

9. 发明专利

TW201740114A 探針導件、探針卡及探針導件之製造方法审中-公开
简体标题：探针导件、探针卡及探针导件之制造方法
公开(公告)号：TW201740114A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106100153
申请日：2017-01-04
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION , 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：森親臣 , MORI, CHIKAOMI , 清水雄一郎 , SHIMIZU, YUICHIRO , 藤原洸輔 , FUJIHARA, KOSUKE
IPC分类号： G01R1/06 , G01R1/073 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07371 , G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R3/00 , G01R31/2886
摘要：本發明之目的在於提高探針導件之強度，從而提高探針導件之耐磨損性。導引板20由具有支承接觸探針13之導引孔23之矽板22構成，導引孔23之內壁具備形成於矽板22之貫通加工孔24之內壁面上之導引膜25，貫通加工孔24係剖面積朝向矽板22之第1面而逐漸增加，導引膜25係膜厚朝向矽板22之第1面而逐漸增加。藉由採用此種構成，較之貫通加工孔24之內壁面之傾斜，可抑制導引孔23之內壁面之傾斜，從而提高導引板20之強度。因此，可提高探針導件100之耐磨損性。
简体摘要：本发明之目的在于提高探针导件之强度，从而提高探针导件之耐磨损性。导引板20由具有支承接触探针13之导引孔23之硅板22构成，导引孔23之内壁具备形成于硅板22之贯通加工孔24之内壁面上之导引膜25，贯通加工孔24系剖面积朝向硅板22之第1面而逐渐增加，导引膜25系膜厚朝向硅板22之第1面而逐渐增加。借由采用此种构成，较之贯通加工孔24之内壁面之倾斜，可抑制导引孔23之内壁面之倾斜，从而提高导引板20之强度。因此，可提高探针导件100之耐磨损性。

10. 发明专利

TW201704757A 探針卡审中-公开
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TW201704757A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105100674
申请日：2016-01-11
申请人：日本電子材料股份有限公司 , JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION
发明人：芹川昭 , SERIKAWA, AKIRA , 柿野高男 , KAKINO, TAKAO
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/073
摘要：【目的】本發明在於提供一種可使探針、及與該探針相對向之保持部的壁面之間的空間較大的探針卡。【構成】一種探針卡，包含有：保持部100a、保持部100g、懸臂型的第1探針200a及懸臂型的第2探針200g。探針200a以前端部210a從保持部100a之第1壁面110a突出的方式，於Y-Y’方向隔著間隔保持於保持部100a。探針200g以前端部210g從保持部100g之第1壁面110g突出的方式，於X-X’方向隔著間隔保持於保持部100g。探針200g中位在最靠X’方向側之最邊端之探針200g的前端部210g的前端211g，位在比該最邊端之第2探針200g之前端部210g的根部212g還靠X’方向側。
简体摘要：【目的】本发明在于提供一种可使探针、及与该探针相对向之保持部的壁面之间的空间较大的探针卡。【构成】一种探针卡，包含有：保持部100a、保持部100g、悬臂型的第1探针200a及悬臂型的第2探针200g。探针200a以前端部210a从保持部100a之第1壁面110a突出的方式，于Y-Y’方向隔着间隔保持于保持部100a。探针200g以前端部210g从保持部100g之第1壁面110g突出的方式，于X-X’方向隔着间隔保持于保持部100g。探针200g中位在最靠X’方向侧之最边端之探针200g的前端部210g的前端211g，位在比该最边端之第2探针200g之前端部210g的根部212g还靠X’方向侧。

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