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1. 发明申请

WO2005027175A1 CHAMBER WITH LOW ELECTRON STIMULATED DESORPTION 审中-公开
标题翻译：低电子刺激解吸室
公开(公告)号：WO2005027175A1
公开(公告)日：2005-03-24
申请号：PCT/EP2004/010078
申请日：2004-09-09
申请人： ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH , FROSIEN, Juergen , JASINSKI, Thomas , WINKLER, Dieter
发明人： FROSIEN, Juergen , JASINSKI, Thomas , WINKLER, Dieter
IPC分类号： H01J37/18
CPC分类号： H01J37/16 , H01J5/02 , H01J2237/188
摘要： The present invention provides a charged particle emission component (100) for providing a charged particle beam (17) to a chamber of a charged particle beam column. The device comprises a gun chamber for housing the charged particle emission component; an emitter (16) for emitting a beam of charged particles; at least one beam shaping element (109; 18; 108; 402); and a residual gas diffusion barrier (106; 206) directly subsequent the emitter.
摘要翻译：本发明提供了一种用于向带电粒子束柱的腔室提供带电粒子束（17）的带电粒子发射部件（100）。该装置包括用于容纳带电粒子发射部件的枪室; 用于发射带电粒子束的发射器（16）; 至少一个光束成形元件（109; 18; 108; 402）; 和直接在发射器之后的残留气体扩散阻挡层（106; 206）。

2. 发明专利

TW201919087A 帶電粒子束裝置、帶電粒子束支配裝置和操作帶電粒子束裝置的方法审中-公开
简体标题：带电粒子束设备、带电粒子束支配设备和操作带电粒子束设备的方法
公开(公告)号：TW201919087A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107124177
申请日：2018-07-13
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER , 伊坦蓋 , EYTAN, GUY , 尼爾茲維 , NIR, ZVI
IPC分类号： H01J37/147
CPC分类号： H01J37/145 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/1516 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
摘要：描述一種帶電粒子束裝置(100)，所述帶電粒子束裝置包括：束源(110)，被配置成產生沿著光軸(A)傳播的帶電粒子束(105)；具有第一數量的孔徑(125)的孔徑裝置(120)，被配置成從帶電粒子束(105)形成第一數量的小束(135)，其中第一數量為5或更多，其中孔徑(125)圍繞光軸(A)佈置在環線(126)上，使得投射於環線(126)的切線(136)上的孔徑(125)的垂線(128)均勻地間隔開。帶電粒子束裝置(100)進一步包括靜電多極裝置，所述靜電多極裝置被配置成單獨地支配小束。另外，描述帶電粒子束支配裝置和操作帶電粒子束裝置的方法。
简体摘要：描述一种带电粒子束设备(100)，所述带电粒子束设备包括：束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；具有第一数量的孔径(125)的孔径设备(120)，被配置成从带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)，其中第一数量为5或更多，其中孔径(125)围绕光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于环线(126)的切线(136)上的孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开。带电粒子束设备(100)进一步包括静电多极设备，所述静电多极设备被配置成单独地支配小束。另外，描述带电粒子束支配设备和操作带电粒子束设备的方法。

3. 发明专利

TWI613693B 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置有权
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TWI613693B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592

4. 发明专利

TW201740422A 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：用于成像信号带电粒子束的系统、用于成像信号带电粒子束的方法及带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201740422A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106103903
申请日：2017-02-07
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 庫克班傑明約翰 , COOK, BENJAMIN JOHN
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592
摘要：本揭示案係提供一種用於成像藉由初級帶電粒子束的撞擊而從樣品（8）發出的訊號帶電粒子束（10）的系統（100）。系統（100）包括偵測器佈置（110）與訊號帶電粒子光學器件，偵測器佈置（110）具有第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114），第一偵測元件（112）用於偵測源自樣品（8）上的第一斑點的訊號帶電粒子束（10）的第一訊號帶電粒子分束（12），第二偵測元件（114）用於偵測源自樣品（8）上的第二斑點的訊號帶電粒子束（10）的第二訊號帶電粒子分束（14），其中第一偵測元件（112）與第二偵測元件（114）彼此分離。訊號帶電粒子光學器件包括線圈（120）與控制器（130），線圈（120）經配置以產生具有平行於線圈（120）的縱軸（A）的磁場分量的磁場，其中磁場作用於沿著縱軸（A）傳播的第一訊號帶電粒子分束（12）與第二訊號帶電粒子分束（14），且其中線圈的高寬比為至少1，控制器（130）經配置以調整線圈（120）的磁場，而使得第一訊號帶電粒子分束（12）被引導朝向第一偵測元件（112），而第二訊號帶電粒子分束（14）被引導朝向第二偵測元件（114）。
简体摘要：本揭示案系提供一种用于成像借由初级带电粒子束的撞击而从样品（8）发出的信号带电粒子束（10）的系统（100）。系统（100）包括侦测器布置（110）与信号带电粒子光学器件，侦测器布置（110）具有第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114），第一侦测组件（112）用于侦测源自样品（8）上的第一斑点的信号带电粒子束（10）的第一信号带电粒子分束（12），第二侦测组件（114）用于侦测源自样品（8）上的第二斑点的信号带电粒子束（10）的第二信号带电粒子分束（14），其中第一侦测组件（112）与第二侦测组件（114）彼此分离。信号带电粒子光学器件包括线圈（120）与控制器（130），线圈（120）经配置以产生具有平行于线圈（120）的纵轴（A）的磁场分量的磁场，其中磁场作用于沿着纵轴（A）传播的第一信号带电粒子分束（12）与第二信号带电粒子分束（14），且其中线圈的高宽比为至少1，控制器（130）经配置以调整线圈（120）的磁场，而使得第一信号带电粒子分束（12）被引导朝向第一侦测组件（112），而第二信号带电粒子分束（14）被引导朝向第二侦测组件（114）。

5. 发明专利

TW201637060A 訊號帶電粒子偏斜裝置、訊號帶電粒子偵測系統、帶電粒子束裝置以及偵測訊號帶電粒子束的方法审中-公开
简体标题：信号带电粒子偏斜设备、信号带电粒子侦测系统、带电粒子束设备以及侦测信号带电粒子束的方法
公开(公告)号：TW201637060A
公开(公告)日：2016-10-16
申请号：TW105104785
申请日：2016-02-18
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/153
CPC分类号： H01J37/1472 , H01J2237/151 , H01J2237/28
摘要：提供一種用於一帶電粒子束裝置的訊號帶電粒子偏斜裝置。該訊號帶電粒子偏斜裝置包括一經組態用於偏斜訊號帶電粒子束的束彎曲器(100)，其中該束彎曲器包括一第一電極(110)及一第二電極(120)，該第一電極及該第二電極在其等之間提供一用於該訊號帶電粒子束的一光學路徑，其中該第一電極(110)在與該光學路徑垂直的一平面中具有一第一截面，且該第二電極(120)在與該光學路徑垂直的該平面中具有一第二截面，且其中該第一截面之一第一部分與該第二截面之一第二部分在其等之間提供該光學路徑，且其中該第一部分與該第二部分在形狀上不同。
简体摘要：提供一种用于一带电粒子束设备的信号带电粒子偏斜设备。该信号带电粒子偏斜设备包括一经组态用于偏斜信号带电粒子束的束弯曲器(100)，其中该束弯曲器包括一第一电极(110)及一第二电极(120)，该第一电极及该第二电极在其等之间提供一用于该信号带电粒子束的一光学路径，其中该第一电极(110)在与该光学路径垂直的一平面中具有一第一截面，且该第二电极(120)在与该光学路径垂直的该平面中具有一第二截面，且其中该第一截面之一第一部分与该第二截面之一第二部分在其等之间提供该光学路径，且其中该第一部分与该第二部分在形状上不同。

6. 发明专利

TWI503858B 用於改善光點大小的八極裝置及方法有权
简体标题：用于改善光点大小的八极设备及方法
公开(公告)号：TWI503858B
公开(公告)日：2015-10-11
申请号：TW102134138
申请日：2013-09-23
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：克拉瑪艾勒克山卓 , KRAMER, ALEKSANDRA , 拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： G21K1/093 , H01J37/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/28

7. 发明专利

TWI469177B 用於帶電粒子束的鏡片系統、裝置及方法有权
简体标题：用于带电粒子束的镜片系统、设备及方法
公开(公告)号：TWI469177B
公开(公告)日：2015-01-11
申请号：TW100128385
申请日：2011-08-09
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：藍奕歐史戴分 , LANIO, STEFAN
IPC分类号： H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/141

8. 发明专利

TW201426810A 二次電子光學及偵測裝置审中-公开
简体标题：二次电子光学及侦测设备
公开(公告)号：TW201426810A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102147554
申请日：2013-12-20
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 佛意森傑根 , FROSIEN, JURGEN , 沙奈克吉拉德 , SCHONECKER, GERALD , 溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER
IPC分类号： H01J37/26 , G01N23/22 , G01N21/88
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/24465 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592 , H01J2237/2806 , H01J2237/2812 , H01J2237/2814
摘要：一種用於帶電粒子束裝置的二次帶電粒子偵測系統被描述。該偵測系統包含：分光鏡以將初級光束與碰撞樣品時形成的二次光束分離；光束轉向器以將該二次光束偏折；聚焦透鏡以將該二次光束聚焦；偵測元件以偵測二次光束粒子，及三個致偏器，其中該三個致偏器中的至少第一致偏器係提供於該光束轉向器與該聚焦透鏡之間，該三個致偏器中的至少第二致偏器係提供於該聚焦透鏡與該偵測元件之間，該三個致偏器中的至少第三致偏器係提供於該分光鏡與該偵測元件之間。
简体摘要：一种用于带电粒子束设备的二次带电粒子侦测系统被描述。该侦测系统包含：分光镜以将初级光束与碰撞样品时形成的二次光束分离；光束转向器以将该二次光束偏折；聚焦透镜以将该二次光束聚焦；侦测组件以侦测二次光束粒子，及三个致偏器，其中该三个致偏器中的至少第一致偏器系提供于该光束转向器与该聚焦透镜之间，该三个致偏器中的至少第二致偏器系提供于该聚焦透镜与该侦测组件之间，该三个致偏器中的至少第三致偏器系提供于该分光镜与该侦测组件之间。

9. 发明专利

TWI694480B 帶電粒子束裝置、帶電粒子束支配裝置和操作帶電粒子束裝置的方法有权
简体标题：带电粒子束设备、带电粒子束支配设备和操作带电粒子束设备的方法
公开(公告)号：TWI694480B
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：TW107124177
申请日：2018-07-13
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER , 伊坦蓋 , EYTAN, GUY , 尼爾茲維 , NIR, ZVI
IPC分类号： H01J37/147

10. 发明专利

TWI689965B 藉由初級帶電粒子束的撞擊對從樣品發出的次級帶電粒子束成像的方法有权
简体标题：借由初级带电粒子束的撞击对从样品发出的次级带电粒子束成像的方法
公开(公告)号：TWI689965B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW105113138
申请日：2016-04-27
申请人：德商ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：費恩克斯馬蒂亞斯 , FIRNKES, MATTHIAS , 拉尼歐史帝芬 , LANIO, STEFAN , 溫克勒迪特 , WINKLER, DIETER
IPC分类号： H01J37/26

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