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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERKÖRPERS
    • 用于生产半导体主体
    • WO2016131689A1
    • 2016-08-25
    • PCT/EP2016/052809
    • 2016-02-10
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • EBERHARD, Franz
    • H01L21/74
    • H01L33/382H01L21/743H01L33/0095H01L33/24H01L33/44H01L2933/0016H01L2933/0025H01S5/0282H01S5/0425
    • Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers (1) mit einer mit einer Passivierungsschicht (8) versehenen Ausnehmung (10) angegeben mit den Schritten: Aufbringen einer strukturierten ersten Maskenschicht (5) und einer unstrukturierten zweiten Maskenschicht (6) auf dem Halbleiterkörper (1); Ausbilden von zumindest einer zweiten Maskenöffnung (60) in der zweiten Maskenschicht (6) und zumindest einer Ausnehmung (10) im Halbleiterkörper (1), wobei die Ausnehmung (10) mit der zweiten Maskenöffnung (60) von der ersten Maskenöffnung (50) aus gesehen eine Hinterschneidung (13) bildet; unstrukturiertes Aufbringen einer Passivierungsschicht (8) auf der zweiten Maskenschicht (6) und auf der Seitenfläche (11) und der Bodenfläche (12) der Ausnehmung (10); Entfernen der Passivierungsschicht (8) von der zweiten Maskenschicht (6) und der Bodenfläche (12) der Ausnehmung (10), wobei die Passivierungsschicht (8) auf der Seitenfläche (11) der Ausnehmung (10) verbleibt.
    • 一种用于制造半导体基体的过程是用于与制造半导体主体(1)具有钝化层的方法(8)设置有设置有台阶的凹部(10):将图案化的第一屏蔽层(5)和非结构化第二掩模层(6) 在半导体本体(1); 至少在所述第二掩模层的第二掩模开口(60)(6)和在所述半导体主体(1),至少一个凹部(10),其中所述凹部(10)与从所述第二掩模孔(60),第一掩模开口(50)的 可见形式的底切(13); 非结构化施加第二掩模层上的钝化层(8)(6)和上侧表面(11)和凹部(10)的底表面(12); 去除第二掩模层(6)和所述凹部(10)的底表面(12),其中,所述钝化层(8)保持在凹部(10)的侧表面(11)上的钝化层(8)。
    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERKÖRPERS
    • 用于生产半导体主体
    • WO2016131690A1
    • 2016-08-25
    • PCT/EP2016/052817
    • 2016-02-10
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • EBERHARD, Franz
    • H01L33/00H01L31/0352
    • H01L21/76898H01L21/2855H01L21/3086H01L21/31116H01L21/76831H01L21/76879H01L31/022408H01L31/022466H01L31/0304H01L31/1884H01L33/005H01L33/30H01L33/382H01L33/42H01L33/44H01L2933/0016H01L2933/0025H01S5/2081H01S5/22H01S2301/176
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers (1) mit zumindest einer mit einer Kontaktschicht (7) versehenen Ausnehmung (10) mit den Schritten: Bereitstellen des Halbleiterkörpers (1), Aufbringen einer ersten Maskenschicht (5) und einer zweiten Maskenschicht (6) auf dem Halbleiterkörper (1), wobei die zweite Maskenschicht (6) unstrukturiert auf dem Halbleiterkörper (1) aufgebracht wird und die erste Maskenschicht (5) strukturiert mit zumindest einer ersten Maskenöffnung (50) auf der zweiten Maskenschicht (6) aufgebracht wird, Ausbilden von zumindest einer zweiten Maskenöffnung (60) in der zweiten Maskenschicht (6) und zumindest einer Ausnehmung (10) im Halbleiterkörper (1) im Bereich der zumindest einen ersten Maskenöffnung (50) der ersten Maskenschicht (5), wobei die Ausnehmung (10) eine Seitenfläche (11) und eine Bodenfläche (12) aufweist und die Ausnehmung (10) mit der zweiten Maskenöffnung (60) von der ersten Maskenöffnung (50) aus gesehen eine Hinterschneidung (13) bildet, Aufbringen einer Kontaktschicht (7) auf die erste Maskenschicht (5) und die Bodenfläche (12) der zumindest einen Ausnehmung (10) mittels eines gerichteten Abscheideverfahrens, Aufbringen einer Passivierungsschicht (8) auf der Seitenfläche (11) der zumindest einen Ausnehmung (10).
    • 一种用于制造半导体本体方法(1)具有至少一个与接触层(7)设置凹部(10),其包括以下步骤:提供半导体主体(1),沉积第一掩模层(5)和第二掩模层(6) 所述半导体主体(1)上,其中所述第二掩模层(6)有刷(1)被施加在半导体本体和所述第一掩模层上(5)与(6)被施加第二掩模层上的至少一个第一掩模开口(50)的结构,形成 在第二掩模层,在半导体主体上的至少一个第二掩模开口(60)(6)和至少一个凹部(10)(1)在所述第一掩模层(5)的至少一个第一掩模开口(50)的区域中,其特征在于,所述凹部(10) 的侧表面(11)和底表面(12)和凹部(10)与所述第二掩模开口(60),所述从Hintersc看出第一掩模开口(50) hneidung(13),所述第一掩模层(5)和所述至少一个凹部(10),通过沉积工艺的方法的底表面(12)上施加接触层(7),施加的侧表面(11)上的钝化层(8) 至少一个凹部(10)。
    • 10. 发明申请
    • OPTOELEKTRONISCHES HALBLEITERBAUELEMENT UND DESSEN HERSTELLUNGSVERFAHREN
    • WO2020148121A1
    • 2020-07-23
    • PCT/EP2020/050293
    • 2020-01-08
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • EBERHARD, Franz
    • H01L33/00H01L33/14H01L33/42
    • Ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (10) umfasst eine erste Halbleiterschicht (110) von einem ersten Leitfähigkeitstyp und eine zweite Halbleiterschicht (120) von einem zweiten Leitfähigkeitstyp, wobei die erste und die zweite Halbleiterschicht (110, 120) übereinandergestapelt sind. Das optoelektronische Halbleiterbauelement (10) umfasst ferner eine erste Kontaktstruktur (105) und eine Kontaktschicht(109), die über einer von der zweiten Halbleiterschicht (120) abgewandten Seite der ersten Halbleiterschicht (110) angeordnet und mit der ersten Halbleiterschicht (110) verbunden ist. Das optoelektronische Halbleiterbauelement (10) enthält darüber hinaus eine Trennschicht(108), die über einer von der ersten Halbleiterschicht (110) abgewandten Seite der Kontaktschicht (109) angeordnet ist,und eine Stromaufweitungsschicht(107), die über einer von der Kontaktschicht (109) abgewandten Seite der Trennschicht (108) angeordnet ist. Dabei ist die erste Kontaktstruktur (105) über die Stromaufweitungsschicht (107) und die Trennschicht (108) mit der Kontaktschicht (109) verbunden. Ein Schichtstapel, der die Kontaktschicht(109), die Trennschicht(108)und die Stromaufweitungsschicht (107) enthält, weist eine anisotrope Leitfähigkeit auf. Die Trennschicht (108) liegt in einem Bereich zwischen Kontaktschicht (109) und Stromaufweitungsschicht (107) als durchgängige Schicht vor.