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    • 1. 发明公开
    • 탄성파 장치
    • 地震波装置
    • KR20180031713A
    • 2018-03-28
    • KR20187004692
    • 2016-07-01
    • MURATA MANUFACTURING CO
    • NISHI HIROYUKIWATANABE KAZUSHI
    • H03H9/25H01L23/28
    • H03H9/1085H01L23/28H01L23/544H01L2223/54406H03H9/02559H03H9/059H03H9/14544H03H9/25H03H9/725
    • 신뢰성을높일수 있고, 또한저배화할수 있는탄성파장치를제공한다. 탄성파장치(1)는실장면(3a) 상에실장된제1, 제2 탄성파소자(2A, 2B)를밀봉하고있고, 제1, 제2 면(8a, 8b)을갖고, 제2 면(8b)에각인 Z1이형성된밀봉부재(8)를구비한다. 제1 탄성파소자(2A)는 LiNbO을포함하는제1 압전기판(4A)을갖고, 제2 탄성파소자(2B)는 LiNbO또는 LiTaO을포함하는제2 압전기판(4B)을갖는다. 제2 압전기판(4B)의두께보다도제1 압전기판(4A)의두께쪽이두껍다. 밀봉부재(8)의제2 면(8b)측을상방으로하고, 제1 면(8a)측을하방으로하였을때에, 제2 압전기판(4B)의상방에위치하는밀봉부재(8)의두께보다도, 제1 압전기판(4A)의상방에위치하는밀봉부재(8)의두께쪽이얇다. 제2 면(8b)으로부터의평면에서보아, 제1 압전기판(4A)과각인 Z1이겹쳐있지않다.
    • 由此提供能够提高可靠性并且能够低反射的地震波导装置。 弹性波装置1密封安装在房间表面3a上的第一和第二弹性波元件2A和2B,并具有第一和第二表面8a和8b以及第二表面8b ))。 第一声​​波元件2A具有包含LiNbO的第一压电基板4A,并且第二声波元件2B具有包含LiNbO或LiTaO的第二压电基板4B。 第一压电基板4A的厚度比第二压电基板4B的厚度厚。 当密封部件8的第二表面8b侧朝上并且第一表面8a侧朝下时,位于第二压电基板4B的上表面上的密封部件8的厚度, 位于第一压电基板4A的上侧的密封部件8的厚度比第一密封部件的厚度薄。 第一压电基板4A和雕刻的Z1在从第二表面8b的平面中不重叠。