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    • 2. 发明申请
    • OPTISCHES SYSTEM MIT EINER KAMERAEINRICHTUNG ZUR BETRACHTUNG MEHRERER ENTFERNT VONEINANDER ANGEORDNETER GEGENSTÄNDE
    • 具有摄像机DEVICE FOR隔开OBJECTS的VIEWING MULTIPLE光学系统
    • WO2005062103A1
    • 2005-07-07
    • PCT/DE2004/002826
    • 2004-12-22
    • PAC TECH - PACKAGING TECHNOLOGIES GMBHZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • ZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • G02B21/18
    • G02B27/143G02B27/144
    • Optisches System (40) zur Betrachtung mehrerer entfernt voneinander angeordneter Gegenstände (61, 63) mit einer Kameraeinrichtung (42) umfassend eine erste auf der optischen Achse (41) bzw. im Strahlengang (47) der Kameraeinrichtung angeordnet Prismeneinrichtung (43) zur Erzeugung zweier Teilstrahlengänge (48, 49) sowie zwei jeweils in einem Teilstrahlengang angeordnete und jeweils einem Gegenstand zugeordnete Gegenstandsprismeneinrichtungen (51, 52). Sowohl dem Ausgangsprisma 51 als auch dem Ausgangsprisma 52 ist eine hier als Leuchtdiode (57 bzw 58) ausgebildete Beleuchtungseinrichtung zugeordnet, die jeweils einen Beleuchtungsstrahlengang (59, 60) emittiert. Aus der dargestellten Anordnung wird deutlich, dass die in einen Kontaktspalt (65) zweier Substrate (62, 63) eingeführte Betrachtungsvorrichtung (40) es ermöglicht, die korrekte Ausrichtung zweier miteinander zu kontaktierender Anschlussflächen (61, 63) zu kontrollieren bzw. die Ausrichtung der Anschlussflächen (61, 63) in Abhängigkeit von einer Kontaktachse (66), die mit der Achse der Teilstrahlengänge (49, 48) übereinstimmt, herbeizuführen.
    • 用于与照相机装置(42)观看多个间隔开的条(61,63)的光学系统(40)被布置在包括在光轴(41)的第一或以两种摄像装置棱镜装置的光路(47)(43),以产生 部分光束路径(48,49)和两个各设在一部分光束路径,并在与对象被摄体棱镜装置(51,52)相关联的每个情况。 两个输出棱镜51和输出棱镜52被分配给本文中所形成的照明装置上的发光二极管(57或58),其发射的相应光光束路径(59,60)。 对于所示出的布置中,很明显,在两个基板之间的触点间隙(65)(62,63)引入,有助于实现两个正确对准观看装置(40),以彼此焊盘(61,63),以控制和的对准接触 响应于接触轴线(66)与所述部分光束路径的轴线(49,48),以使大约一致连接表面(61,63)。
    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR WECHSELSEITIGEN KONTAKTIERUNG VON ZWEI WAFERN
    • 方法和设备相互接触两块基板
    • WO2005055288A2
    • 2005-06-16
    • PCT/DE2004/002648
    • 2004-12-02
    • PAC TECH- PACKAGING TECHNOLOGIES GMBHZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • ZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • H01L21/00
    • H01L23/10B23K26/0063B23K35/262B23K35/3013B23K2201/40H01L21/50H01L25/0657H01L25/50H01L2224/16H01L2924/01079
    • Verfahren und Vorrichtung zur wechselseitigen Kontaktierung von zwei waferartigen Bauelement-Verbundanordnungen (12, 14) aus einer Vielzahl zusammenhängend ausgebildeter gleichartiger Bauelemente, insbesondere eines Halbleiter-Wafers mit einem Funktionsbauelement-Wafer, zur Herstellung von elektronischen Baugruppen auf Wafer-Ebene, bei dem bzw. der die beiden jeweils auf ihren einander gegenüberliegenden Kontaktoberflächen (38, 39) mit Kontaktmetallisierungen versehenen Bauelement-Verbundanordnungen zur Ausbildung von Kontaktpaarungen mit ihren Kontaktmetallisierungen in eine Überdeckungslage gebracht werden, in der die miteinander zu verbindenden Kontaktmetallisierungen gegeneinander gedrückt werden und die Kontaktierung der Kontaktmetallisierungen durch rückwärtige Beaufschlagung der einen Bauelement-Verbundanordnung (12) mit Laserstrahlung (20) erfolgt, wobei die Wellenlänge der Laserstrahlung in Abhängigkeit vom Absorptionsgrad der rückwärtig beaufschlagten Bauelement-Verbundanordnung so gewählt wird, dass eine Transmission der Laserstrahlung durch die rückwärtig beaufschlagte Bauelement-Verbundanordnung im Wesentlichen unterbleibt oder eine Absorption der Laserstrahlung im Wesentlichen in den Kontaktmetallisierungen der einen oder beider Bauelement-Verbundanordnungen erfolgt.
    • 方法和装置的多个连续的相同部件形成的,特别是具有官能组分晶片的半导体晶片,以产生在晶片级的电子组件的两个晶片载型元件复合组件(12,14),其中,或相互接触 所述带来两个在每种情况下其用于与被压在其中的覆盖物位置的接触金属化形成接触对设置有接触金属成分复合组件相互面对的接触表面(38,39)上进行接触金属化结合在一起对彼此和接触金属化的由后接触 进行用激光辐射(20),其中,所述激光辐射的依赖波长上向后施加部件的吸收度Ve的将所述一个部件的复合组件(12) 被选择rbundanordnung因此省略了激光辐射的传输,或由后作用组分复合结构基本上发生在基本上一个的接触金属化或两个组分复合结构的激光辐射的吸收。
    • 4. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR VEREINZELTEN APPLIKATION VON VERBINDUNGSMATERIALDEPOTS
    • 设备技术相关材料车厂俱乐部帐篷应用
    • WO2016008941A1
    • 2016-01-21
    • PCT/EP2015/066196
    • 2015-07-15
    • PAC TECH - PACKAGING TECHNOLOGIES GMBH
    • AZDASHT, GhassemKRAUSE, Thorsten
    • B23K1/005B23K3/06
    • B23K3/0623B23K1/0016B23K1/0056B23K3/04B23K2201/42
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zur vereinzelten Applikation von Lotmaterialdepots (11), insbesondere Lotkugeln, mit einer Fördereinrichtung zur vereinzelten Förderung der Lotmaterialdepots von einem an einem Gehäuseoberteil (14) der Vorrichtung angeordneten Lotmaterialreser-voir (12) zu einer an einem Gehäuseunterteil (20) der Vorrichtung angeordneten Applikationseinrichtung (33), wobei die Fördereinrichtung als eine um eine Rotationsachse (28) geförderte, in einem Aufnahmeraum (21) zwischen dem Gehäuseunterteil und dem Gehäuseoberteil angeordnete Förderscheibe (19) ausgebildet ist, die als Durchgangslöcher ausgebildete Transportaufnahmen (18) aufweist, die jeweils von einer Aufnahmeposition P1, in der ein Lotmaterialdepot aus dem Lotmaterialreservoir aufgenommen wird, in eine Übergabeposition P2 bewegbar sind, in der das Lotmaterialdepot über eine im Gehäuseoberteil ausgebildete Druckbohrung (42) mit Druckgas beaufschlagt wird und aus der das Lotmaterialdepot an ein Applikationsmundstück (36) der Applikationseinrichtung in eine Applikationsposition P3 übergeben wird, wobei die Applikationseinrichtung einen im Gehäuseunterteil ausgebildeten Applikationskanal (35) aufweist, der gleichzeitig ein unteres Teilstück (63) eines Übertragungskanals (64) ausbildet, der zur Übertragung von Laserstrahlung zu dem im Applikationsmundstück angeordneten Lotmaterialdepot dient, wobei der Übertragungskanal sich mit einem oberen Teilstück (65) durch das Gehäuseoberteil erstreckt, wobei der Applikationskanal unter einem Applikationswinkel α gegenüber der Rotationsachse geneigt ist.
    • 本发明涉及一种用于钎焊材料沉积物(11),尤其是焊球的分离的应用程序的设备(10),其具有的输送装置为单挑促进从装置Lotmaterialreser-案中案(12)的上壳体部分(14)中的一个布置在所述钎焊材料沉积物到到较低的壳体部分 (20)的所述装置被布置应用装置(33),所述传送装置为一体绕旋转轴(28)输送时,在布置在下部壳体部分和壳体上部传送盘(19)(21)之间的容纳空间中形成,其被设计为通过孔传输容器( 18),分别由接收位置P1,在该焊料材料从Lotmaterialreservoir采取,在转印位置P2,其中在)用加压气体形成在上壳体部分的压力孔(42中的开口并从该Lotmaterialdepo施加钎焊材料可动 吨到应用喷嘴(36)被传递到应用程序中的位置P3的施加装置,其特征在于,所述施加装置包括在形成了传输信道的下部分(63)(64)的同时在下部壳体部的应用程序信道(35),从而导致激光辐射的传输的形成 提供设置在所述咬嘴焊料材料中的应用,其中,所述传送通道延伸穿过上部壳体部件的上部(65),其中所述应用信道为α在施用角相对于旋转轴线的倾斜。
    • 8. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TROCKNUNG VON SCHALTUNGSSUBSTRATEN
    • 方法和设备进行干燥的电路基板
    • WO2005062358A1
    • 2005-07-07
    • PCT/DE2004/002827
    • 2004-12-22
    • PAC TECH - PACKAGING TECHNOLOGIES GMBHZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • ZAKEL, ElkeAZDASHT, Ghassem
    • H01L21/306
    • H01L21/67034F26B3/30
    • Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von Schaltungssubstraten (13), insbesondere Halbleitersubstraten, bei dem bzw. der in einem Spülgang ein Spülen einer Schaltungsoberfläche (30) des Schaltungssubstrats mit einer Spülflüssigkeit (10) erfolgt und in einem nachfolgenden Trocknungsgang die Schaltungsoberfläche getrocknet wird, wobei in dem Spülgang das Schaltungssubstrat in Richtung seiner ebenen Erstreckung, quer und relativ zu einem Flüssigkeitsspiegel (28) der Spülflüssigkeit, bewegt wird, derart, dass sich an einem sich aufgrund der Relativbewegung ändernden Übergangsbereich zwischen der Schaltungsoberfläche und dem Flüssigkeitsspiegel ein Flüssigkeitsmeniskus ausbildet, und in dem Trocknungsgang eine Beaufschlagung des von dem Flüssigkeitsmeniskus benetzten Übergangsbereichs mit Wärmestrahlung (36) erfolgt.
    • 用于干燥的电路基板(13),特别是半导体衬底,方法和装置,其中或在漂洗,用冲洗液的电路基板的电路表面(30)的冲洗(10)进行,并且所述电路表面在随后的干燥循环干燥,在其中 漂洗循环,电路基板在其平面延伸的方向上横向地并相对于移动到冲洗液的液面(28),以使得液体的弯月面形成在改变由于电路表面和液面之间的过渡区域的相对移动,并且其中 干燥周期中进行的通过与热辐射(36)的液体弯月形过渡区域湿润的加压。
    • 10. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR ENTFERNUNG EINES PRÜFKONTAKTS EINER PRÜFKONTAKTANORDNUNG
    • DEVICE FOR A接触探针测试接触的去除
    • WO2017032532A1
    • 2017-03-02
    • PCT/EP2016/067761
    • 2016-07-26
    • PAC TECH - PACKAGING TECHNOLOGIES GMBH
    • KRAUSE, ThorstenAZDASHT, Ghassem
    • G01R3/00G01R1/067G01R1/073
    • G01R3/00G01R1/06705G01R1/06733G01R1/073
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Platzierung und Kontaktierung eines Prüfkontakts (5) einer auf einem Kontaktträger (19) angeordneten Prüfkontaktanordnung, wobei die Vorrichtung einen Kontaktkopf (10) mit zumindest einem Transmissionskanal zur Transmission von Wärmeenergie und Übertragung von Unterdruck aufweist, wobei der Kontaktkopf an seinem Kontaktierungsende im Bereich einer Kanalmündung mit einer Prüfkontaktaufnahme (11) versehen ist, wobei die Prüfkontaktaufnahme einen zwischen zwei parallelen Aufnahmewangen (12,13) zur Aufnahme des Prüfkontakts ausgebildeten und mit dem Transmissionskanal verbundenen Aufnahmespalt (14) aufweist, wobei die Aufnahmewangen an ihren zur Kontaktierung mit einem auf dem Kontaktträger angeordneten Lotdepot (20) vorgesehenen Kontaktenden Kontaktflächen (21) zur Herstellung eines wärmeleitenden Kontakts mit dem Lotmaterial des Lotdepots aufweisen.
    • 本发明涉及一种用于定位和接触探针(5)的接触载体上一个被布置(19)的测试接触,该装置包括一个接触头(10)配有用于将热能和负压力的传递的传输的至少一个传输信道,其中所述接触头接触 提供它的接触端部在通道口的区域中与Prüfkontaktaufnahme(11),其特征在于,设计成用于接收所述测试触点和连接到传输信道的接收间隙(14)的两个平行接收的脸颊(12,13),其中,接收的面颊在它们之间的Prüfkontaktaufnahme一个 方法包括使设置有接触载体上的设置的焊料沉积物(20)接触端的接触表面(21),用于产生与所述焊料沉积物的焊料材料的热传导接触。