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    • 2. 发明申请
    • THERMISCHER STRÖMUNGSSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN
    • WO2020108912A1
    • 2020-06-04
    • PCT/EP2019/079892
    • 2019-10-31
    • INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG
    • ENGEL, BastianHEPP, ChristophBERNHARDSGRÜTTER, Ralf Emanuel
    • G01F1/68G01F25/00
    • Die Erfindung umfasst ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Strömungssensors (100), wobei der thermische Strömungssensor (100) zumindest ein Sensorelement (101, 102, 103) und eine Elektronikeinheit aufweist, umfassend: - Erstellen einer Grundkalibration des thermischen Strömungssensors (100), wobei der thermische Strömungssensor (100) im Zuge des Erstellens der Grundkalibration mindestens eine Strömungsgeschwindigkeit eines ersten Messmediums erfasst und einen Messwert der Strömungsgeschwindigkeit erstellt, wobei das erste Messmedium definierte erste thermische Parameter, insbesondere eine erste Wärmeleitfähigkeit und/oder eine erste Wärmekapazität, aufweist und mit zumindest einem definierten Wert einer Strömungsgeschwindigkeit strömt, und wobei die Grundkalibration bewirkt, dass der von dem thermischen Strömungssensor (100) erstellte Wert der Strömungsgeschwindigkeit des ersten Messmediums an den definierten Wert der Strömungsgeschwindigkeit des ersten Messmediums angeglichen wird; - Bestimmen von zweiten thermischen Parametern, insbesondere eine zweite Wärmeleitfähigkeit und/oder eine zweite Wärmekapazität, eines zweiten Messmediums (2) mittels des thermischen Strömungssensors (100); - Berechnen einer Korrekturgröße, wobei die Korrekturgröße Abweichungen der zweiten thermischen Parameter des zweiten Messmediums (2) zu den ersten thermischen Parametern des ersten Messmediums (2) kompensiert; und - Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit des zweiten Messmediums (2) und Erstellen von mittels der Korrekturgröße kompensierten Messwerten der Strömungsgeschwindigkeit, sowie einen thermischen Strömungssensor.
    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN DES DURCHFLUSSES EINES MEDIUMS
    • 设备和方法,来确定介质的流量
    • WO2015091149A1
    • 2015-06-25
    • PCT/EP2014/077203
    • 2014-12-10
    • INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG
    • SCHÖNSTEIN, ThomasSCHELL, RogerHEPP, ChristophSTEITZ, Mike
    • G01F25/00G01F1/696G01F1/698G01F1/684
    • G01F1/6888G01F1/6845G01F1/69G01F1/696G01F1/6986G01F25/0007
    • Thermischer Strömungssensor (1) zur Bestimmung des Durchflusses eines Mediums (2), aufweisend: ein Substrat (3); ein auf dem Substrat (3) angeordneter erster und zweiter Temperatursensor (4a, 4b), wobei der erste und zweite Temperatursensor (4a, 4b) als beheizbarer Temperatursensor (5a, 5b) oder als ein erster nicht-beheizbarer Temperatursensor (6a, 6b), dem ein erstes Heizelement (7a) zugeordnet ist, und als ein zweiter nicht-beheizbarer Temperatursensor (6b), dem ein zweites Heizelement (7b) zugeordnet ist, ausgebildet sind; eine Speiseeinheit (8), die mittels eines ersten Signals (9a) dem ersten beheizbaren Temperatursensor (5a) oder dem ersten Heizelement (7a) eine während eines Abgleichbetriebes vorab bestimmte erste Heizleistung zuführt und mittels eines zweiten Signals (9b) dem zweiten beheizbaren Temperatursensor (5b) oder dem zweiten Heizelement (7b) eine im Abgleichbetrieb vorab bestimmte zweite Heizleistung zuführt; eine Auswerteeinheit (10), die in einem Messbetrieb zur Bestimmung des Durchflusses des Mediums (2) eine Temperaturdifferenz (ΔΤ) zwischen dem ersten Temperatursensor (4a) und dem zweiten Temperatursensor (4b) ermittelt und anhand der Temperaturdifferenz (ΔΤ) ein Messwert, der den Durchfluss des Mediums (2) repräsentiert, bestimmt.
    • 用于确定介质(2)的流动,包括热式流量传感器(1):一衬底(3); 一衬底(3)上布置的第一和第二温度传感器(4A,4B),其中所述第一和第二温度传感器(4A,4B),其为可加热温度传感器(5A,5B),或作为第一非加热温度传感器(6A,6B) 与一个第一加热元件(7a)的相关联,并且作为第二非加热温度传感器(6b)中,与(7B)形成的第二加热元件相关联; 的供给单元(8)通过的第一信号(9A)到所述第一可加热温度传感器(5a)的或第一加热元件(7a)的装置提供的校准操作中,第一热输出期间和通过第二信号(9B)向第二可加热温度传感器来预定的( 5b)或第二加热元件(7B)供给在匹配操作的预定第二加热功率; 评估单元(10),其在测量操作,用于确定介质(2)所述第一温度传感器(4a)和(4b)中被确定,并且基于所述温度差(ΔΤ)的测量值的第二温度传感器之间的温度差(ΔΤ)的流动 表示(2)确定该介质的流动。
    • 4. 发明申请
    • THERMISCHER SENSOR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN
    • WO2022199960A1
    • 2022-09-29
    • PCT/EP2022/054256
    • 2022-02-21
    • INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG
    • BERNHARDSGRÜTTER, Ralf EmanuelHEPP, Christoph
    • G01F1/68G01F1/7084G01F25/10G01F15/02G01F1/696G01K3/10G01K13/02G01N25/20
    • Die Erfindung umfasst ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Sensors (100), wobei der thermische Sensor (100) zumindest ein erstes Sensorelement (101) und eine Elektronikeinheit (110) aufweist, wobei das erste Sensorelement (101) mit einem Behältnis (3), insbesondere einer Rohrleitung, in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei das Behältnis (3) von einem Messmedium (2) mit einer beliebigen Strömungsgeschwindigkeit durchströmt wird, wobei das erste Sensorelement (101) mittels einer in das Sensorelement (101) eingebrachten Wechselspannung periodisch erwärmt wird und simultan ein Verlauf der Temperatur des ersten Sensorelements (101) erfasst wird, wobei die Elektronikeinheit (110) eine Messgröße (V3ω) des Messmediums (2) anhand eines Vergleichs des Verlaufs der dritten harmonischen Oberschwingung der in das erste Sensorelement (101) eingebrachten Wechselspannung mit dem Verlauf der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur des ersten Sensorelements (101), insbesondere durch Berechnung der Phasenverschiebung zwischen dem Verlauf der dritten harmonischen Oberschwingung der Wechselspannung und dem Verlauf der Amplitude der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur, bestimmt, und wobei eine Frequenz der Wechselspannung derart ausgewählt wird, dass eine Eindringtiefe (ET) der emittierten Wärme des ersten Sensorelements (101) in das Strömungsprofil des Messmediums (2) vorliegt, in welcher die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums (2) nahezu null beträgt, sowie einen thermischen Sensor (100) welcher ausgestaltet ist, mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens betrieben zu werden.
    • 5. 发明申请
    • THERMISCHER STRÖMUNGSSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN
    • WO2021239349A1
    • 2021-12-02
    • PCT/EP2021/060729
    • 2021-04-23
    • INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG
    • BERNHARDGRÜTTER, Ralf EmanuelHEPP, Christoph
    • G01F1/698G01F1/704G01F25/00G01F1/708G01F1/712G01K17/00G01N25/00
    • Die Erfindung umfasst ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Strömungssensors (100), wobei der thermische Strömungssensor (100) zumindest ein Sensorelement (101, 102, 103) und eine Elektronikeinheit aufweist, umfassend: - In thermischen Kontakt Bringen eines Messmediums (2) mit dem Sensorelement (101, 102, 103) und periodisches Erwärmen des Messmediums (2) mittels einer in das Sensorelement (101, 102, 103) eingebrachten Wechselspannung, wobei simultan eine Maximalamplitude eines Verlaufs der Temperatur und/oder einer Phasenverschiebung zwischen dem Verlauf der Wechselspannung und dem Verlauf der Temperatur erfasst; - Anpassen der erfassten Maximalamplitude und/oder der erfassten Phasenverschiebung mithilfe von Kalibrierdaten; - Bestimmen einer Isolinie (ILx) anhand der angepassten Maximalamplitude und/oder der angepassten Phasenverschiebung auf Basis eines mathematischen, bzw. physikalischen, Modells des thermischen Strömungssensors (100), wobei die Isolinie (ILx) einer Vielzahl von Wertepaaren thermischer Parameter (Cp, k), insbesondere eine Wärmeleitfähigkeit und eine Wärmekapazität, des Messmediums (2) aufweist, welche Wertepaare mit derselben Maximalamplitude, bzw. derselben Phasenverschiebung, assoziiert sind; - Ableiten von zumindest einer Messfluidinformation aus der Isolinie (ILx); und - Durchführen einer Strömungsmessung mittels des thermischen Strömungssensors (100), wobei das Sensorelement (101, 102, 103) Signalwerte liefert, und Umwandeln der Signalwerte in Messwerte der effektiven Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums (2) mittels der Messfluidinformation, sowie einen thermischen Strömungssensor.
    • 10. 发明申请
    • THERMISCHER STRÖMUNGSSENSOR ZUR BESTIMMUNG EINES GASES ODER DER ZUSAMMENSETZUNG EINES GASGEMISCHES, SOWIE DESSEN STRÖMUNGSGESCHWINDIGKEIT
    • 热式流量传感器,用于确定气体或气体混合物的成分,其流量
    • WO2014139786A1
    • 2014-09-18
    • PCT/EP2014/053533
    • 2014-02-24
    • INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG
    • HEPP, ChristophKROGMANN, Florian
    • G01F1/699G01F1/692G01N27/18
    • G01N25/00G01F1/68G01F1/692G01F1/699G01N33/0027
    • Thermischer Strömungssensor (1) zur Bestimmung eines Gases oder der Zusammensetzung eines Gasgemisches (2), sowie dessen Strömungsgeschwindigkeit umfassend: - ein Substrat (3), auf dem zumindest eine erste dielektrische Schicht (6) aufgebracht ist; - zumindest eine Heizstruktur (8), die auf die erste dielektrische Schicht (6) aufgebracht ist und dazu dient das Gas oder das Gasgemisch (2) zu erhitzen; - zumindest ein erstes Temperatursensorelement (9),das beabstandet von der Heizstruktur (8) auf der ersten dielektrischen Schicht (6) aufgebracht ist und die Temperatur des an der Heizstruktur (8) erhitzten Gases oder Gasgemisches (2) erfasst; - eine Regelungsvorrichtung (11), die in einem ersten Betriebszustand die Heizstruktur (8) derartig regelt, dass die Heizstruktur eine vorgegebene Temperatur aufweist und in einem zweiten Betriebszustand die Heizstruktur (8) derartig regelt, dass eine der Heizstruktur (8) zugeführte Leistung einer vorgegebenen Leistung entspricht; - eine Auswerteeinheit (12), die mittels der Betriebszustände zumindest eine physikalische Eigenschaft des vorliegenden Gases oder des Gasgemisches (2) ermittelt und anhand dieser physikalischen Eigenschaft das vorliegende Gas oder die Zusammensetzung des Gasgemisches (2) sowie dessen Strömungsgeschwindigkeit bestimmt.
    • 热式流量传感器(1),用于确定气体或气体混合物(2)的组成和其流速,其包括: - (3),被施加到所述至少一个第一介电层的基片(6); - 至少一个加热结构(8),其被施加到第一电介质层(6)和所述气体或气体混合物(2)被用于加热; - 检测到至少其从加热结构(8)(6)被施加在第一介电层和所述加热结构(8)加热的气体或气体混合物(2)的温度上间隔开的第一温度传感器元件(9); - 控制的控制装置(11),其支配这样,在第一操作状态下,加热结构(8),该加热结构有预定的温度,并且在第二操作状态下的加热结构(8),使得供给至所述加热结构中的一个(8)功率 预定功率对应; - 通过本发明的气体或气体混合物(2)中的至少一个物理特性的操作状态所确定的评估单元(12),并确定本发明的气体或气体混合物(2)的组合物中,并且基于此物理性质,其流率。