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    • 3. 发明申请
    • METHOD FOR PRODUCING A COMPONENT
    • 制造组件的方法
    • WO2015036287A2
    • 2015-03-19
    • PCT/EP2014068626
    • 2014-09-02
    • OSRAM OLED GMBH
    • FLEISSNER ARNEDIEZ CAROLARIEGEL NINAWEHLUS THOMASRIEDEL DANIELROSENBERGER JOHANNESSCHARNER SILKE
    • H01L51/56
    • H01L51/56C23C14/042H01L27/3239H01L51/0011H01L2251/5361
    • The invention relates to a method for producing a component in various exemplary embodiments; said method comprising the following steps: A first mask structure (308) is arranged (202) on or over a substrate (302); a second mask structure (312) is arranged (204) on or over the first mask structure (308), said first mask structure (308) having a first structuring area (310) prior to the second mask structure (312) being applied to the first mask structure (308). Said first structuring area (310) comprises an opening and/or an area which provided to form an opening; and a second structuring area (314) is formed (206) in the first mask structure (308) and in the second mask structure (312) such that at least one part of the first structuring area (310) is formed in the first mask structure (308) outside of the second structuring area (314 ) in the first mask structure (308).
    • 在各种实施例中,提供了一种用于制造部件的方法,所述方法包括:布置(202)的第一掩模图案(308)上或在衬底(302)之上; 上或所述第一掩模图案(308)上面的布置(204)的第二掩模图案(312),所述第一掩模图案(308),其具有施加于第一掩模图案(312)的第二掩模图案之前的第一结构化区域(310)(308) 其中所述第一图案化区域(310)具有准备用于形成开口的开口和/或区域; 以及形成(206)在所述第一掩模图案(308)的第二结构化区域(314)和在所述第二掩模图案(312),使得至少(在第二结构化范围以外的第一掩模图案(308)所述第一结构化区域(310)的一部分 314)形成在第一掩模图案(308)中。